一种半导体蚀刻后清洗装置的制作方法

1.本实用新型属于蚀刻加工技术领域，特别是涉及一种半导体蚀刻后清洗装置。


背景技术：

2.蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。随着经济的快速发展，促进了我国工业的快速进步，对于一些精密加工需要使用到蚀刻机，蚀刻机主要应用于航空、机械、标牌工业中，蚀刻机技术广泛地被使用于减轻重量仪器镶板，铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等之加工。在半导体和线路版制程上，蚀刻更是不可或缺的技术，蚀刻机通常会用到化学溶液对其进行蚀刻，在蚀刻之后通常会有一定的残液残留。因此需要对其进行进一步清洗。现有的半导体蚀刻后清洗装置其结构一般较为固定，由于其蚀刻的加工件的多种多样，导致其在使用上存在一定的局限性，灵活性较差，同时现有的清洗装置一般通过人为进行操作，其工作效率较低。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种半导体蚀刻后清洗装置，解决现有的灵活性差的问题。
4.为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：
5.本实用新型为一种半导体蚀刻后清洗装置，包括清洗箱、螺接块和安装板，所述螺接块的数量为两个，两所述螺接块分别安装在清洗箱上表面两端，两所述螺接块一表面均安装有第一螺杆，所述安装板的数量为两个，两所述安装板分别安装在两第一螺杆一端，方便调整两安装板之间的间距，从而方便夹持不同长度的蚀刻加工件，提高装置的灵活性，两所述安装板为“l”形板体结构，所述安装板一表面设置有两第一滑槽，两所述第一滑槽内部均安装有第一滑块，两所述第一滑块与两第一滑槽之间滑动配合，方便调整夹板的位置，以便于夹持不同厚度的蚀刻加工件，两所述第一滑块一表面安装有夹板，所述夹板下表面安装有若干弹簧，所述弹簧一端安装有缓冲板，所述夹板上表面两端均安装有紧固螺栓，方便夹持固定蚀刻加工件。
6.进一步地，两所述紧固螺栓一端贯穿安装板下表面，两所述紧固螺栓一端与安装板之间螺接配合，所述清洗箱内部一表面设置有凹槽。
7.进一步地，所述凹槽内部底面两端均安装有电动推杆，两所述电动推杆上表面安装有安装块，所述安装块一表面设置有第二滑槽。
8.进一步地，所述第二滑槽内部装嵌有第二螺杆，所述第二螺杆与第二滑槽之间转动配合，所述第二螺杆一端贯穿安装块一表面。
9.进一步地，所述第二螺杆一端安装有传动电机，所述第二螺杆周侧面装嵌有第二滑块，所述第二滑块与第二滑槽之间滑动配合，方便滚刷来回清洗，提高其工作效率。
10.进一步地，所述第二滑块一表面装嵌有旋转电机，所述旋转电机一表面安装有传动轴，所述传动轴一端装嵌有滚刷，方便清洗蚀刻加工件。
11.进一步地，所述清洗箱上表面一侧焊接有支撑板，所述支撑板一端装嵌有水管，所述水管为“l”形管体结构，所述水管一端安装有喷头。
12.本实用新型具有以下有益效果：
13.1、本实用新型通过紧固螺栓和夹板结构，方便夹持固定蚀刻加工件，同时通过第一滑槽和第一滑块结构，方便调整夹板的位置，以便于夹持不同厚度的蚀刻加工件，并且通过第一螺杆结构，方便调整两安装板之间的间距，从而方便夹持不同长度的蚀刻加工件，提高装置的灵活性。
14.2、本实用新型通过旋转电机和滚刷结构，方便清洗蚀刻加工件，并且通过第二螺杆和第二滑块结构，方便滚刷来回清洗，提高其工作效率。
15.当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
16.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
17.图1为本实用新型一种半导体蚀刻后清洗装置的结构示意图；
18.图2为本实用新型一种半导体蚀刻后清洗装置的后视结构示意图；
