一种用于晶圆涂胶显影系统防尘装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体为一种用于晶圆涂胶显影系统防尘装置。


背景技术：

2.涂胶显影机是制造半导体的常用设备，一般用于光刻胶涂布及显影等工艺。涂布光刻胶是涂胶显影机在光刻工艺中必要的一步。
3.在芯片正常生产过程中，晶圆需要通过涂胶显影机完成涂胶显影工艺，工艺过程需要保证环境洁净度达到要求。但是环境中通常含有多种粒子，设备在开关门的过程中，外部颗粒会进入设备内部，影响晶圆生产的良品率。现有的设备由于结构框架的固定化，往往不能防止空气以及设备自身磨损产生的颗粒进入到设备内部。


技术实现要素：

4.针对上述技术问题，本实用新型提供一种用于晶圆涂胶显影系统防尘装置，可以避免外部颗粒进入到设备内部，提高了晶圆生产的良品率。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于晶圆涂胶显影系统防尘装置，包括涂胶显影设备、设于所述涂胶显影设备一侧开设工作槽开口位置的防护门、以及设于所述工作槽内对晶圆加工的涂胶显影模块，所述工作槽内且临近所述防护门的位置设置有防尘机构，所述防尘机构包括设于工作槽内可在工作槽开口位置形成空气气幕的防尘组件；
6.所述防尘组件包括顶侧通过安装件设于工作槽内临近涂胶显影设备顶端槽壁上且底侧侧面开设喷气孔朝向工作槽开口位置的气动喷头。
7.优选的，多个所述喷气孔在气动喷头底侧侧面上沿长度方向等间距开设。
8.优选的，所述气动喷头顶侧与所述安装件转动连接，且气动喷头与安装件的连接处设置有固定件。
9.优选的，所述固定件包括两个对称设于气动喷头两侧且底端相邻侧面分别与气动喷头两侧转动连接的支撑板、以及一端垂直贯穿所述支撑板远离气动喷头一端端面并可与气动喷头贴合的定位螺栓，所述定位螺栓与支撑板螺纹连接，且位于临近支撑板底端与气动喷头侧面转动连接处。
10.优选的，所述固定件包括两个对称设于气动喷头两侧且底端相邻侧面分别与气动喷头两侧固定连接的支撑板，所述气动喷头上开设的喷气孔竖直向下，且气动喷头位于工作槽临近工作槽开口的位置。
11.优选的，所述防尘组件还包括设于防护门顶侧与工作槽开口位置临近涂胶显影设备顶端连接处的铰链、以及设于工作槽内且套设于所述铰链上的防尘网，所述防尘网顶侧与工作槽内临近防尘网位置转动连接，所述防尘网底侧与防护门临近工作槽一端端面且临近铰链位置进行转动连接。
12.优选的，所述防尘组件还包括设于涂胶显影设备侧面上的喷气设备、以及一端设于所述喷气设备出气端另一端贯穿于工作槽内并与气动喷头连接的通气管道，位于涂胶显影设备外部的所述通气管道上设置有阀门。
13.优选的，所述安装件包括贴合工作槽临近涂胶显影设备顶部槽壁上的安装板、以及可穿过所述安装板上开设安装孔并与工作槽槽壁固定连接的固定螺栓，所述安装板下端面与两个所述支撑板的顶端垂直连接。
14.本实用新型的有益效果：直接通过安装件将气动喷头安装于工作槽内，在工作槽开口位置上的防护门打开时，通过气动喷头开设的喷气孔将空气喷射出去，且气动喷头喷射形成发空气气幕面向工作槽，因此在防护门打开时，通过气动喷头在工作槽的开口喷射空气形成空气气幕，避免了空气带着细小的颗粒物进入到工作槽内，影响设备内对晶圆进行加工，可以避免外部颗粒进入到设备内部，提高了晶圆生产的良品率。
附图说明
15.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制，在附图中：
16.图1为本实用新型提出的用于晶圆涂胶显影系统防尘装置简易结构示意图。
17.图2为本实用新型提出的用于晶圆涂胶显影系统防尘装置背面结构示意图。
18.图3为本实用新型提出的用于晶圆涂胶显影系统防尘装置内部结构示意图。
19.图4为本实用新型的喷气设备和通气管道结构示意图。
20.图中：1、涂胶显影设备；2、工作槽；3、防护门；4、把手；5、喷气设备；6、通气管道；7、开关门传感器；8、涂胶显影模块；9、防尘网；10、气动喷头；11、喷气孔；12、安装板；13、固定螺栓；14、支撑板；15、定位螺栓。
具体实施方式
21.为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例和附图，进一步阐述本实用新型，但下述实施例仅为本实用新型的优选实施例，并非全部。基于实施方式中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其它实施例，都属于本实用新型的保护范围。
