一种Poly舟的清洗方法与流程

本技术涉及太阳电池制备，具体而言，涉及一种poly舟的清洗方法。

背景技术：

1、topcon电池的生产工序众多，其中poly工序是核心工序，poly工序需要使用石墨舟作为载具，承载电池片在腔体里沉积隧穿氧化层与poly膜层，每次沉积膜层时石墨舟不可避免也会镀上隧穿氧化层与poly膜层，使石墨舟变成poly舟，石墨舟在多次使用后，表面会沉积较厚的膜层，该膜层会影响石墨舟的导电性，从而影响topcon成品电池外观与el良率，因此需要定期清洗石墨舟表面的隧穿氧化层与poly膜层。

2、目前，对石墨舟表面的隧穿氧化层与poly膜层的清洗方式主要包括使用酸、碱化学药品进行浸泡的方式进行去除，具体过程包括：石墨舟先采用naoh或koh浸泡清洗，再使用hf+hcl或hf溶液清洗，清洗好后石墨舟进行烘干处理，去除石墨舟表面和石墨舟中多余的水，再在石墨舟表面镀上sin膜层，完成清洗。该清洗过程所消耗的时间较长、效率较低，并且清洗过程使用的化学品较多，造成清洗成本较高，同时清洗完成后会产生大量废水，该废水的处理难度较大；另外采用该方式清洗完成后，石墨舟表面可能会有化学品和水汽的残留，影响后续电池制作，降低电池制备的良率。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种poly舟的清洗方法，以改善目前清洗石墨舟导致石墨舟表面残留杂质影响后续电池制作的问题。

2、本技术实施例提供了一种poly舟的清洗方法，方法包括：对反应气体进行电离，得到清洗离子；反应气体包括有效气体成分，有效气体成分含有氟元素，以使清洗离子含有氟离子。采用清洗离子与poly舟表面的膜层进行反应，以使膜层的结合键断裂并与氟离子形成气体来去除膜层，完成清洗。其中，清洗离子与poly舟表面的膜层反应的环境为低压环境，低压环境的气压不大于500pa。

3、在上述实施过程中，提出了一种干式石墨舟清洗的方式，通过将反应气体电离成离子，而反应气体的有效气体成分中含有氟元素，使得清洗离子含有氟离子，含有氟离子的清洗离子轰击poly舟表面的膜层，使膜层的结合键例如si-n键、si-o键等发生断裂，此时清洗离子中的氟离子与之发生结合变成气体，完成对poly舟表面膜层的去除，改善了目前采用酸、碱化学药品进行浸泡的方式进行去除，而导致的化学品如酸、碱等、水汽、金属离子如na、k等在石墨舟上的残留，进而避免了以上杂质对后续电池制作的影响，有效的提高了电池制备的良率，同时环境的压力会影响反应的快慢，气压不大于500pa的低压环境加速了清洗离子对poly舟表面膜层的轰击，故poly舟表面膜层的去除速度越快。可见，较小的压力有利于反应气体电离产生清洗离子。

4、作为一种可选的实施方式，对反应气体进行电离，得到清洗离子，具体包括：向放置有poly舟的密闭的反应腔内持续通入反应气体，并于反应腔内对反应气体进行电离，得到清洗离子；密闭的反应腔的漏率≤50pa/min。

5、在上述实施过程中，控制密闭的反应腔的漏率≤50pa/min才能更好的控制密闭空间为低压环境，同时，在poly舟的清洗腔室内对反应气进行电离产生清洗离子，能够使得poly舟的清洗速率更加均一，避免出现一部分已清洗完成，另一部分还存在膜层的情况，进而避免了继续清洗对石墨舟产生侵蚀的影响。

6、作为一种可选的实施方式，采用清洗离子与poly舟表面的膜层进行反应，以使膜层的结合键断裂并与氟离子形成气体来去除膜层，完成清洗，具体包括：于密闭的反应腔内采用清洗离子与poly舟表面的膜层进行反应，以使膜层的结合键断裂并与氟离子形成气体来去除膜层，并持续排出反应后气体，以维持低压环境，完成清洗。

