一种半导体设备零部件加工用酸洗装置的制作方法

1.本发明涉及半导体设备加工技术领域，尤其涉及一种半导体设备零部件加工用酸洗装置。


背景技术：

2.半导体是指在常温下的导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，于收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用，而二极管则是常用的半导体设备，二极管在生产过程中，其表面可能会粘附有污垢、油污以及锈蚀等，需要对其表面进行酸洗，以去除二极管表面的杂物。
3.现有的二极管在酸洗时，通常是将二极管放入到酸洗池中，使其静置的浸泡在酸洗液中，二极管静置在酸洗液中酸洗效率和酸洗效果比较低，而且多个二极管堆叠在一起使得二极管的堆叠部分无法有效的接触酸洗液，使得二极管部分位置无法充分的进行酸洗，酸洗效果比较差。
4.基于此，我们提出一种半导体设备零部件加工用酸洗装置。


技术实现要素：

5.本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种半导体设备零部件加工用酸洗装置。
6.为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：一种半导体设备零部件加工用酸洗装置，包括酸洗箱，所述酸洗箱侧壁固定连接有固定架，所述固定架侧壁固定连接有安装板，所述安装板上安装有酸洗机构，所述酸洗机构包括转动连接在安装板侧壁的杆a，所述安装板侧壁固定连接有电机，所述电机输出端贯穿安装板侧壁并与杆a固定连接，所述杆a侧壁固定连接有杆b，所述杆b侧壁固定连接有杆c，所述杆c侧壁转动连接有杆d，所述杆d下端固定连接有固定块，所述固定块侧壁固定连接有放置框，所述放置框内壁开设有多个进液孔，所述安装板侧壁固定连接有杆f，所述杆f侧壁转动连接有杆e，所述杆d为贯穿杆e设置，且所述杆d侧壁与杆e滑动连接，所述酸洗箱上安装有泵液除杂机构，所述泵液除杂机构包括开设在酸洗箱下端的进液槽ⅰ，所述进液槽ⅰ内顶部开设有多个吸液孔，多个所述吸液孔内壁均安装有电磁阀ⅰ，所述进液槽ⅰ内壁固定连接有滤网。
7.进一步地，所述泵液除杂机构还包括固定连接在固定块侧壁的气囊，所述气囊另一端与酸洗箱内壁固定连接，所述气囊通过吸液管与进液槽ⅰ连通，所述放置框侧壁开设有进液槽ⅱ，所述进液槽ⅱ内壁开设有多个喷液孔，所述气囊通过出液管与进液槽ⅱ连通。
8.进一步地，所述吸液管与出液管内壁均安装有单向阀，且多个所述喷液孔内壁均安装有单向阀。
9.进一步地，所述酸洗箱上安装有对滤网进行清洁的清洁机构，所述清洁机构包括固定连接在酸洗箱下端的收集箱，所述进液槽ⅰ通过排杂管与收集箱连通，所述排杂管内壁
安装有电磁阀ⅱ。
10.进一步地，所述清洁机构还包括对称开设在酸洗箱内的两个凹槽，两个所述凹槽内壁滑动连接有两个磁性滑板，两个所述磁性滑板侧壁固定连接有两个杆g，两个所述杆g一端贯穿凹槽内壁延伸至进液槽ⅰ内并共同固定连接有针板，所述针板靠近滤网的侧壁固定连接有多个顶针，所述凹槽内壁固定连接有多个弹簧，多个所述弹簧另一端均与磁性滑板侧壁固定连接，所述凹槽内壁固定连接有电磁铁。
11.进一步地，所述杆b上端固定连接有弧形导电块，所述安装板侧壁对称固定连接有导电条ⅰ和导电条ⅱ，所述电磁阀ⅰ与导电条ⅰ电性连接，所述电磁阀ⅱ与导电条ⅰ和导电条ⅱ均电性连接，所述电磁铁与导电条ⅰ和导电条ⅱ均电性连接。
12.进一步地，所述导电条ⅰ和导电条ⅱ均呈弧形状。