22.请参阅图1-4，一种用于晶圆涂胶显影系统防尘装置，包括涂胶显影设备1、设于涂胶显影设备1一侧开设工作槽2开口位置的防护门3、以及设于工作槽2内对晶圆加工的涂胶显影模块8，工作槽2内且临近防护门3的位置设置有防尘机构，防尘机构包括设于工作槽2内可在工作槽2开口位置形成空气气幕的防尘组件；
23.防尘组件包括顶侧通过安装件设于工作槽2内临近涂胶显影设备1顶端槽壁上且底侧侧面开设喷气孔11朝向工作槽2开口位置的气动喷头10。
24.如图1-4所示，其中需要对晶圆进行涂胶显影工艺时，通过打开防护门3，防护门3打开时，通过经安装件安装于工作槽2临近涂胶显影设备1顶端槽壁上的气动喷头10上开设喷气孔11，通过喷气孔11将空气喷出，且喷气孔11的朝向，面向工作槽2开口位置，从而便于通过喷气孔11喷射出的空气形成空气气幕，避免了在防护门3打开时外部空气直接通过工作槽2开口位置进入到工作槽2内，以便于通过气幕阻止涂胶显影设备1外部空气直接进入
到工作槽2内，可以避免外部颗粒进入到设备内部，提高了晶圆生产的良品率，保证了涂胶显影设备1内部的洁净度。
25.多个喷气孔11在气动喷头10底侧侧面上沿长度方向等间距开设。
26.如图3所示，其中喷气孔11多个等间距开设，从而便于保证气动喷头10喷射的空气均匀的形成空气气幕，且此空气气幕位于工作槽2开口位置，从而便于保证在防护门3打开时，通过气动喷头10喷射的空气气幕在工作槽2开口位置，通过空气气幕在工作槽2开口位置进行喷洒避免了外界空气掺入颗粒进入到工作槽2内，降低晶圆生产的良品率。
27.气动喷头10顶侧与安装件转动连接，且气动喷头10与安装件的连接处设置有固定件。
28.固定件包括两个对称设于气动喷头10两侧且底端相邻侧面分别与气动喷头10两侧转动连接的支撑板14、以及一端垂直贯穿支撑板14远离气动喷头10一端端面并可与气动喷头10贴合的定位螺栓15，定位螺栓15与支撑板14螺纹连接，且位于临近支撑板14底端与气动喷头10侧面转动连接处。
29.如图4所示，其中气动喷头10与支撑板14之间转动连接，在通过安装件将气动喷头10设于工作槽2槽壁上，将气动喷头10的喷气孔11朝向工作槽2开口位置的方向，此时再通过转动定位螺栓15，使定位螺栓15顶端抵住气动喷头10表面，从而便于固定气动喷头10与安装件之间的角度，从而便于保证气动喷头10的角度，从而便于保证防护门3在打开时，使气动喷头10的喷气孔11将空气喷射到工作槽2的开口位置，并在工作槽2开口位置形成气幕，从而避免了外界空气夹杂着颗粒物进入到工作槽2内，可以避免外部颗粒进入到设备内部，提高了晶圆生产的良品率。
30.固定件包括两个对称设于气动喷头10两侧且底端相邻侧面分别与气动喷头10两侧固定连接的支撑板14，气动喷头10上开设的喷气孔11竖直向下，且气动喷头10位于工作槽2临近工作槽2开口的位置。
31.如图所示，其中竖直设置的气动喷头10设于工作槽2内靠近开口位置，在防护门3打开时，通过气动喷头10将空气通过喷气孔11喷出，从而便于在工作槽2开口位置形成竖直方向上的气幕，也避免了涂胶显影设备1外部的颗粒物伴随着空气进入到工作槽2内，可以避免外部颗粒进入到设备内部，提高了晶圆生产的良品率。
32.其中工作槽2槽壁上还设置有检测防护门3开关的开关门传感器7，通过开关门传感器7控制气动喷头10控制喷射空气，从而便于快捷的检测防护门3的开关来控制气动喷头10的开启关闭，一方面便于节约能源，另一方面也保证了防护门3打开时气动喷头10处于工作状态。
33.如图1-3所示，其中防护门3上设置有卡防护门3打开的把手4。
34.防尘组件还包括设于防护门3顶侧与工作槽2开口位置临近涂胶显影设备1顶端连接处的铰链、以及设于工作槽2内且套设于铰链上的防尘网9，防尘网9顶侧与工作槽2内临近防尘网9位置转动连接，防尘网9底侧与防护门3临近工作槽2一端端面且临近铰链位置进行转动连接。
35.如图3所示，其中在铰链处设置有防尘网9即便防护门3打开关闭导致铰链出现细微磨损出现的颗粒物也可以通过防尘网9对颗粒物进行收集，也避免了位于工作槽2内部的颗粒物在工作槽2内进行移动，可以避免外部颗粒进入到设备内部，提高了晶圆生产的良品
率。
36.防尘组件还包括设于涂胶显影设备1侧面上的喷气设备5、以及一端设于喷气设备5出气端另一端贯穿于工作槽2内并与气动喷头10连接的通气管道6，位于涂胶显影设备1外部的通气管道6上设置有阀门。
37.其中喷气设备5可以采用气泵，且气泵的进气端还设置有过滤装置，用于过滤通过进气端空气中的颗粒物。
38.安装件包括贴合工作槽2临近涂胶显影设备1顶部槽壁上的安装板12、以及可穿过安装板12上开设安装孔并与工作槽2槽壁固定连接的固定螺栓13，安装板12下端面与两个支撑板14的顶端垂直连接。
39.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。