一种砷化镓单晶的表面清洁装置的制作方法

文档序号:33173341发布日期:2023-02-04 03:02阅读:24来源:国知局

1.本实用新型涉及一种表面清洁装置,尤其涉及一种砷化镓单晶的表面清洁装置。


背景技术:

2.砷化镓单晶是采用砷化镓制成的半导体器件,具有噪音小、抗辐射能力强等特点,砷化镓单晶在制作过程中,需要进行切割,切割完成之后,砷化镓单晶表面会附着一层粉尘,需要进行清洗。
3.公开号为cn210159998u的专利,公开了一种砷化镓晶片表面清洁装置,包括手柄,在手柄的前端可拆卸地安装有清洁头,在清洁头的前端设置有一根清洁刷毛,清洁头与手柄的连接结构为:在手柄的前端设有定位槽,在定位槽内壁设有半球形限位孔,清洁头的内部中空,在清洁头侧壁设有通孔,在清洁头的内部设弹簧片,弹簧片的一端与清洁头的内壁相固定、另一端固定有伸入通孔且与半球形限位孔相适配的半球形定位块,当清洁头插入手柄的定位槽且转动至半球形定位块与半球形限位孔相对应时,半球形定位块在弹簧片的向外弹力作用下会伸出通孔并插入半球形限位孔,将清洁头与手柄相连接固定。该装置操作简单,使用方便,能有效清除附着在砷化镓晶片表面的颗粒物质,但是该装置在对砷化镓晶片进行清洁时,整个过程都是人们手动操作,且砷化镓晶片一般是批量生产的,数量比较多,人们的工作负担很大,手部容易酸痛。
4.针对目前存在的问题,设计一种可以自动清洗,减轻人们的负担的砷化镓单晶的表面清洁装置。


技术实现要素:

