电镀液净化设备的制作方法

1.本公开实施例属于电路板技术领域，尤其涉及一种电镀液净化设备。


背景技术：

2.电镀是印刷电路板制造过程中的一个关键工序，在电镀的过程中常将电路板放置在电镀液内，通电以将电镀液内的金属离子置换成位于电路板上的金属层，以完成电镀；在电镀的过程中，往往会在电镀液内产生金属残渣，金属残渣容易影响后续的电镀。
3.相关技术中，通常在电镀液内的金属残渣达到一定量时，对电镀液进行碳处理；具体地，通过人工将电镀液转移至处理槽内，之后加入碳粉，并进行沉淀，碳粉吸附电镀液内的金属残渣，并沉淀至处理槽的槽底，最后通过输送泵将处理槽上部的电镀液输送至电镀设备内，以完成对电镀液的碳处理。
4.然而，在对电镀液净化完成后，需要人工对处理槽的碳粉和废液进行处理，由于处理槽容积较大，从而导致人工处理时费时费力，进而影响了电镀液的净化效率。


技术实现要素：

5.本公开实施例提供一种电镀液净化设备，用以解决相关技术中电镀液净化后反应容器内碳粉和废液难处理的技术问题。
6.本公开实施例解决上述技术问题的方案如下：
7.一种电镀液净化设备，包括，
8.反应容器，所述反应容器内设置有反应腔，所述反应腔的底部设置有开口，且所述开口处设置有控制阀，所述控制阀用于开启或关闭所述开口；
9.收集槽，所述收集槽设置于所述反应容器的底部，且所述收集槽通过所述开口与所述反应容器相连通；所述收集槽的一侧设置有与其连通的清洁口，所述收集槽上设置有封闭件，所述封闭件用于封闭所述清洁口。
10.本公开实施例的有益效果是：通过在反应容器的底部设置相连通的收集槽，使得反应容器内净化后的电镀液排出后剩下的废液和碳粉通过开口落入到收集槽内，由于收集槽位于反应容器的底部，且收集槽上设置有清洁口，从而使得工作人员可以通过此清洁口对收集槽内的废液及碳粉进行清理，进而有效的降低了清理难度，提高了电镀液的净化效率。因此，有效的解决了相关技术中电镀液净化后反应容器内碳粉和废液难处理的技术问题。
11.在上述技术方案的基础上，本公开实施例还可以做如下改进。
12.在一种可能的实现方式中，所述反应腔的底部具有向所述收集槽延伸的集粉槽，沿靠近所述收集槽的方向所述集粉槽平行于水平面的截面逐渐减小，且所述开口设置在所述集粉槽的槽底处。
13.在一种可能的实现方式中，所述收集槽的一侧设置有与其连通的清洁口，所述收集槽上设置有封闭件，所述封闭件用于封闭所述清洁口。
14.在一种可能的实现方式中，所述电镀液净化设备还包括供气装置及与所述供气装置连通的供气管，所述供气管设置在所述反应腔内，所述供气管靠近所述反应腔的底部设置；所述供气管的管壁上间隔的设置有多个供气孔，所述供气装置用于向所述供气管输送空气。
15.在一种可能的实现方式中，还包括搅拌装置，所述搅拌装置的一端与所述反应容器的顶部相接，其另一端设置有搅拌件，且所述搅拌件位于所述反应腔内。
16.在一种可能的实现方式中，所述搅拌装置包括电机及搅拌杆，所述电机设置于所述反应容器的顶部，所述搅拌杆与所述电机的主轴传动连接；所述搅拌件为多个，多个所述搅拌件间隔的设置在所述搅拌杆上。
17.在一种可能的实现方式中，所述反应容器上设置有出风口，所述出风口处设置有抽风装置。
18.在一种可能的实现方式中，所述出风口设置于所述反应容器的顶部，且所述出风口的截面面积由下向上逐渐增大。
19.在一种可能的实现方式中，所述电镀液净化设备还包括加热装置和冷却装置，所述加热装置和所述冷却装置均设置在所述反应腔内。
20.在一种可能的实现方式中，还包括进药管、出药管和排废料管组件；
21.所述进药管的一端插入所述反应腔内，其另一端用于与生产线上的电镀液缸相连通；
22.所述出药管的一端插入所述反应腔内，其另一端与反应容器外部的静置药缸相连通；
23.所述排废料管组件包括所述控制阀，所述控制阀包括第一出口、第二出口和第三出口，所述第一出口连接有第一排液管，所述第二出口连接有第二排液管，所述第三出口连接有第三排液管；
