一种全息光刻机加工表面除杂装置的制作方法

1.本实用新型涉及全息光刻机加工表面除杂技术领域，具体为一种全息光刻机加工表面除杂装置。


背景技术：

2.光刻机又名掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备，全息光刻机的加工表面需要时常清洁，保证后续的加工生产。
3.但现有的全息光刻机加工表面没有专用清洁装置，不方便工作人员清洁加工表面，清洁效率低，清洁完的杂物也不便于收集，影响后续的加工生产。
4.本实用新型通过清洁组件将加工板表面清洁处理，还通过收纳组件将除杂装置主体内的杂物集中处理到收集盒内，方便集中处理。


技术实现要素：

5.(一)解决的技术问题
6.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种全息光刻机加工表面除杂装置，具备便捷清洁加工表面，集中收纳杂物等优点，解决了加工表面不便于清洁，杂物没有集中收纳的问题。
7.(二)技术方案
8.为实现上述便捷清洁加工表面，集中收纳杂物目的，本实用新型提供如下技术方案：包括除杂装置主体，所述除杂装置主体反面固定连接有光刻机，所述光刻机顶部固定安装有加工板，所述除杂装置主体顶部开设有收纳槽，所述收纳槽内壁正反两侧均固定连接有三个限位板，且所述收纳槽内部设置有清洁组件，所述除杂装置主体底部设置有收纳组件。
9.优选的，所述清洁组件包括握把，所述握把反面固定连接有弹力绳，所述弹力绳一端与所述除杂装置主体内壁反面固定连接，所述握把左侧固定连接有连接板，所述连接板正面固定连接有清洁刷条，且所述连接板反面与所述收纳槽内部滑动连接。
10.优选的，所述连接板左侧固定连接有固定板，所述固定板顶部固定连接有驱动电机，所述驱动电机输出端固定连接有清洁球。
11.优选的，所述除杂装置主体底部开设有第一滑槽，所述第一滑槽内部滑动连接有收集盒，且所述除杂装置主体内壁底部固定连接有斜块。
12.优选的，所述除杂装置主体正面开设有第二滑槽，所述第二滑槽内部滑动连接有摇杆，所述摇杆一端固定连接有清洁块，所述清洁块端部设置有圆角。
13.优选的，所述收集盒正面固定连接有把手，且所述收集盒高度与所述斜块左侧高度相同。
14.(三)有益效果
15.与现有技术相比，本实用新型提供了一种全息光刻机加工表面除杂装置，具备以
下有益效果：
16.1、该一种全息光刻机加工表面除杂装置，通过拉动握把带动连接板，从而带动清洁球清洁加工板，方便工作人员便捷清洁加工板上的杂物，节约清洁时间，提高清洁效率，也便于工作人员用清洁刷条将杂物收纳到除杂装置主体，清洁组件也便于收纳放置到收纳槽内。
17.2、该一种全息光刻机加工表面除杂装置，通过拉动摇杆带动清洁块，从而将杂物清洁到收集盒内，方便工作人员便捷清洁除杂装置主体内的杂物，采用收集盒归纳收集杂物，便于工作人员集中处理，提高清洁效率，方便工作人员操作。
附图说明
18.图1为本实用新型提出的一种全息光刻机加工表面除杂装置整体的结构示意图；
19.图2为本实用新型提出的一种全息光刻机加工表面除杂装置清洁组件的结构示意图；
20.图3为本实用新型提出的一种全息光刻机加工表面除杂装置收纳组的正视剖面图。
21.图中：1、除杂装置主体；2、光刻机；3、加工板；4、收纳槽；5、限位板；6、清洁组件；601、握把；602、弹力绳；603、连接板；604、清洁刷条；605、固定板；606、驱动电机；607、清洁球；7、收纳组件；701、第一滑槽；702、收集盒；703、斜块；704、第二滑槽；705、摇杆；706、清洁块；707、把手。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.请参阅图1-3，一种全息光刻机加工表面除杂装置，包括除杂装置主体1，除杂装置主体1反面固定连接有光刻机2，光刻机2顶部固定安装有加工板3，除杂装置主体1顶部开设有收纳槽4，收纳槽4内壁正反两侧均固定连接有三个限位板5，且收纳槽4内部设置有清洁组件6，除杂装置主体1底部设置有收纳组件7，通过清洁组件6将加工板3表面清洁处理，然后用清洁组件6将杂物收集到除杂装置主体1内，还通过收纳组件7将除杂装置主体1内的杂物集中处理到收集盒702内，方便集中处理。
24.且参阅图2，进一步的，清洁组件6包括握把601，握把601反面固定连接有弹力绳602，弹力绳602一端与除杂装置主体1内壁反面固定连接，握把601左侧固定连接有连接板603，连接板603正面固定连接有清洁刷条604，且连接板603反面与收纳槽4内部滑动连接。
25.且参阅图2，进一步的，连接板603左侧固定连接有固定板605，固定板605顶部固定连接有驱动电机606，驱动电机606输出端固定连接有清洁球607。
26.且参阅图3，进一步的，除杂装置主体1底部开设有第一滑槽701，第一滑槽701内部滑动连接有收集盒702，且除杂装置主体1内壁底部固定连接有斜块703。
27.且参阅图3，进一步的，除杂装置主体1正面开设有第二滑槽704，第二滑槽704内部
滑动连接有摇杆705，摇杆705一端固定连接有清洁块706，清洁块706端部设置有圆角。
28.且参阅图1-3，进一步的，收集盒702正面固定连接有把手707，且收集盒702高度与斜块703左侧高度相同。
29.在使用时，拉动握把601带动连接板603带动清洁刷条604脱离收纳槽4，连接板603带动固定板605带动驱动电机606带动清洁球607，启动驱动电机606，驱动电机606带动清洁球607转动，工作人员手持握把601利用清洁球607清洁加工板3上的污渍，然后利用清洁刷条604将加工板3上的杂物扫入除杂装置主体1内，然后将使用完的清洁组件6放置回原位，实现便捷清洁加工板3的目的；
30.拉动摇杆705带动清洁块706，工作人员手持摇杆705利用清洁块706将落在斜块703上的杂物扫入收集盒702内，在除杂装置主体1使用一段时间后，拉动把手707，把手707带动收集盒702在第一滑槽701内滑动，将收集盒702从第一滑槽701内取出，处理完收集盒702后，将清洁完的收集盒702放置回第一滑槽701内，实现便捷清洁收纳杂物的目的。
31.综上所述，该一种全息光刻机加工表面除杂装置，拉动握把601带动连接板603，从而带动清洁球607，方便工作人员便捷清洁加工板3上的杂物，节约清洁时间，提高清洁效率，也便于工作人员用清洁刷条604将杂物收纳到除杂装置主体1，清洁组件6也便于收纳放置到收纳槽4内；
32.拉动摇杆705带动清洁块706，从而将杂物清洁到收集盒702内，方便工作人员便捷清洁除杂装置主体1内的杂物，采用收集盒702归纳收集杂物，便于工作人员集中处理，提高清洁效率，方便工作人员操作。
33.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。