13.本发明具有以下有益效果：1、通过设置酸洗机构，驱动电机顺时针转动，使得放置框左右摆动的同时可以上下抖动，类似于炒菜时的颠锅，使得放置框内的二极管可以不断地被颠起，避免二极管相互堆叠在一起无法各个部分充分的与酸洗液接触，造成酸洗效果不理想，另外二极管不断地在酸洗液内移动，可以使得二极管与酸洗液不断的相互移动产生摩擦，更有利于将二极管表面的污垢、锈给冲刷下来，提高酸洗的效率和效果；2、通过设置泵液除杂机构，在酸洗过程中，酸洗箱内的酸洗液会间歇性的通过吸液孔进入进液槽ⅰ内，固定块的左右移动会不断的拉伸和挤压气囊，在气囊的作用下，酸洗液会不断的抽出然后在进入酸洗箱内，由于酸洗液在进入气囊前会被滤网过滤，酸洗液内的固体杂质会被滤网截留，从而再次进入到酸洗箱内的酸洗液是被过滤处理过的，在整个酸洗过程中会慢慢对酸洗液进行过滤再重复利用，可以有效的提高酸洗效果，也令酸洗液可以重复利用，避免了酸洗液的浪费；3、通过设置泵液除杂机构，进液槽ⅱ内的酸洗液通过喷液孔喷出时，会在放置框形成一道道横向流动的水流，可以再次对二极管进行冲刷，将二极管表面的污垢、锈等杂质冲刷掉，提升酸洗的效果；4、通过设置清洁机构，当气囊向进液槽ⅱ内泵酸洗液时，此时电磁铁和电磁阀ⅱ均断电，电磁铁断电不具备磁性，磁性滑板在弹簧的作用下会向右移动，使得针板与滤网贴合，针板上的顶针会穿过滤网网孔，将滤网网孔内堵塞的杂质顶出，杂质通过排杂管掉入到收集箱内收集，从而避免滤网被杂质堵塞，使得滤网过滤性能下降，同时也堵塞酸洗液进入气囊内。
附图说明
14.图1为本发明提出的一种半导体设备零部件加工用酸洗装置的结构示意图；图2为图1中a-a向结构的剖视示意图；图3为图1中b处结构的放大示意图；图4为图1中c处结构的放大示意图；图5为图1中d处结构的放大示意图；图6为图1中导电条ⅰ和导电条ⅱ的结构示意图。
15.图中：1酸洗箱、2固定架、3安装板、4杆a、5电机、6杆b、7杆c、8杆d、9固定块、10放置
框、11进液孔、12杆f、13杆e、14进液槽ⅰ、15吸液孔、16电磁阀ⅰ、17滤网、18气囊、19吸液管、20进液槽ⅱ、21喷液孔、22出液管、23收集箱、24排杂管、25电磁阀ⅱ、26凹槽、27磁性滑板、28杆g、29针板、30弹簧、31电磁铁、32弧形导电块、33导电条ⅰ、34导电条ⅱ。
具体实施方式
16.参照图1-6，一种半导体设备零部件加工用酸洗装置，包括酸洗箱1，酸洗箱1下端对称固定连接有支撑柱，且支撑柱下端通过膨胀螺钉与地面固定连接，酸洗箱1侧壁固定连接有固定架2，固定架2侧壁固定连接有安装板3，安装板3上安装有酸洗机构，酸洗机构包括转动连接在安装板3侧壁的杆a4，安装板3侧壁固定连接有电机5，电机5输出端贯穿安装板3侧壁并与杆a4固定连接，杆a4侧壁固定连接有杆b6，杆b6侧壁固定连接有杆c7，杆c7侧壁转动连接有杆d8，杆d8下端固定连接有固定块9，固定块9侧壁固定连接有放置框10，放置框10内壁开设有多个进液孔11，安装板3侧壁固定连接有杆f12，杆f12侧壁转动连接有杆e13，杆d8为贯穿杆e13设置，且杆d8侧壁与杆e13滑动连接，酸洗箱1上安装有泵液除杂机构，泵液除杂机构包括开设在酸洗箱1下端的进液槽ⅰ14，进液槽ⅰ14内顶部开设有多个吸液孔15，多个吸液孔15内壁均安装有电磁阀ⅰ16，进液槽ⅰ14内壁固定连接有滤网17。
17.需要说明的是，电磁阀ⅰ16通电则开启，断电则关闭。
18.进一步地，驱动电机5顺时针转动，带动杆a4顺时针转动，进而杆a4通过杆b6和杆c7带动杆d8上下移动，并且在杆e13的限制下，杆d8还会作用弧形形摆动，使得放置框10左右摆动的同时可以上下抖动，类似于炒菜时的颠锅，使得放置框10内的二极管可以不断地被颠起，避免二极管相互堆叠在一起无法各个部分充分的与酸洗液接触，造成酸洗效果不理想，另外二极管不断地在酸洗液内移动，可以使得二极管与酸洗液不断的相互移动产生摩擦，更有利于将二极管表面的污垢、锈给冲刷下来，提高酸洗的效率和效果。