24.其中，所述第一排液管用于排保养电镀液，所述第二排液管用于排废液和碳粉，所述第三排液管用于排保养废水。
25.在一种可能的实现方式中，所述反应容器和所述反应腔均呈圆柱状，所述反应腔的侧壁上设置有沿其中心线方向延伸的多个加强筋。
附图说明
26.为了更清楚地说明本公开实施例或相关技术中的技术方案，下面将对实施例或相关技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
27.图1为本公开实施例提供的电镀液净化设备的结构示意图；
28.附图中，各标号所代表的部件列表如下：
29.100、反应容器；110、开口；120、出风口；130、进药管；140、出药管；150、第一控制阀；160、第一排液管；170、第二排液管；180、第三排液管；190、集粉槽；
30.200、收集槽；210、清洁仓；220、封闭件；
31.300、供气装置；310、供气管；320、出气嘴；
32.400、搅拌装置；410、搅拌杆；420、搅拌件；430、电机；
33.500、抽风装置；
34.600、生产线药缸；
35.700、静置药缸；
36.800、废水缸；
37.900、废药液缸。
具体实施方式
38.电镀是印刷电路板制造过程中的一个关键工序，在电镀的过程中常将电路板放置在电镀液内，通电以将电镀液内的金属离子置换成位于电路板上的金属层，以完成电镀；在电镀的过程中，往往会在电镀液内产生金属残渣，金属残渣容易影响后续的电镀。
39.相关技术中，通常在电镀液内的金属残渣达到一定量时，对电镀液进行碳处理；具体地，通过人工将电镀液转移至处理槽内，之后加入碳粉，并进行沉淀，碳粉吸附电镀液内的金属残渣，并沉淀至处理槽的槽底，最后通过输送泵将处理槽上部的电镀液输送至电镀设备内，以完成对电镀液的碳处理。
40.然而，在对电镀液净化完成后，需要人工对处理槽的碳粉和废液进行处理，由于处理槽容积较大，从而导致人工处理时费时费力，进而影响了生产效率。
41.有鉴于此，本公开实施例提供了一种电镀液净化设备，通过在反应容器的底部设置开口，开口处设置有活动件，收集槽设置于反应容器的底部，收集槽通过反应容器底部的开口与反应容器相连通，同时通过活动件能够控制开口的开启与关闭。反应容器内净化后的电镀液排出后剩下的废液和碳粉通过开口落至收集槽内，由于收集槽位于反应容器的底部，且收集槽上设置有清洁口，从而使得工作人员可以通过此清洁口对收集槽内的废液及碳粉进行清理，进而有效的降低了清理难度，提高了电镀液的净化效率。
42.为了使本公开实施例的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面将结合本公开实施例中的附图，对本公开实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本公开中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，均属于本公开保护的范围。
43.参考图1，本公开实施例提供了一种电镀液净化设备，其包括反应容器100和收集槽200，反应容器100内设置有反应腔，反应腔的底部设置有开口110，且开口110处设置有活动件，活动件用于开启或关闭开口110；收集槽200设置于反应容器100的底部，且收集槽200通过开口110与反应容器100相连通；收集槽200的一侧设置有与其连通的清洁口，收集槽上设置有封闭件200，封闭件200用于封闭清洁口。
44.其中，反应容器100用于盛放需要净化的电镀液，即电镀液在反应容器100的反应腔内完成净化。示例性地，反应容器100的材质可以为耐酸碱盐和耐高温的材料，例如其可以为ppn(聚丙烯)材料制备而成，且反应容器100的壁面厚度可以为大于或等于15mm，从而能够保证反应容器100具有较优异的强度，进而能够保证净化过程的安全性。
45.本实施例中，反应容器100和反应腔均呈圆柱状，反应腔的侧壁上设置有沿其中心线方向延伸的多个加强筋。具体的，多少加强筋环绕反应腔的中心线间隔的设置，并且加强