19.图3为本实用新型一种半导体蚀刻后清洗装置的前视结构示意图；
20.图4为本实用新型一种半导体蚀刻后清洗装置的右视结构示意图；
21.图5为本实用新型一种半导体蚀刻后清洗装置的俯视结构示意图。
22.附图中，各标号所代表的部件列表如下：
23.1、清洗箱；2、螺接块；3、第一螺杆；4、安装板；5、第一滑槽；6、第一滑块；7、夹板；8、弹簧；9、缓冲板；10、紧固螺栓；11、凹槽；12、电动推杆；13、安装块；14、第二滑槽；15、第二滑块；16、第二螺杆；17、传动电机；18、旋转电机；19、滚刷；20、支撑板；21、水管；22、喷头。
具体实施方式
24.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
25.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“中”、“外”、“内”等指示方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的组件或元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
26.实施例一：
27.请参阅图1-5所示，本实用新型为一种半导体蚀刻后清洗装置，包括清洗箱1、螺接块2和安装板4，螺接块2的数量为两个，两螺接块2分别安装在清洗箱1上表面两端，两螺接块2一表面均安装有第一螺杆3，安装板4的数量为两个，两安装板4分别安装在两第一螺杆3一端，方便调整两安装板4之间的间距，从而方便夹持不同长度的蚀刻加工件，提高装置的
灵活性，两安装板4为“l”形板体结构，安装板4一表面设置有两第一滑槽5，两第一滑槽5内部均安装有第一滑块6，两第一滑块6与两第一滑槽5之间滑动配合，方便调整夹板7的位置，以便于夹持不同厚度的蚀刻加工件，两第一滑块6一表面安装有夹板7，夹板7下表面安装有若干弹簧8，弹簧8一端安装有缓冲板9，夹板7上表面两端均安装有紧固螺栓10，方便夹持固定蚀刻加工件，两紧固螺栓10一端贯穿安装板4下表面，两紧固螺栓10一端与安装板4之间螺接配合，清洗箱1内部一表面设置有凹槽11。
28.清洗箱1上表面一侧焊接有支撑板20，支撑板20一端装嵌有水管21，水管21为“l”形管体结构，水管21一端安装有喷头22。
29.凹槽11内部底面两端均安装有电动推杆12，两电动推杆12上表面安装有安装块13，安装块13一表面设置有第二滑槽14，第二滑槽14内部装嵌有第二螺杆16，第二螺杆16与第二滑槽14之间转动配合，第二螺杆16一端贯穿安装块13一表面。
30.第二螺杆16一端安装有传动电机17，第二螺杆16周侧面装嵌有第二滑块15，第二滑块15与第二滑槽14之间滑动配合，方便滚刷19来回清洗，提高其工作效率，第二滑块15一表面装嵌有旋转电机18，旋转电机18一表面安装有传动轴，传动轴一端装嵌有滚刷19，方便清洗蚀刻加工件。
31.实施例二：
32.请参阅图1-5所示，本实用新型为一种半导体蚀刻后清洗装置，优选地，电动推杆12的型号为ip40x，传动电机17和旋转电机18的型号为ye2-100，其使用方法为：将蚀刻加工件的两端分别放置在两缓冲板9下方，通过扭动紧固螺栓10使得夹板7向下运动，直至夹紧蚀刻加工件，方便夹持固定蚀刻加工件，同时通过第一滑槽5和第一滑块6结构，方便调整夹板7的位置，以便于夹持不同厚度的蚀刻加工件，并且通过第一螺杆3与螺接块2之间的螺接配和，方便调整两安装板4之间的间距，从而方便夹持不同长度的蚀刻加工件，提高装置的灵活性，通过旋转电机18和滚刷19结构，方便清洗蚀刻加工件，并且通过第二螺杆16和第二滑块15结构，方便滚刷19来回清洗，提高其工作效率。
33.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
34.以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。