技术特征：
1.一种砷化铟多晶的清洗方法，其特征在于，将砷化铟多晶料依次置于王水、混合酸中浸泡，然后用纯水冲洗至多晶料表面无明显氧化痕迹，再依次经超声振洗、无水乙醇浸泡、氮气吹扫后真空烘干；所述混合酸由浓硝酸与浓盐酸按体积比5~10:1混合得到。2.如权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，所述砷化铟多晶料置于王水中的浸泡时长4~5min。3.如权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，所述砷化铟多晶料置于混合酸中的浸泡时长5~10min。4.如权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，制备混合酸的浓硝酸与浓盐酸的纯度均为up级。5.如权利要求1~4任一项所述的清洗方法，其特征在于，纯水冲洗后，若多晶料表面有明显氧化痕迹，则重新依次置于王水、混合酸中浸泡后再使用纯水冲洗，直至多晶料表面无明显氧化痕迹为止。6.如权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，所述砷化铟多晶料在置于王水中浸泡前，先经打磨处理，打磨后的砷化铟多晶料表面无尖锐棱角，呈现为均匀平滑的磨砂面。7.如权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，所述超声振洗具体为：以纯水为介质，超声时长为20~40min，超声频率为30~40khz，超声强度为50~80％。8.如权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，所述无水乙醇浸泡具体为：将经超声振洗后的砷化铟多晶料放进无水乙醇中浸泡10~15min。9.如权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，所述氮气吹扫具体为：使用5n以上高纯高压氮气快速吹干砷化铟多晶料的表面、及表面的缝隙和孔洞，至肉眼无法观察到表面湿润、及水汽从孔洞或缝隙中喷溅。10.如权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，所述真空烘干具体为：烘干温度为150~200℃，烘干时长100~150min，真空度保持低于0 .01pa。
技术总结
本发明属于晶体生长领域，公开了一种砷化铟多晶的清洗方法，将砷化铟多晶料依次置于王水、混合酸中浸泡，然后用纯水冲洗至多晶料表面无明显氧化痕迹，再依次经超声振洗、无水乙醇浸泡、氮气吹扫后真空烘干；所述混合酸由浓硝酸与浓盐酸按体积比5~10:1混合得到。本发明的清洗方法能提高砷化铟多晶料的洁净度，同时降低其在清洗过程中的被氧化程度，使清洗后的砷化铟多晶料满足晶体生长的需求。砷化铟多晶料满足晶体生长的需求。砷化铟多晶料满足晶体生长的需求。
技术研发人员：苏湛 狄聚青 李康
受保护的技术使用者：安徽光智科技有限公司
技术研发日：2022.03.17
技术公布日：2022/6/24