筋可以通过焊接的方式与反应容器连接，或者加强筋通过注塑等方式与反应容器为一体结构。
46.示例性地，反应容器100可以采用三重焊接，即反应容器100通过焊接工艺形成反应腔，另外反应容器100的外壁面上设置有多个pvc加强筋，其中部分pvc加强筋环绕反应容器100的中心轴线依次设置，且与反应容器100的外壁面相焊接，另一部分pvc加强筋的延伸方向与反应容器的中心轴线相一致，且此部分的pvc加强筋均匀焊接于反应容器的壁面上，从而实现上述的三重焊接。通过采用三重焊接的工艺，能够进一步增加反应容器100的强度，从而使得反应容器在水压的作用下不容易变形，进而能够防止反应容器100漏液。
47.在一些实施例中，反应容器100内的反应腔的体积可以为15000l-20000l，如：15000l、17000l、20000l等，从而使得反应容器100能够盛放较多的电镀液，进而提高电镀液的净化效率。另外，反应腔内还可以设置有液位检测装置，以检测反应腔内的液位高度，以获知反应腔内的电镀液体积；示例性地，液位检测装置可以包括：液位计、双高低位探针感应器等。
48.示例性地，反应容器100的底部设置有开口110，反应腔内沉积的碳粉通过此开口110落至收集槽200内。同时，开口110处设置有活动件，通过此活动件能够控制开口110的开启或关闭。
49.在一些实施例中，活动件可以包括转动轴和盖体，转动轴转动设置于开口110处，盖体与转动轴固定连接。盖体可以呈板状，且盖体的尺寸与开口的尺寸相配合，使得盖体能够完全封盖住开口。当废液和碳粉需要排放至收集槽内时，只需转动转动轴使得盖体打开，进而使得废液和碳粉能够通过开口落至收集槽内，当排放完成后，只需通过转动转动轴使得盖体封盖住开口即可。
50.当反应腔内的电镀液处于净化过程或净化后的电镀液仍位于反应腔内时，此时活动件处于关闭状态，即开口110处于关闭状态；当净化后的电镀液已被排出时，活动件打开，此时废液和碳粉通过此开口110落至收集槽200内。
51.收集槽200设置于反应容器100的底部，且收集槽200上设置有清洁口。
52.示例性地，收集槽200的材质可以为耐酸碱盐和耐高温的材料，例如其可以为pvc(聚乙烯)材料制备而成，且反应容器100的壁面厚度可以为大于或等于20mm，从而能够保证收集槽200具有较优异的强度，进而能够防止收集槽200破损而导致碳粉及废液的遗漏。同时，由于反应容器100设置于收集槽200的上方，通过将收集槽200设置为具有较厚的壁面，能够进一步保证反应容器100的稳定性，进而保证了净化过程的安全性。
53.示例性地，收集槽200的外径可以与反应容器100的外径相等，从而能够使得反应容器100与收集槽200之间稳定的相接，同时使得收集槽200能够对反应容器100起到更好的支撑作用。
54.同时，收集槽200的一侧设置有与其连通的清洁口，收集槽200上设置有封闭件220，封闭件220用于封闭清洁口。
55.示例性地，封闭件220可以呈板状，其转动设置于清洁口处。清洁口的顶部和底部可以相对设置有转动孔，封闭件200的顶部和底部均可以设置有转动轴，转动轴转动设置于转动孔内，使得封闭件200可以绕转动轴进行转动，由此可以通过转动封闭件200实现对清洁口的打开或关闭。
56.当然，封闭件200可以包括盖板，盖板的顶端与收集槽200铰接，盖板的底端可以通过卡接或者螺栓连接的方式与收集槽200可拆卸的连接，盖板覆盖在清洁口处，以实现对清洁口的封闭；在开启时，首先使盖板的底端与收集槽200分离，之后旋转盖板，即可实现清洁口的开启。通过设置此封闭件220能够防止收集槽内的碳粉及废液流出。由此，工作人员通过此清洁口对收集槽200内的废液及碳粉进行清理，进而有效的降低了清理难度。
57.本实施例提供的电镀液净化设备，通过在反应容器100的底部设置相连通的收集槽200，使得反应容器100内净化后的电镀液排出后剩下的废液和碳粉通过开口110落至收集槽200内，由于收集槽200位于反应容器100的底部，且收集槽200上设置有清洁口，从而使得工作人员可以通过此清洁口对收集槽200内的废液及碳粉进行清理，进而有效的降低了清理难度，提高了电镀液的净化效率。