7、在上述实施过程中，可以连续不断通入反应气体，并电离产生氟离子，同时，还可以使反应腔保持不大于500pa的低压环境，从而可以使poly舟的清洗效果更好。

8、作为一种可选的实施方式，反应腔中，反应气体的入口和反应后气体的出口位于poly舟的长度方向的两端。可以使氟离子更多地与poly舟接触，从而使poly舟的清洗效果更好。

9、作为一种可选的实施方式，poly舟的上下两侧分别设置有放电电极，以对所述反应气体进行电离。放电电极电离出的氟离子可以直接快速作用在poly舟上，以使poly舟的清洗效果更好。

10、作为一种可选的实施方式，低压环境的气压为100-500pa；可选地，低压环境的气压为150-350pa。该压力的条件下可以使poly舟的清洗效果更好。

11、作为一种可选的实施方式，清洗离子与poly舟表面的膜层反应的温度为160-360℃；可选地，清洗离子与poly舟表面的膜层反应的温度为200-300℃。

12、在上述实施过程中，温度会影响反应的快慢，温度越高，清洗离子的运动速度越快，进而加速了清洗离子对poly舟表面膜层的轰击，故poly舟表面膜层的去除速度越快。控制清洗离子与poly舟表面的膜层反应的温度为160-360℃能够在保持较快的反应速度的前提下，避免反应气体在poly舟表面发生燃烧，导致对电离产生影响。

13、作为一种可选的实施方式，有效气体成分包括cf4、nf3和f2中的至少一种。

14、作为一种可选的实施方式，反应气体还包括辅助气体成分，用以和有效气体成分中除氟元素外的其他元素进行反应产生气体。

15、在上述实施过程中，有效气体包括除氟以外的其他元素，辅助气体能够和有效气体成分中除氟元素外的其他元素进行反应产生气体，避免了其他元素残留于石墨舟上，进而避免了对后续电池制备产生影响。

16、作为一种可选的实施方式，有效气体成分包括cf4；辅助气体成分包括o2。当有效气体成分包括cf4时，辅助气体成分o2可以和c元素发生反应生产co2，co2为气体排出后不会在石墨舟上残留。

17、作为一种可选的实施方式，反应气体中辅助气体成分的摩尔占比不大于50％。

18、在上述实施过程中，控制反应气体中辅助气体成分的摩尔占比不大于50％，可有效的避免辅助气体成分和石墨舟的舟页发生反应，进而避免对石墨舟产生影响，保证石墨舟的使用寿命。

19、作为一种可选的实施方式，有效气体成分的通入流量为2000-13000sccm；和/或，辅助气体成分的通入流量为1000-5000sccm。

20、在上述实施过程中，有效气体成分和辅助气体成分的通入流量越大，会导致有效气体成分和辅助气体成分的浓度越大，而有效气体成分和辅助气体成分的浓度越大，则poly舟表面膜层的去除速度越快，控制有效气体成分的通入流量为2000-13000sccm、辅助气体成分的通入流量为1000-5000sccm能够保持较快的poly舟表面膜层的去除速度，同时也避免有效气体成分和辅助气体成分的浪费。

21、作为一种可选的实施方式，电离的射频电源功率为30-90kw。

22、在上述实施过程中，电离的射频电源功率的大小会影响反应气体电离变成清洗离子的速度，电离的射频电源功率越大，反应气体电离变成清洗离子的速度越快。同时由于反应气体电离变成清洗离子的过程会放出热量，当释放热量过大时，可能导致反应气体发生燃烧，进而影响反应气体电离变成清洗离子。控制电离的射频电源功率为30-90kw能够在保持较快的反应气体电离变成清洗离子的速度的前提下，避免反应气体发生燃烧。

23、作为一种可选的实施方式，取出poly舟之前，方法还包括：向密闭的反应腔通入惰性气体，以使密闭的反应腔恢复常压。

24、在上述实施过程中，本领域技术人员可根据实际需要对通入密闭的反应腔的惰性气体进行选择，例如n2、ar等。