湿法槽式晶圆清洗机台的取样阀安全联锁组件的制作方法

1.本实用新型涉及半导体晶片加工领域，尤其是一种湿法槽式晶圆清洗机台的取样阀安全联锁组件。


背景技术：

2.随着科技的发展，半导体加工设备应用于半导体的清洗工序中，半导体加工设备为半导体槽式湿法清洗设备，半导体加工设备包括清洗腔、盖体和手柄，手柄连接于清洗腔，并处于清洗腔内，在半导体加工设备处于非工作状态时，盖体盖合清洗腔，此时，手柄的状态没有检测手段，有时候操作人员在盖合清洗腔后忘记关闭手柄。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是提供一种湿法槽式晶圆清洗机台的取样阀安全联锁组件，所述湿法槽式晶圆清洗机台包括一个清洗腔和一个能够覆盖于所述清洗腔上的盖体；所述取样阀设置于所述清洗腔中且具有一个能够通过旋转控制开关的手柄；所述手柄能够在一个第一关闭位置和一个打开位置间旋转；所述手柄朝向所述盖体的方向设置；
4.所述湿法槽式晶圆清洗机台的取样阀安全联锁组件包括：
5.一个连锁主体，所述连锁主体连接所述盖体朝向所述清洗腔的一端；所述连锁主体包括一个支撑杆和一个抵接板；所述抵接板通过支撑杆连接于所述盖体；所述支撑杆的延伸方向平行于所述盖体的扣合方向；且所述支撑杆的长度累加所述抵接板厚度的距离与所述第一关闭位置与所述盖体的距离相应，以使所述盖体扣合于所述清洗腔时，所述抵接板能够推动所述手柄从所述打开位置转动到所述第一关闭位置。
6.在本实用新型中湿法槽式晶圆清洗机台的取样阀安全联锁组件的另一种实施方式中，所述支撑杆为可伸缩的结构且伸缩方向也所述支撑杆的延时方向一致。
7.在本实用新型中湿法槽式晶圆清洗机台的取样阀安全联锁组件的另一种实施方式中，所述支撑杆包括：一个外部管和一个内部管；所述外部管包括一个沿所述外部管延伸方向设置的内套孔；所述内部管可滑动的设置于所述内套孔中。
8.在本实用新型中湿法槽式晶圆清洗机台的取样阀安全联锁组件的另一种实施方式中，所述内套孔中设置内螺纹；所述内部管的外周向设置外螺纹，以使所述外部管和内部管间通过螺纹连接。
9.在本实用新型中湿法槽式晶圆清洗机台的取样阀安全联锁组件的另一种实施方式中，所述外部管固定连接所述盖体；所述内部管连接所述抵接板。
10.在本实用新型中湿法槽式晶圆清洗机台的取样阀安全联锁组件的另一种实施方式中，所述内部管通过螺钉或螺杆与所述外部管固定连接；所述螺钉或螺杆的延伸方向垂直于所述支撑杆的延伸方向。
11.在本实用新型中湿法槽式晶圆清洗机台的取样阀安全联锁组件的另一种实施方式中，所述内部管外径为：φ1cm～φ1.5cm；所述内部管的长度为4cm～6cm；所述内部管外
径为：φ1.2cm～φ1.7cm；所述内部管的长度为4cm～6cm。
12.在本实用新型中湿法槽式晶圆清洗机台的取样阀安全联锁组件的另一种实施方式中，所述打开位置和所述盖体的内部面具有一个倾斜角度；所述倾斜角度为80
°
～60
°
。
13.在本实用新型中湿法槽式晶圆清洗机台的取样阀安全联锁组件的另一种实施方式中，所述抵接板的长度为：5cm～5.5cm；所述抵接板的宽度为2cm～2.5cm。
14.在本实用新型中湿法槽式晶圆清洗机台的取样阀安全联锁组件的另一种实施方式中，所述支撑杆和所述抵接板的材料为塑料。
附图说明
15.以下附图仅对本实用新型做示意性说明和解释，并不限定本实用新型的范围。
16.图1为湿法槽式晶圆清洗机台的取样阀安全联锁组件的一种示意性实施方式的爆炸图。
17.图2为湿法槽式晶圆清洗机台的取样阀安全联锁组件的一种示意性实施方式的主视图。
18.图3为图2中a向的剖视图。
19.图4为图3中b向的局部放大图。
20.图5为用于半导体加工设备的连锁组的支撑杆的一种示意性实施方式的示意图。