58.继续参照图1，反应腔的底部具有向收集槽200延伸的集粉槽190，且沿靠近收集槽200的方向集粉槽190平行与水平面的截面逐渐减小，且开口110设置于集粉槽190的槽底处。可以理解为，集粉槽190可以呈倒置的锥形结构，通过将集粉槽190设置为锥形结构，能够便于将废液与碳粉收集至开口110处，即能够使得反应腔内的废液和碳粉充分落至收集槽200内。
59.示例性地，收集槽200的一侧设置有清洁仓210，清洁仓210与收集槽200相连通，且清洁仓210沿水平方向延伸，且清洁口设置于清洁仓210上，且清洁口处设置有封闭件220，当需要对收集槽200内的废液及碳粉进行清洁时，工作人员通过打开封闭件220即可实现对废液及碳粉的处理。换言之，收集槽200的一侧延伸出一个清洁仓210，此清洁仓210能够进一步扩大对废液和碳粉的存储空间，即当废液和碳粉过多时，可以先将收集槽200的废液和碳粉移至清洁仓210内，使得收集槽200内一直保持足够的空间能够存放废液和碳粉，工作人员可以通过清洁口将清洁仓210内的废液和碳粉清理掉，从而能够进一步提高电镀液的净化效率。
60.在一些实施例中，电镀液净化设备还包括搅拌装置400，搅拌装置400的一端与反应容器100的顶部相接，其另一端设置有搅拌件，且搅拌件位于反应腔内。
61.示例性地，搅拌装置400可以包括电机及搅拌杆410，电机430可以设置于反应容器100的顶部，搅拌杆410与电机430的主轴传动连接；搅拌件可以为多个，多个搅拌件间隔的设置在搅拌杆410上。本实施例中，搅拌杆410的一端与电机的动力输出端相接，其另一端朝向反应腔的底部延伸。另外，搅拌件可以为片状结构，且多个搅拌件分成多组，多组搅拌件沿着搅拌杆410的长度方向由下向上依次设置；同时，每组中含有三个搅拌件，三个搅拌件沿着圆周方向均匀设置。示例性地，搅拌杆410和搅拌件的材料可以为sus316，其中sus是日本jis标准中不锈钢的代号，316不锈钢是按照美国astm标准生产出来的不锈钢的一个牌号，日本引用了美国的叫法，称其为sus316。通过设置以上搅拌装置400，使得搅拌杆410在电机的带动下进行转动，从而使得搅拌片对电镀液进行搅拌，从而维持了电镀液的均匀性。
62.在一些实施例中，电镀液净化设备还包括供气装置300及供气装置300的连通带动供气管310，供气管310设置在反应腔内，且供气管310靠近反应腔的底部设置，供气管310的管壁上间隔的设置有多个供气孔，供气装置300用于向供气管310输送空气。
63.示例性地，反应容器100的一壁面上设置有通孔，供气管310的一端穿过通孔与供气装置300相连接，供气管310的另一端可以沿水平方向延伸，使得供气管310能够沿水平方
向横跨反应容器100的底部，同时供气管310的管壁上间隔设置有多个供气孔，供气孔处可以设置有多个出气嘴320，出气嘴320的出气方向可以沿竖直方向也可以朝斜上方设置。通过设置此结构，使得气体从供气孔喷出向上浮起时，能够带动电镀液运动，同时还能够进一步带动搅拌件转动以进一步加强搅拌效果，从而使电镀液和碳粉在反应腔内搅拌的更均匀，达到电镀液处理效果，提升了产品品质，提高了电镀液的保养效果。
64.在一些实施例中，反应容器100上设置有出风口120，出风口120处设置有抽风装置500。示例性地，出风口120可以设置于反应容器100的顶部，且出风口120的截面面积由下向上可以逐渐增大。
65.本实施例中，出风口120设置于反应容器100的顶部，且此出风口120与反应腔顶部的开口110之间沿水平方向的距离可以为30-50cm，即反应容器100的顶部可以设置开口110，此开口110可以用于安装搅拌装置400，且此开口110与出风口120沿水平方向的距离为30-50cm。另外，反应腔内设置有抽风管，抽风管的一端伸入反应腔内，其另一端伸至出风口120处且连接有主风管，主风管与抽风装置500相连接。通过设置以上抽风装置500，能够将电镀过程中产生的双氧水蒸汽等有害气体吸走，从而避免电镀液净化过程对环境造成污染。
