一种晶圆清洗设备中的定位机构的制作方法

1.本实用新型涉及半导体器件技术领域，尤其涉及一种晶圆清洗设备中的定位机构。


背景技术：

2.晶圆作为半导体元器件以及芯片的制作材料，由于电子元器件与芯片本身要求精密度极高，清洁必然成为最重要的环节之一，目前晶圆的清洗方式主要包括通过将多个晶圆放置在清洁剂溶液内，通过两侧的超声波清洁装置波动清洁剂对晶圆表面清洁，或者通过一定的压力水枪将清洁液从侧面喷射进行清洁。
3.但是现有技术中，无论是哪种清洁方式，都需要保证晶圆两侧受到的振波或水枪压力相同，但传统清洁设备中往往通过机械臂将多个晶圆放置在清洁溶液后，直接开启清洁装置进行清洁，无法将晶圆定位放置在两侧清洁装置的中间处，从而保证两侧压力相同避免造成晶圆表面损伤。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的无法将晶圆定位放置在两侧清洁装置中间处的问题。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种晶圆清洗设备中的定位机构，包括：清洁仓与托盘，所述清洁仓外表面的一侧固定安装有多个固定轴，所述清洁仓外表面的一侧开设有滑槽，所述滑槽的内壁滑动嵌设有滑块，所述清洁仓外表面的一侧固定安装有限位板，所述滑块外表面的一端固定安装有连接柱，所述连接柱的内部固定嵌设有固定杆，所述固定杆外表面的两端均活动连接有直角板，多个所述直角板均活动套设在固定轴的外表面，多个所述直角板外表面的一侧均固定安装有夹持板，所述连接柱外表面的一侧固定连接有滑柱。
6.作为一种优选的实施方式，所述滑柱的外表面活动套设有限位套，所述限位套固定安装在限位板外表面的一侧，所述限位套外表面的一侧固定安装有弹簧，所述弹簧固定安装在滑柱外表面的顶端，所述滑柱外表面的顶端活动连接有安置块。
7.采用上述进一步方案的技术效果是：限位板的固定使得滑柱可以沿着弹簧上下滑动。
8.作为一种优选的实施方式，所述安置块的内部活动嵌设有按钮，所述按钮外表面的底部固定连接有齿条。
9.采用上述进一步方案的技术效果是：托盘的两个开设有扣槽，通过按钮的按压使得齿条相啮合的齿轮转动，由于齿轮以及连接杆均转动连接在安置块的内壁，从而使得两个齿轮以相反的方向转动，从而实现开合和夹持，从而可以使得夹环外表面的一端卡在扣槽的内部，方便夹持。
10.作为一种优选的实施方式，所述齿条外表面的两侧均啮合连接有齿轮，多个所述
齿轮外表面的一端均固定连接有连接杆，所述齿条滑动连接在安置块的内壁，所述齿轮活动连接在安置块的内壁，所述连接杆活动连接在安置块的内部。
11.采用上述进一步方案的技术效果是：齿轮与齿条的啮合连接使得两个连接杆可以以相反的方向转动，从而实现夹持或者开合。
12.作为一种优选的实施方式，多个所述连接杆的外表面均固定连接有夹环，多个所述夹环外表面的一端均活动连接有扣槽。
13.采用上述进一步方案的技术效果是：多个扣槽的开设方便夹环的外表面的一端的夹持。
14.作为一种优选的实施方式，所述扣槽开设在托盘外表面的两侧，所述托盘外表面的一侧开设有凹槽。
15.采用上述进一步方案的技术效果是：凹槽的开设方便放置晶圆，可以根据使用需求设置多个凹槽。
16.与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于，
17.1.本实用新型，使用时通过下压安置块使得滑柱沿着限位套内壁的竖直放下向下移动，从而带动直角板的一端下移，另一端上升，将加持的夹持板打开，当托盘放在清洁仓的底部后，安置块往上移动，在弹簧本身的弹力下将直角板复位，从而对于托盘进行夹持，由于限位板固定安装在清洁仓的中心处位置，即使在下放过程中，放在的位置本身偏移，在夹持板夹持过程中，其中一侧先碰到托盘，推动托盘往另一端夹持板靠近，进而夹持，避免产生放置位置非中心处，晶圆两侧收到清洁压力不同，可能导致晶圆受损的问题。
18.2.本实用新型，使用时通过按压拉起按钮控制夹环对于托盘的夹持，同时设置有扣槽，避免托盘的表面滑落后晶圆受损，同时由于安置块并非固定安装在滑柱的外表面的顶部，设置的安置块本身不需要定位在中心处，方便拉起安放装置的设置。
附图说明
19.图1为本实用新型提供的一种晶圆清洗设备中的定位机构的侧视立体结构图；
20.图2为本实用新型提供的一种晶圆清洗设备中的定位机构的内部立体结构图；
21.图3为本实用新型提供的一种晶圆清洗设备中的定位机构拉起装置的立体结构图；
22.图4为本实用新型提供的一种晶圆清洗设备中的定位机构图2中a处的放大图。
23.图例说明：
24.1、清洁仓；2、托盘；3、固定轴；4、滑槽；5、安置块；6、连接柱；7、固定杆；8、滑柱；201、凹槽；202、扣槽；301、直角板；302、夹持板；401、滑块；501、按钮；502、齿条；503、齿轮；504、连接杆；505、夹环；801、限位套；802、限位板；803、弹簧。
具体实施方式
25.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