具体实施方式
21.为了对实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图说明本实用新型的具体实施方式，在各图中相同的标号表示结构相同或结构相似但功能相同的部件。
22.在本文中，“示意性”表示“充当实例、例子或说明”，不应将在本文中被描述为“示意性”的任何图示、实施方式解释为一种更优选的或更具优点的技术方案。
23.本实用新型的一种实施方式中，如图1至图5所示，提供了一种半导体加工设备，半导体加工设备包括湿法槽式晶圆清洗机台100和湿法槽式晶圆清洗机台的取样阀安全联锁组件200，其中，湿法槽式晶圆清洗机台100包括一个清洗腔10和一个能够覆盖于清洗腔上的盖体20；取样阀30设置于清洗腔10中且具有一个能够通过旋转控制开关的手柄31；手柄31能够在一个第一关闭位置和一个打开位置间旋转；手柄31朝向盖体20的方向设置，此时，通过手柄31的旋转实现状态的更替。
24.湿法槽式晶圆清洗机台的取样阀安全联锁组件200包括一个连锁主体40，连锁主体40连接盖体20朝向清洗腔的一端；连锁主体40包括一个支撑杆41和一个抵接板42；抵接板42通过支撑杆41连接于盖体20；支撑杆41的延伸方向平行于盖体20的扣合方向；且支撑杆41的长度累加抵接板42厚度的距离与第一关闭位置与盖体20的距离相应，以使盖体20扣合于清洗腔时，抵接板42能够推动手柄31从打开位置转动到第一关闭位置，此时，在盖体20扣合于清洗腔时，抵接板42接触手柄31，并带动手柄31朝向第一关闭位置摆动，保证了手柄31在盖体20扣合于清洗腔时维持在第一关闭位置，避免对手柄31的状态的检测，提高了湿法槽式晶圆清洗机台100的安全性。
25.其中，支撑杆41为可伸缩的结构且伸缩方向也支撑杆41的延时方向一致，支撑杆
41在伸缩状态下调整自身的长度，以便于调整抵接板42和盖体20之间的距离，以便于提高湿法槽式晶圆清洗机台的取样阀安全联锁组件200的通用性，适配各种使用环境。
26.支撑杆41包括一个外部管411和一个内部管412；外部管411固定连接盖体20；内部管412连接抵接板42，此时，通过外部管411和内部管412之间的相对移动实现盖体20和抵接板42之间的距离调整，其中，外部管411包括一个沿外部管411 延伸方向设置的内套孔；内部管412可滑动的设置于内套孔中，此时，内部管412 套接于内套孔内，并在内套孔的导向下实用滑动，以实现外部管411和内部管412 之间的相对滑动，从而实现支撑杆41的伸缩。可选的，内套孔中设置内螺纹；内部管412的外周向设置外螺纹，以使外部管411和内部管412间通过螺纹连接。可选的，内部管412通过螺钉或螺杆与外部管411固定连接；螺钉或螺杆的延伸方向垂直于支撑杆41的延伸方向。
27.具体的，内部管412外径为：φ1cm～φ1.5cm；内部管412的长度为4cm～6cm；内部管412外径为：φ1.2cm～φ1.7cm；内部管412的长度为4cm～6cm。抵接板42 的长度为：5cm～5.5cm；抵接板42的宽度为2cm～2.5cm。支撑杆41和抵接板42 的材料为塑料。打开位置和盖体20的内部面具有一个倾斜角度；倾斜角度为80
°
～60
°
。
28.应当理解，虽然本说明书是按照各个方式描述的，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
29.上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本实用新型的可行性实施例的具体说明，它们并非用以限制本实用新型的保护范围，凡未脱离本实用新型技艺精神所作的等效实施方案或变更，如特征的组合、分割或重复，均应包含在本实用新型的保护范围之内。