66.在一些实施例中，电镀液净化设备还包括加热装置和冷却装置，加热装置和冷却装置均在反应腔内。
67.示例性地，加热装置可以包括第一管路和第二控制阀，其中第一管路设置于反应腔内，同时第一管路可以为多根不锈钢管，并且多根不锈钢管并排设置于反应腔的底部。因为电镀液进行碳处理时需要维持在65
±
5℃的温度，当将碳粉加入到反应腔内的电镀液时，可能会导致电镀液的温度低于所需温度，此时可以打开第二控制阀使得90℃的中央热水通过第一管路加热反应腔内的电镀液，从而使得电镀液能够达到65
±
5℃，且碳处理时间小于或等于8小时，其中第二控制阀可以为不锈钢电动阀。
68.示例性地，冷却装置可以包括第二管路和第三控制阀，其中第二管路设置于反应腔内，同时第二管路可以为多根不锈钢管，并且多根不锈钢管并排设置于反应腔的底部。由于电镀液在碳处理过程中会释放热量，需要通过冷却水对电镀液进行冷却，此时可以打开第三控制阀使得10℃的中央冷却水通过第二管路冷却反应腔内的电镀液，从而使得电镀液的温度能够维持在65
±
5℃。其中，第三控制阀可以为不锈钢电动阀。
69.综上所述，通过在反应腔内设置加热装置和冷却装置使得电镀液能够始终维持于65
±
5℃，从而使得电镀液能够被碳粉进行高效的净化处理。
70.在一些实施例中，电镀液净化设备还包括进药管130、出药管140和排废料管组件。进药管130的一端插入反应腔内，其另一端用于与生产线上的电镀液缸相连通；出药管140的一端插入反应腔内，其另一端与反应容器100外部的静置药缸相连通。
71.示例性地，进药管130和出药管140均可以为两根，即反应容器100上设置有两个进药口和两个出药口，两个进药管130的一端分别通过与其相对应的进药口伸入反应腔内，使得需要进行净化的电镀液通过两个药管进入反应腔内。两个出药管140的一端分别通过与其相对应的出药口伸入反应腔内，使得净化后的电镀液通过出药管140流至反应容器100外部的静置药缸中。通过将进药管130和出药管140均设置为两个，即设置为双进双出结构，有效的提高了电镀液的加入和输出的效率，从而提高了电镀液的净化效率。
72.另外，排废料管组件包括活动件，活动件可以包括第一控制阀150，第一控制阀150包括第一出口、第二出口和第三出口，第一出口连接有第一排液管160，第二出口连接有第二排液管170，第三出口连接有第三排液管180。其中，第一排液管160用于排保养电镀液，第二排液管170用于排废液和碳粉，第三排液管180用于排保养废水。
73.示例性地，排废料管组件可以为三级管道排药，同时反应容器100上还可以设置有进水管，通过此进水管向反应腔内加入清洁反应容器100的保养水。
74.当反应腔内净化后的净化液通过出药管140排出后，通过调节第一控制阀150使得第二出口与反应腔底部的开口110相连通，使得反应腔底部的废液与碳粉通过第二排液管170排出。
75.当废液和碳粉排出后，通过调节第一控制阀150使得反应腔底部的开口110关闭。然后，通过进水管加入保养水并通过搅拌装置400进行搅拌，从而实现对反应腔的清洗，然后通过第一控制阀150使得第三出口与反应腔底部的开口110相连通，使得清洗反应腔后的保养废水通过第三排液管180排出至废水缸900内。
76.当反应腔被清洗完后，通过调节第一控制阀150使得反应腔底部的开口110关闭，然后通过进药管130加入一定量的无杂质的保养电镀液对反应腔进行保养，相当于对反应腔内进行二次清洗，除去反应腔内的保养废水，从而避免了保养废水掺入到下次需要净化的电镀液中；当保养电镀液完成对反应腔的清洗后，再通过调节第一控制阀150使得反应腔底部的开口110与第一出口相连通，使得清洗反应腔后的保养电镀液通过第一排液管160排出至废药液缸800内。
