1.一种用于盖板玻璃的等离子清洗、检测、分拣一体化处理装置，其特征在于，其包括：
2.根据权利要求1所述的用于盖板玻璃的等离子清洗、检测、分拣一体化处理装置，其特征在于：所述辊轴式清洁机械臂(74)端部设置有无尘布放置辊轴(741)、无尘布回收辊轴(742)，无尘布放置辊轴(741)与无尘布回收辊轴(742)之间安装有无尘布，辊轴式清洁机械臂(74)将无尘布放置辊轴(741)与无尘布回收辊轴(742)移动至盖板玻璃(9)上方后，无尘布与盖板玻璃(9)贴合，由无尘布放置辊轴(741)、无尘布回收辊轴(742)旋转带动无尘布对盖板玻璃(9)进行清洁处理。
3.根据权利要求1所述的用于盖板玻璃的等离子清洗、检测、分拣一体化处理装置，其特征在于：所述激光部件(76)包括用于检plasma处理时的烧焦不良的透过系统，和用于检测转运划痕、尘点及脏污的反射系统，操作台(57)上还设置有用于传递透过系统、反射系统数据的信号接收器(73)。
4.根据权利要求3所述的用于盖板玻璃的等离子清洗、检测、分拣一体化处理装置，其特征在于：柜体(5)内安装有用于检测柜体(5)内环境参数的温度探头(53)、湿度探头(54)、粒子浓度探头(55)，以及用于净化空气的空气净化装置。
5.根据权利要求4所述的用于盖板玻璃的等离子清洗、检测、分拣一体化处理装置，其特征在于：柜体(5)侧部安装有与转运机械臂(41)、搬运机械臂(42)、分拣机械臂(43)、信号接收器(73)、辊轴式清洁机械臂(74)、温度探头(53)、湿度探头(54)、粒子浓度探头(55)、空气净化装置通讯连接的电脑(51)。
6.根据权利要求1所述的用于盖板玻璃的等离子清洗、检测、分拣一体化处理装置，其特征在于：plasma清洗机构(6)包括清洗主机、沿x轴方向伸缩的伸缩杆(62)，以及安装于伸缩杆(62)前端部的喷嘴(61)；柜体(5)上开设有用于将清洗主机连接喷嘴(61)的进气孔与出气孔；喷嘴(61)安装于plasma平台(1)上方，用于对plasma平台(1)搭载的料盘(8)中的盖板玻璃(9)进行plasma清洗；伸缩杆(62)后端部滑动连接于柜体(5)内侧，可沿y轴方向移动。
7.根据权利要求1所述的用于盖板玻璃的等离子清洗、检测、分拣一体化处理装置，其特征在于：操作台(57)上还设置有用于放置不合格品的废料箱(56)，分拣机械臂(43)设置有多自由度转轴及夹爪(431)，经检测机构(7)检测的不合格的盖板玻璃(9)由夹爪(431)抓取至废料箱(56)。
8.根据权利要求1所述的用于盖板玻璃的等离子清洗、检测、分拣一体化处理装置，其特征在于：柜体(5)开设有柜门(58)，柜体(5)内依次设置有plasma平台(1)、转运平台(2)、输送平台(3)分别连接有用于带动各自沿z轴方向升降的丝杆；输送平台(3)设置于转运平台(2)的前端，转运平台(2)设置有用于将料盘(8)从转运平台(2)推送至输送平台(3)的传动机构(21)；输送平台(3)沿z轴方向可将料盘(8)输送至操作台(57)。
9.根据权利要求1所述的用于盖板玻璃的等离子清洗、检测、分拣一体化处理装置，其特征在于：料盘(8)包括主体结构及设置于主体结构内的、可上下伸缩的硅胶伸缩器(81)；硅胶伸缩器(81)上端部设有用于吸附盖板玻璃(9)吸嘴；主体结构为树脂材料。
10.一种用于盖板玻璃的等离子清洗、检测、分拣一体化处理方法，其特征在于，其包括如下的步骤：