去除异物用滚压机的制作方法

文档序号:38335801发布日期:2024-06-19 11:49阅读:18来源:国知局
去除异物用滚压机的制作方法

本方案涉及去除异物用的手压滚压机的改良,该手压滚压机例如去除在如半导体装置的制造现场等那样需要避免异物的存在的洁净室的地板或墙壁还有不应附着有异物的制品、进而施工现场或工厂等作业场所的地板或墙壁还有设置机械和器具等设备、或者住宅的地板或墙壁等对象表面存在的灰尘或尘埃等微小异物,本方案特别地涉及容易地进行应当去除的异物的检测以及去除结果的确认和去除的效率化,进而容易地进行滚子的长寿命化以及清扫或更换等维护时期等的判断。


背景技术:

1、在应当清扫等的对象表面存在的灰尘或尘埃等异物,例如取决于作为半导体制品的制造现场的洁净室或还有半导体制品本身等环境而期望被可靠地去除。在此情况下,使用旋转自如地支撑卷绕有粘附带的滚子的滚压机,利用该滚压机进行:使滚子在对象表面上旋转而去除异物。

2、在此情况下,由滚压机进行的异物的去除作业取决于情况,大多并未特别确认、识别异物的存在,而使滚压机相对于被认为可能存在异物的对象表面旋转。可是,现实是在室内的照明下难以通过目视来发现以μm为单位的微小灰尘或尘埃。另外,其结果是,如果使滚压机不必要地回转至不存在异物的部位,则作为滚子被卷绕的粘附带的寿命有可能变短。

3、在此情况下,除了作业者用手拿着而操作的用于去除的异物的手压滚压机之外,还提出了将灯照射至对象表面而检测异物的方案(例如,参照专利文献1)。可是,如果将异物的检测和去除作为不同作业,则作业者在存储了存在由灯检测到的异物的位置的基础上,需要将滚压机安排至该部位等,无法期望高效去除。另外,其结果是,同样如果使滚子无用地回转,则粘附带的可使用期间有可能变短。或者,即使由灯照射光并同时另外进行去除作业,同时地分别进行照射和去除这样的不同的2个作业的情况也存在对作业者强加显著负担的问题。

4、另外,虽然也进行在吸尘器等的吸入头安装灯(例如,参照专利文献2),但在仅照射对象表面的一部分的情况下,如果不改变照射方向,则在异物的检测中发生遗漏,并且,其结果是,同样地不能效率良好地去除异物。

5、尤其是,在迄今为止的将光照射至异物而检测的技术中,仅考虑向成为去除的对象的表面照射光,但就此而言存在如下的问题:不能确认是否能够利用滚子来可靠地去除异物,另外不能确认以μm为单位的异物向滚子的附着状态,不能适当地判断滚子的清扫或更换等维护时期等。如果是只仅仅为进行吸引的吸尘器则暂且不谈,对于使用需要比较频繁地清扫或更换的粘附带的滚子而言,从节省资源化的观点出发,该维护时期的判断也变得非常重要。

6、而且,即使将光照射至对象表面,也需要确保能够在室内照明下可靠地检测异物的光,与此同时,另一方面在提高作业效率上,也要求不会发生超出需要的光进入至作业者的眼睛而晃眼等状态。另外,特别地,在对象物是电子零件等制品的情况下,还需要判别通过光的照射而检测到的物体是异物还是损伤或凹凸,在为损伤或凹凸的情况下,还有必要作为检查结果而进行次品这一判定。

7、【在先技术文献】

8、【专利文献】

9、【专利文献1】日本特开2012-134093号公报。

10、【专利文献2】日本实开昭54-183162号公报。


技术实现思路

1、【方案要解决的课题】

2、本方案要解决的课题在于:鉴于上述的问题点,特别地提供一种去除异物用滚压机,该去除异物用滚压机能够容易地进行应当去除的异物的检测以及去除结果的确认和去除的效率化,进而容易地进行滚子的长寿命化和清扫或更换等维护时期等的判断。

3、【用于解决课题的方案】

4、(1.去除异物用滚压机)

5、本方案作为用于解决上述的课题的第1手段,提供一种去除异物用滚压机,该去除异物用滚压机具有:轴部,其旋转自如地支撑使异物粘附而去除的滚子;框架部,其支撑该轴部的两端;以及抓握部,其联结至该框架部,其特征在于,还具有安装于框架部的灯部,该灯部设置于比轴部更靠抓握部侧处,照射滚子的表面和应当去除异物的对象表面双方,产生被异物的表面反射的散射光和异物的影子,且对对象表面中的至少一部分以与滚子的整个宽度相同的宽度以上的范围照射光。

6、(2.光相对于对象表面的入射角)

7、另外,本方案作为用于解决上述的课题的第2手段,提供一种去除异物用滚压机,其特征在于,在上述第1解决手段中,灯部将光以0°至30°的范围的入射角照射至对象表面。

8、(3.人体感应传感器)