77.在一些实施例中，反应容器100的一侧还设置有行人台架、物料添加架及观察台架。其中，行人台架可以包括第一框架，第一框架的高度与反应容器的高度相配合，且第一框架内设置有多个台阶，从而便于工作人员通过此台阶运动至一定的高度，并对电镀液的净化过程进行监控。另外，观察台架设置于行人台架的一侧，且观察台架包括支撑架，支撑架上设置有承载台，且支撑架的高度可以与行人台架的高度相近，由此工作人员可以通过行人台架运动至观察台架的承载台上，从而便于工作人员更好的观察电镀液的净化状况。同时，物料添加架与观察台架可以并排设置，物料添加架的高度可以根据实际加料时所需高度进行实际，从而便于工作人员添加物料。
78.以上台架均可以采用sus304钢材制成，其中sus304材料是日本jis标准，也是最常用的不锈钢，包含18％的cr(铬)和8％的ni(镍)，此材料可以在高温和低温环境下保持良好的强度和耐热性，在温和的气氛中也具有良好的耐腐蚀性，可焊接性，冷加工性和机械性能。另外，各台架周围还可以安装防护栏。
79.示例性地，行人台架、物料添加架及观察台架的宽度均可以设置为大于或等于80cm。
80.在一些实施例中，电镀液净化设备还可以配置物料升降机，此升降机可以采用sus304材料制成，且其承载重量可以为大于等于100kg。
81.另外，反应腔的一侧还设置有保养水枪，此保养水枪包括软管和高压水枪，其中软管的长度可以选为大于或等于20m连接自来水分管路，通过此保养水枪能够对电镀液净化设备进行清洗。
82.基于上述实施例，通过在反应容器100的底部设置有开口110，开口110处设置有活
动件，收集槽200设置于反应容器100的底部，且收集槽200通过反应容器100底部的开口110与反应容器100相连通，同时通过活动件能够控制开口110的开启与关闭，使得反应容器100内净化后的电镀液排出后剩下的废液和碳粉通过开口110落入到收集槽200内，由于收集槽200位于反应容器100的底部，且收集槽200上设置有清洁口，从而使得工作人员可以通过此清洁口对收集槽200内的废液及碳粉进行清理，进而有效的降低了清理难度，提高了电镀液的净化效率。同时，还设置了搅拌装置400，通过此搅拌装置400使得电镀液与碳粉之间能够均匀的进行反应，从而提高电镀液的净化纯度和效率。另外，反应容器100的底部还设置有供气装置300和供气管310，通过设置此装置能够使得气体从供气孔喷出向上浮起时，能够带动电镀液运动，进一步提高了电镀液与碳粉之间混合的均匀度，从而进一步提高了电镀液的净化纯度和效率。
83.本公开实施例的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开实施例的限制。
84.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”“第三”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本公开实施例的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
85.在本公开实施例中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本公开实施例中的具体含义。
86.在本公开实施例中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
87.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本公开实施例的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
88.尽管上面已经示出和描述了本公开实施例的实施例，可以理解的是，上述实施例
是示例性地，不能理解为对本公开实施例的限制，本领域的普通技术人员在本公开实施例的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。