19.泵液除杂机构还包括固定连接在固定块9侧壁的气囊18，气囊18采用耐酸的材料制成，气囊18另一端与酸洗箱1内壁固定连接，气囊18通过吸液管19与进液槽ⅰ14连通，放置框10侧壁开设有进液槽ⅱ20，进液槽ⅱ20内壁开设有多个喷液孔21，气囊18通过出液管22与进液槽ⅱ20连通。
20.吸液管19与出液管22内壁均安装有单向阀，且多个喷液孔21内壁均安装有单向阀，需要说明的是，吸液管19内壁安装的单向阀只允许进液槽ⅰ14内的酸洗液进入气囊18内，出液管22内壁安装的单向阀只允许气囊18内的酸洗液进入进液槽ⅱ20内，喷液孔21内壁安装的单向阀只允许进液槽ⅱ20内的酸洗液进入放置框10内。
21.需要说明的是，进液槽ⅰ14内底部为倾斜设置，使得进液槽ⅰ14内的酸洗液会朝向吸液管19的一端流动，使得进液槽ⅰ14内的酸洗液基本都可以被吸液管19吸走，减少进液槽ⅰ14内的酸洗液残留。
22.进一步地，在酸洗过程中，酸洗箱1内的酸洗液会间歇性的通过吸液孔15进入进液槽ⅰ14内，固定块9的左右移动会不断的拉伸和挤压气囊18，在气囊18的作用下，进液槽ⅰ14内的酸洗液会被吸入到气囊18内，而气囊18内的酸洗液会被挤入到进液槽ⅱ20内，然后酸洗液会通过喷液孔21再次进入到酸洗箱1内，由于进液槽ⅰ14内的酸洗液在进入气囊18前会被滤网17过滤，酸洗液内的固体杂质会被滤网17截留，从而再次进入到酸洗箱1内的酸洗液是被过滤处理过的，在整个酸洗过程中会慢慢对酸洗液进行过滤再重复利用，可以有效的
提高酸洗效果，也令酸洗液可以重复利用，避免了酸洗液的浪费。
23.值得一提的是，进液槽ⅱ20内的酸洗液通过喷液孔21喷出时，会在放置框10形成一道道横向流动的水流，可以再次对二极管进行冲刷，将二极管表面的污垢、锈等杂质冲刷掉，提升酸洗的效果。
24.酸洗箱1上安装有对滤网17进行清洁的清洁机构，清洁机构包括固定连接在酸洗箱1下端的收集箱23，进液槽ⅰ14通过排杂管24与收集箱23连通，排杂管24内壁安装有电磁阀ⅱ25，电磁阀ⅱ25通电则关闭，断电则打开。
25.清洁机构还包括对称开设在酸洗箱1内的两个凹槽26，两个凹槽26内壁滑动连接有两个磁性滑板27，两个磁性滑板27侧壁固定连接有两个杆g28，两个杆g28一端贯穿凹槽26内壁延伸至进液槽ⅰ14内并共同固定连接有针板29，针板29靠近滤网17的侧壁固定连接有多个顶针，且多个顶针分别与滤网17上的网孔一一对应设置，凹槽26内壁固定连接有多个弹簧30，多个弹簧30另一端均与磁性滑板27侧壁固定连接，凹槽26内壁固定连接有电磁铁31。
26.杆b6上端固定连接有弧形导电块32，安装板3侧壁对称固定连接有导电条ⅰ33和导电条ⅱ34，需要说明的是，导电条ⅰ33和导电条ⅱ34下端相互的侧壁之间的距离略大于弧形导电块32的长度，使得弧形导电块32离开导电条ⅰ33时会立刻与导电条ⅱ34接触，但弧形导电块32不会与导电条ⅰ33和导电条ⅱ34同时接触，电磁阀ⅰ16与导电条ⅰ33电性连接，电磁阀ⅱ25与导电条ⅰ33和导电条ⅱ34均电性连接，电磁铁31与导电条ⅰ33和导电条ⅱ34均电性连接，导电条ⅰ33和导电条ⅱ34均呈弧形状。
