一种真空等离子表面清洗机的制作方法

1.本实用新型涉及清洗设备领域，尤其涉及一种真空等离子表面清洗机。


背景技术：

2.等离子表面清洗机也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果，对气体施加足够的能量使之离化为等离子状态，与样品表面发生反应，起到清洗的效果，适用于印刷及喷码行业、电子行业、塑料行业、汽车行业、半导体行业等。
3.现有的等离子表面清洗机虽然也可以进行日常的清理作业，但是还存在着以下的不足：现有的等离子表面清洗机无法对材料摩擦因数、粘合和亲水等各种表面性能进行清洗，清洗工作存在着不足，导致工作效率不高，因此，本领域技术人员提出了一种真空等离子表面清洗机解决上述背景技术中提出的问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种真空等离子表面清洗机。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种真空等离子表面清洗机，包括下壳体，所述下壳体上端固定连接有上壳体，所述下壳体内部设置有下壳槽，所述下壳槽底端中部内壁固定连接有真空泵组，所述真空泵组上端后侧固定连接有匹配器，所述匹配器前端固定连接有反应腔室，所述匹配器底部外表面固定连接在上壳槽底部后侧内壁，所述上壳槽设置在上壳体内部，所述反应腔室底部外表面固定连接在上壳槽底部前侧内壁，所述真空泵组上端前侧固定连接有射频电源，所述射频电源上端外表面固定连接在下壳槽顶部前侧内壁，所述射频电源贯穿在下壳体上端前侧，所述反应腔室贯穿在上壳体前端中部。
6.作为上述技术方案的进一步描述：
7.所述上壳体通过铰链连接有室门，所述室门后侧外表面与反应腔室前端内壁相接触。
8.作为上述技术方案的进一步描述：
9.所述室门中部设置有观察孔，所述室门前端右侧中部外表面固定连接有把手。
10.作为上述技术方案的进一步描述：
11.所述上壳体上端右侧前部固定连接有连接管，所述连接管上端固定连接有报警灯。
12.作为上述技术方案的进一步描述：
13.所述下壳体侧边中部设置有若干个通孔，所述下壳体侧边后端中部设置有拧手。
14.作为上述技术方案的进一步描述：
15.所述下壳体后端左侧中部固定连接有排风口，所述下壳体后端左侧下部设置有排
污口。
16.作为上述技术方案的进一步描述：
17.所述上壳体前端右侧中部滑动连接有开关按钮，所述上壳体前端右侧上部固定连接有人机界面。
18.作为上述技术方案的进一步描述：
19.所述下壳体底部四角均固定连接有万向轮。
20.本实用新型具有如下有益效果：
21.本实用新型中，通过控制真空泵组启动，使得反应腔室，真空泵组，射频电源相互配合，实现对材料表面进行激活，蚀刻，除污等工艺处理，以及对材料的摩擦因数，粘合和亲水等各种表面性能进行改良的目的，适用范围更广，使用更加便捷，达到提高工作效率的作用。
附图说明
22.图1为本实用新型提出的一种真空等离子表面清洗机的正视图；
23.图2为本实用新型提出的一种真空等离子表面清洗机的左视图；
24.图3为本实用新型提出的一种真空等离子表面清洗机的后视图；
25.图4为本实用新型提出的一种真空等离子表面清洗机的真空泵组结构示意图。
26.图例说明：
27.1、上壳体；2、观察孔；3、室门；4、射频电源；5、下壳体；6、万向轮；7、报警灯；8、连接管；9、人机界面；10、开关按钮；11、把手；12、拧手；13、通孔；14、排风口；15、排污口；16、反应腔室；17、上壳槽；18、匹配器；19、下壳槽；20、真空泵组。
具体实施方式
28.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
29.参照图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种真空等离子表面清洗机，包括下壳体5，下壳体5起到保护的作用，保护内部固定连接的真空泵组20，下壳体5上端固定连接有上壳体1，上壳体1进行保护内部固定连接的反应腔室16与匹配器18的作用，下壳体5内部设置有下壳槽19，下壳槽19为下壳体5提供内部空间，下壳槽19底端中部内壁固定连接有真空泵组20，真空泵组20提升真空系统的真空度和高真空环境下的系统抽速，真空泵组20上端后侧固定连接有匹配器18，匹配器18是由检波板，探测板，控制板，和调谐元件组成，主要有调整负载功率和抑制信号反射，匹配器18前端固定连接有反应腔室16，反应腔室16进行放置样品，可以进行物理和化学反应，匹配器18底部外表面固定连接在上壳槽17底部后侧内壁，上壳槽17设置在上壳体1内部，反应腔室16底部外表面固定连接在上壳槽17底部前侧内壁，真空泵组20上端前侧固定连接有射频电源4，射频电源4可以产生固定频率的正弦波电压，具有一定功率的电源，射频电源4上端外表面固定连接在下壳槽19顶部前侧内壁，射频电源4贯穿在下壳体5上端前侧，反应腔室16贯穿在上壳体1前端中部。
30.上壳体1通过铰链连接有室门3，室门3起到封闭的作用，室门3后侧外表面与反应腔室16前端内壁相接触，室门3中部设置有观察孔2，观察孔2方便进行观察反应的情况，为高强度玻璃材质，便于观察的同时保证密封性，室门3前端右侧中部外表面固定连接有把手11，把手11方便进行推动，提高装置实用性，上壳体1上端右侧前部固定连接有连接管8，连接管8起到连接报警灯7的作用，连接管8上端固定连接有报警灯7，报警灯7提供警示的作用，下壳体5侧边中部设置有若干个通孔13，通孔13进行散热的作用，避免等离子表面清洗机因为工作产生的高温导致损坏，达到延长使用寿命的作用，下壳体5侧边后端中部设置有拧手12，拧手12方便进行拆卸下壳体5的作用，下壳体5后端左侧中部固定连接有排风口14，排风口14进行排风的作用，提高散热的效果，下壳体5后端左侧下部设置有排污口15，排污口15进行排出发生反应的可挥发副产物，上壳体1前端右侧中部滑动连接有开关按钮10，开关按钮10控制真空泵组20工作的作用，上壳体1前端右侧上部固定连接有人机界面9，促成人与机器之间交换信息的工具，下壳体5底部四角均固定连接有万向轮6，万向轮6方便进行移动，提高使用便捷性，达到提高工作效率的作用。
31.工作原理：在使用等离子表面清洗机的时候，首先通过将样品放置在反应腔室16内，随后控制开关按钮10启动真空泵组20开始抽气至一定的真空度，然后射频电源4启动产生等离子体，随后气体通入到反应腔室16内部，使反应腔室16中的等离子体变成反应等离子体，这些等离子体与样品表面发生反应，反应产生可挥发的副产物，并由真空泵组20抽出，利用等离子高能离子与材料表面发生物理反应和化学反应，可以实现对材料表面进行激活，蚀刻，除污等工艺处理，以及对材料的摩擦因数，粘合和亲水等各种表面性能进行改良的目的。
32.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。