9、本方案作为用于解决上述的课题的第3手段,提供一种去除异物用滚压机,其特征在于,在上述第1解决手段中,在抓握部设置有人体感应传感器,该人体感应传感器连接至灯部,灯部仅在由人体感应传感器监测到人对抓握部的接触时照射光。

10、本方案作为用于解决上述的课题的第4手段,提供一种去除异物用滚压机,其特征在于,在上述第2解决手段中,在抓握部设置有人体感应传感器,该人体感应传感器连接至灯部,灯部仅在由人体感应传感器监测到人对抓握部的接触时照射光。

11、(4.角度调整部)

12、本方案作为用于解决上述的课题的第5手段,提供一种去除异物用滚压机,其特征在于,在上述第1至第4的任一个解决手段中,具有调整灯部相对于框架部的安装角度的角度调整部。

13、本方案作为用于解决上述的课题的第6手段,提供一种去除异物用滚压机,其特征在于,在上述第5解决手段中,角度调整部是贯通灯部和框架部并螺纹接合于轴部的固定螺钉,该固定螺钉在灯部相对于框架部以任意角度配置的状态下,将灯部紧固于框架部,调整灯部相对于框架部的安装角度。

14、【方案效果】

15、依据本方案,存在如下的实际益处:如上述那样,滚压机本身具有安装于框架部的灯部,因而能够仅通过滚压机来同时地进行异物的检测和去除作业,因此能够简易地且高效地进行去除作业。

16、依据本方案,存在如下的实际益处:如上述那样,灯部设置于比轴部更靠抓握部侧处,照射滚子的表面和应当去除异物的对象表面双方,产生被异物的表面反射的散射光和异物的影子,因而通过该散射光和影子的对比度,即使在室内照明下,也能够可靠地检测以μm为单位的微小异物,其结果是,能够仅在检测到异物的部位使滚子高效地回转而去除异物,因而不需要使滚子无用地回转,能够使滚子的寿命长期化。

17、另外,在此情况下,依据本方案,存在如下的实际益处:在对象表面并非地板或墙壁,而特别地为电子零件等制品的表面的情况下,即使在该表面存在损伤的情况下,也由于光的照射而发生漫反射,因而即使是微小损伤,也能够检测,如果即使将滚子回转至该部位也未被去除,则能够判定为是存在于制品的不良,不仅单单去除异物,还能够作为制品检查的一个工序来加以使用。

18、依据本方案,存在如下的实际益处:如上述那样,特别地,能够不仅将光照射至应当去除异物的对象表面,还将光照射至滚子的表面而检测附着于滚子的异物,因而能够确认是否能够通过滚子来可靠地去除异物,并且,能够确认以μm为单位的微小异物向滚子的附着状态,容易地判断滚子的清扫或更换等维护时期。

19、依据本方案,存在如下的实际益处:如上述那样,对对象表面中的至少一部分以与滚子的整个宽度相同的宽度以上的范围照射光,因而能够无遗漏地可靠地检测并高效地去除异物。

20、另外,依据本方案,存在如下的实际益处:如上述那样,灯部将光以0°至30°的范围的入射角照射至对象表面,因而后述的实验的结果是,能够适当地在较宽范围内产生被异物的表面反射的散射光和异物的影子,能够有效地进行异物的检测,并且,通过使作业者从上方视觉辨认该照射范围,光不会直接进入至作业者的眼睛,作业者也不会感到晃眼,能够提高作业效率,与此同时,不对作业者给与健康上的影响。此外,在此情况下,灯部所照射的光相对于对象表面的入射角,是指光通过透镜等而扩散并照射,但特别是光源的所设定的朝向(光轴)相对于对象表面的角度。另外,入射角成为0°的情况是指该光轴与对象表面平行的状态,但能够通过扩散的光来最宽地照射对象表面,并且,能够更进一步高效地产生被异物的表面反射的散射光和异物的影子。

21、而且,依据本方案,存在如下的实际益处:如上述那样,在作业者握住的抓握部设置有人体感应传感器,该人体感应传感器连接至灯部,灯部仅在通过人体感应传感器来监测到人对抓握部的接触时照射光,因而作业者不进行开关的操作等就能够照射光,因而能够简易地进行异物的去除作业,并且,如果结束作业,则自动地熄灯,因而能够不浪费电源,使电源耐用。

22、此外,依据本方案,存在如下的实际益处:如上述那样,具有调整灯部相对于框架部的安装角度的角度调整部,因而例如在有必要将滚压机插入至比较窄的场所而必须将抓握部以与对象表面接近平行的状态或朝向比对象表面更靠上方处插入的情况下、或在有必要对比作业者的视线更高的部位进行作业的情况下等,即使在难以适当地确保光相对于对象表面的入射角的情况下,也不会对作业者强迫不合理的姿势,能够适当地调整入射角而有效地检测异物。

23、在此情况下,特别地,依据本方案,存在如下的实际益处:如上述那样,该角度调整部是贯通灯部和框架部并螺纹接合于轴部的固定螺钉,该固定螺钉在灯部相对于框架部以任意角度配置的状态下将灯部紧固于框架部,调整灯部相对于框架部的安装角度,因而能够以简易构成和简易操作在短时间内调整角度。

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