27.进一步地，气囊18在抽吸进液槽ⅰ14内的酸洗液时，电磁铁31和电磁阀ⅱ25通电，在电磁铁31的磁性作用下，磁性滑板27会移动到凹槽26左端，使得针板29不会与滤网17贴合，针板29不会阻塞滤网17，电磁阀ⅱ25通电关闭，进液槽ⅰ14内的酸洗液也不会通过排杂管24流入到收集箱23内，而当气囊18再向进液槽ⅱ20内进行泵酸洗液时，此时电磁铁31和电磁阀ⅱ25均断电，电磁铁31断电不具备磁性，磁性滑板27在弹簧30的作用下会向右移动，带动针板29向右移动，针板29与滤网17贴合，针板29上的顶针会穿过滤网17网孔，将滤网17网孔内堵塞的杂质顶出，杂质通过排杂管24掉入到收集箱23内收集，从而避免滤网17被杂质堵塞，使得滤网17过滤性能下降，同时也堵塞酸洗液进入气囊18内。
28.本发明中，将需要酸洗的二极管全部放入到放置框10中，然后向酸洗箱1内注入酸洗液，接着驱动电机5顺时针转动，带动杆a4顺时针转动，带动杆b6顺时针转动，带动杆c7以杆a4的圆心为中心做圆周运动，在杆e13的限制下，进而带动杆d8上下移动并左右摆动，并且杆e13会随着杆d8上下摆动，杆d8通过固定块9带动放置框10左右摆动的同时会上下弧形形抖动，类似于炒菜时的颠锅操作，使得放置框10内的二极管可以被颠起落下，避免二极管之间堆叠在一起，使得二极管各个部位能够充分的与酸洗液接触，提高酸洗的效果，并且在放置框10的移动过程中，酸洗液会从进液孔11中来回进出，从而增加酸洗液的流动性，使得酸洗液可以在二极管之间形成冲刷的效果，更加便于将二极管表面锈蚀，污垢给冲刷掉，增强酸洗的效果，提高酸洗的效率。
29.在杆d8通过固定块9带动放置框10移动的过程中，固定块9的左右摆动会不断的拉伸和挤压气囊18，当杆b6转动到下半圈时，此时在整个下半圈的转动过程中，固定块9都会持续拉伸气囊18，并且在刚转动到下半圈时，弧形导电块32会开始与导电条ⅰ33接触，此时
电磁阀ⅰ16会通电打开，电磁阀ⅱ25会通电关闭，电磁铁31会通电具有磁性，在磁吸作用下，磁性滑板27会向凹槽26内向左滑动，带动针板29向左滑动，使得针板29不会与滤网17贴合，酸洗箱1内的酸洗液会通过吸液孔15进入到进液槽ⅰ14内，并且此时气囊18处于被拉伸的状态，进液槽ⅰ14内的酸洗液会通过吸液管19被吸入到气囊18内，酸洗液在通过吸液管19被吸入到气囊18之前，酸洗液会流过滤网17，滤网17会将酸洗液中的固体杂质截留，从而对酸洗液进行过滤处理，当杆a4带动弧形导电块32在下半圈转动90度时，此时弧形导电块32会不再与导电条ⅰ33接触，会立刻与导电条ⅱ34接触，此时电磁阀ⅰ16会断电关闭，电磁阀ⅱ25仍处于通电关闭状态，而电磁铁31仍会通电具备磁性，使得针板29不会与滤网17贴合，杆b6带动弧形导电块32在下半圈继续转动时，进液槽ⅰ14内剩余的酸洗液会通过吸液管19持续被吸入到气囊18内，当杆b6带动弧形导电块32转动超过180度不再与导电条ⅱ34接触时，此时进液槽ⅰ14内的酸洗液已经全部被吸入到气囊18内，且此时电磁阀ⅱ25断电开启，电磁铁31也会断电失去磁性，磁性滑板27会在弹簧30的作用下在凹槽26内壁向右滑动，带动针板29向右滑动，使得针板29与滤网17贴合，针板29上的顶针会穿过滤网17的网孔，将滤网17网孔内堵塞的固体杂质顶出，通过排杂管24掉入到收集箱23内，对滤网17进行清洁，避免滤网17网孔内堵塞杂质，影响滤网17的过滤性能。
30.当杆b6在上半圈转动180度时，整个过程中杆d8会带动固定块9不断的挤压气囊18，气囊18内的酸洗液会通过出液管22不断的被挤入到进液槽ⅱ20内，然后进液槽ⅱ20内的酸洗液会通过喷液孔21再次进入到酸洗箱1内，使得酸洗液可以在过滤处理后再次利用，避免酸洗液的浪费，另外酸洗液从喷液孔21喷出，会在放置框10内形成横向流动的水流，可以对二极管表面再次进行冲刷，将二极管表面的污垢、锈蚀等杂质冲刷干净，进一步的提升酸洗的效果。