26.请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆清洗设备中的定位机构，包括：清洁仓1与托盘2，清洁仓1外表面的一侧固定安装有多个固定轴3，清洁仓1外表面的一侧开设有滑槽4，滑槽4的内壁滑动嵌设有滑块401，清洁仓1外表面的一侧固定安装有限位板802，滑块401外表面的一端固定安装有连接柱6，连接柱6的内部固定嵌设有固定杆7，固定杆7外表面的两端均活动连接有直角板301，多个直角板301均活动套设在固定轴3的外表面，多个直角板301外表面的一侧均固定安装有夹持板302，连接柱6外表面的一侧固定连接有滑柱8，当设备使用时，随着安置块5的逐渐下放，逐步靠近滑柱8外表面的顶部，当接触到滑柱8外表面的顶部时，随着安置块5的继续向下移动，挤压滑柱8向下移动，其中限位套801起到限位固定作用，随着滑柱8的下移，直角板301与固定杆7连接的一端逐渐下移，由于固定轴3是固定安装在清洁仓1外表面的，一端的下移使得直角板301转动，此时直角板301外表面的另一端上移，此时安置块5所夹持的托盘2移动到了清洁仓1内壁的底部，此时将托盘2放下后安置块5上移，此时随着安置块5的上移，在弹簧803弹力的作用下，使得滑柱8上移，直角板301恢复预先设置接近竖直的角度，将托盘2抵住后往中间靠近夹持，其中滑块401是滑动连接在滑槽4的内壁的，避免滑柱8在向下移动时脱轨，其中与弹簧803固定连接的限位板802固定在清洁仓1外表面的一侧，起到固定滑柱8竖直方向位置的作用，其中滑柱8设置在清洁仓1的中心处的位置，使得两个夹持板302将托盘2夹持时往中间推动后夹持，即使安置块5在下方时偏移或托盘2本身规格不同造成偏移，夹持板302在夹持过程中始终可以将托盘2移动夹持在清洁仓1的中心处位置，从而使得在放置装有晶圆的托盘2时，避免产生不同规格的托盘2在下放过程不能适当的放置在清洁仓1的中心处位置，从而导致两侧的清洁装置无法以相同的力清洁晶圆表面，可能造成表面损坏的问题。
27.请参阅图1-4，滑柱8的外表面活动套设有限位套801，限位套801固定安装在限位板802外表面的一侧，限位套801外表面的一侧固定安装有弹簧803，弹簧803固定安装在滑柱8外表面的顶端，滑柱8外表面的顶端活动连接有安置块5，限位板802的固定使得滑柱8可以沿着弹簧803上下滑动。
28.请参阅图1-4，安置块5的内部活动嵌设有按钮501，按钮501外表面的底部固定连接有齿条502，托盘2的两个开设有扣槽202，通过按钮501的按压使得齿条502相啮合的齿轮503转动，由于齿轮503以及连接杆504均转动连接在安置块5的内壁，从而使得两个齿轮503以相反的方向转动，从而实现开合和夹持，从而可以使得夹环505外表面的一端卡在扣槽202的内部，方便夹持。
29.请参阅图1-4，齿条502外表面的两侧均啮合连接有齿轮503，多个齿轮503外表面的一端均固定连接有连接杆504，齿条502滑动连接在安置块5的内壁，齿轮503活动连接在安置块5的内壁，连接杆504活动连接在安置块5的内部，齿轮503与齿条502的啮合连接使得两个连接杆504可以以相反的方向转动，从而实现夹持或者开合。
30.请参阅图1-4，多个连接杆504的外表面均固定连接有夹环505，多个夹环505外表面的一端均活动连接有扣槽202，多个扣槽202的开设方便夹环505的外表面的一端的夹持。
31.请参阅图1-4，扣槽202开设在托盘2外表面的两侧，托盘2外表面的一侧开设有凹槽201，凹槽201的开设方便放置晶圆，可以根据使用需求设置多个凹槽201。
32.工作原理
33.当设备使用时，随着安置块5的逐渐下放，逐步靠近滑柱8外表面的顶部，当接触到
滑柱8外表面的顶部时，随着安置块5的继续向下移动，挤压滑柱8向下移动，其中限位套801起到限位固定作用，随着滑柱8的下移，直角板301与固定杆7连接的一端逐渐下移，由于固定轴3是固定安装在清洁仓1外表面的，一端的下移使得直角板301转动，此时直角板301外表面的另一端上移，此时安置块5所夹持的托盘2移动到了清洁仓1内壁的底部，此时将托盘2放下后安置块5上移，此时随着安置块5的上移，在弹簧803弹力的作用下，使得滑柱8上移，直角板301恢复预先设置接近竖直的角度，将托盘2抵住后往中间靠近夹持，其中滑块401是滑动连接在滑槽4的内壁的，避免滑柱8在向下移动时脱轨，其中与弹簧803固定连接的限位板802固定在清洁仓1外表面的一侧，起到固定滑柱8竖直方向位置的作用，其中滑柱8设置在清洁仓1的中心处的位置，使得两个夹持板302将托盘2夹持时往中间推动后夹持，即使安置块5在下方时偏移或托盘2本身规格不同造成偏移，夹持板302在夹持过程中始终可以将托盘2移动夹持在清洁仓1的中心处位置，从而使得在放置装有晶圆的托盘2时，避免产生不同规格的托盘2在下放过程不能适当的放置在清洁仓1的中心处位置，从而导致两侧的清洁装置无法以相同的力清洁晶圆表面，可能造成表面损坏的问题，此外在使用时，托盘2的两个开设有扣槽202，通过按钮501的按压使得齿条502相啮合的齿轮503转动，由于齿轮503以及连接杆504均转动连接在安置块5的内壁，从而使得两个齿轮503以相反的方向转动，从而实现开合和夹持，从而可以使得夹环505外表面的一端卡在扣槽202的内部，方便夹持。
34.以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非是对本实用新型作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例应用于其它领域，但是凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本实用新型技术方案的保护范围。