5.为了克服砷化镓晶片一般是批量生产的,数量比较多,人们的工作负担很大,手部容易酸痛的缺点,要解决的技术问题:提供一种可以自动清洗,减轻人们的负担的砷化镓单晶的表面清洁装置。
6.技术方案是:一种砷化镓单晶的表面清洁装置,包括有支撑架、安装筒、水泵、进水管、连接管、喷头、排水管和旋转机构,安装筒底部左右两侧均连接有支撑架,安装筒右侧连接有水泵,水泵右侧连接有进水管,水泵左侧连接有供水流动的连接管,连接管的两端分别密封式贯穿安装筒前后两侧,连接管的两端均连接有用于将水喷出的喷头,喷头位于安装筒内,安装筒底部中间连接有排水管,安装筒左侧设有用于转动砷化镓单晶的旋转机构。
7.进一步地,旋转机构包括有电机、支撑轴、导向架、移动杆、夹块、弹簧、支撑杆、防护板和扭簧,安装筒左侧连接有电机,安装筒中部转动式连接有支撑轴,支撑轴左端和电机的输出轴连接,支撑轴外侧左部均匀间隔的连接有导向架,支撑轴外侧右部也均匀间隔的连接有导向架,每个导向架上均滑动式连接有移动杆,移动杆内端均连接有用于夹住砷化镓单晶的夹块,每根移动杆上均绕有弹簧,弹簧的两端分别与移动杆和导向架连接,安装筒后侧上部连接有支撑杆,支撑杆上转动式连接有能够将水挡住的防护板,防护板将安装筒顶部盖住,支撑杆上绕有两根扭簧,扭簧的两端分别与支撑杆和防护板连接。
8.进一步地,还包括有把手,防护板顶部前侧连接有把手。
9.进一步地,还包括有橡胶垫,两个支撑架底部均连接有橡胶垫。
10.进一步地,还包括有防脱环,进水管外侧连接有防脱环。
11.进一步地,还包括有照明灯,安装筒内右侧上部安装有照明灯。
12.本实用新型具有如下优点:1、本实用新型的电机可以带动砷化镓单晶转动,水泵可以将水输送到喷头内,水通过喷头喷出,对砷化镓单晶进行清洗,如此能够自动转动砷化镓单晶,自动清洗砷化镓单晶,减轻人们的负担。
13.2、在橡胶垫的作用下,可以使本装置更加的稳定,在防脱环的作用下,可以使外接水管更加的稳定,防止外接水管从进水管上脱落,在照明灯的作用下,可以照亮安装筒内,方便人们观察砷化镓单晶的情况。
附图说明
14.图1为本实用新型的立体结构示意图。
15.图2为本实用新型的局部剖视结构示意图。
16.图3为本实用新型旋转机构的立体结构示意图。
17.图4为本实用新型旋转机构的第一种部分立体结构示意图。
18.图5为本实用新型旋转机构的第二种部分立体结构示意图。
19.附图标号:1:支撑架,2:安装筒,3:水泵,4:进水管,5:连接管,6:喷头,7:排水管,8:旋转机构,80:电机,81:支撑轴,82:导向架,83:移动杆,84:夹块,85:弹簧,86:支撑杆,87:防护板,88:扭簧,89:把手,9:橡胶垫,10:防脱环,11:照明灯。
具体实施方式
20.在本文中提及实施例意味着,结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本实用新型的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例,也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是,本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。
21.实施例1
22.一种砷化镓单晶的表面清洁装置,如图1-5所示,包括有支撑架1、安装筒2、水泵3、进水管4、连接管5、喷头6、排水管7和旋转机构8,安装筒2底部左右两侧均通过焊接连接有支撑架1,安装筒2右侧通过螺栓连接有水泵3,水泵3右侧通过螺纹连接有进水管4,水泵3左侧通过螺纹连接有连接管5,连接管5可以供水流动,连接管5的两端分别密封式贯穿安装筒2前后两侧,连接管5的两端均连接有喷头6,喷头6用于将水喷出,喷头6位于安装筒2内,安装筒2底部中间通过螺栓连接有排水管7,安装筒2左侧设有旋转机构8,旋转机构8用于转动砷化镓单晶。
23.如图3-5所示,旋转机构8包括有电机80、支撑轴81、导向架82、移动杆83、夹块84、弹簧85、支撑杆86、防护板87和扭簧88,安装筒2左侧通过螺栓连接有电机80,安装筒2中部通过轴承连接有支撑轴81,支撑轴81左端和电机80的输出轴通过联轴器连接,支撑轴81外侧左部均匀间隔的连接有四个导向架82,支撑轴81外侧右部也均匀间隔的连接有四个导向架82,每个导向架82上均滑动式连接有移动杆83,移动杆83内端均连接有夹块84,夹块84用
于夹住砷化镓单晶,每根移动杆83上均绕有弹簧85,弹簧85的一端和移动杆83连接,弹簧85的另一端和导向架82连接,安装筒2后侧上部通过焊接连接有支撑杆86,支撑杆86上转动式连接有防护板87,防护板87能够将水挡住,防护板87将安装筒2顶部盖住,防护板87为透明材质,支撑杆86左部和右部均绕有两根扭簧88,扭簧88的一端和支撑杆86连接,扭簧88的另一端和防护板87连接。
24.如图3所示,还包括有把手89,防护板87顶部前侧通过螺钉连接有把手89。
25.当需要对砷化镓单晶进行清洗时,人们握住把手89将防护板87打开,扭簧88发生形变,然后将砷化镓单晶放到两个夹块84之间,夹块84向外移动,移动杆83随之向外移动,弹簧85压缩,使得夹块84能够将砷化镓单晶夹住,固定好砷化镓单晶之后,人们关闭防护板87,扭簧88恢复原状,扭簧88可以对防护板87施加力,使得防护板87不会意外打开,然后人们将外接水管套在进水管4上,再启动水泵3,通过进水管4将水吸入连接管5内,水通过喷头6喷出,喷到砷化镓单晶上,对砷化镓单晶进行清洗,脏水通过排水管7排出,此时,人们启动电机80,电机80带动支撑轴81转动,砷化镓单晶随之转动,使得水能够均匀的喷洒在砷化镓单晶上,使得砷化镓单晶能够被清洗的更加干净,并且能够自动转动砷化镓单晶,自动清洗砷化镓单晶,减轻人们的负担,防护板87为透明材质,人们可以透过防护板87看到安装筒2内部,观察砷化镓单晶的情况,清洗完成之后,人们关闭水泵3和电机80,再将清洗完成的砷化镓单晶取出。
26.实施例2
27.在实施例1的基础之上,如图2所示,还包括有橡胶垫9,两个支撑架1底部均连接有橡胶垫9。
28.如图2所示,还包括有防脱环10,进水管4外侧连接有两个防脱环10。
29.如图2所示,还包括有照明灯11,安装筒2内右侧上部通过螺栓安装有照明灯11。
30.本装置放置在地面上时,橡胶垫9和地面接触,橡胶垫9可以增大摩擦力,使得本装置更加的稳定,外接水管套在进水管4上时,外接水管和防脱环10接触,防脱环10可以向外挤压外接水管,使得外接水管更加的稳定,防止外接水管从进水管4上脱落,在光线较暗的情况下,人们可以打开照明灯11,照明灯11可以照亮安装筒2内,方便人们观察砷化镓单晶的情况,清洗完成之后,人们关闭照明灯11。
31.虽然已经参照示例性实施例描述了本实用新型,但是应理解本实用新型不限于所公开的示例性实施例。以下权利要求的范围应给予最宽泛的解释,以便涵盖所有的变型以及等同的结构和功能。
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