一种高效的靶材加工用清洗装置的制作方法

本发明涉及靶材加工，尤其涉及一种高效的靶材加工用清洗装置。

背景技术：

1、众所周知，靶材材料的技术发展趋势与下游应用产业的薄膜技术发展趋势息息相关，随着应用产业在薄膜产品或元件上的技术改进，靶材技术也应随之变化，在半导体制造、电子束蒸发、溅射镀膜等工艺中，靶材的纯净度和表面质量对最终产品的性能有着至关重要的影响。传统的靶材清洗方法包括手工刷洗、超声波清洗等，但这些方法往往效率低下，无法彻底去除靶材表面的污染物，且容易造成二次污染或损伤靶材表面；因此我们提出一种高效的靶材加工用清洗装置来解决这个问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种高效的靶材加工用清洗装置，以解决上述背景技术中所提出的问题。

2、为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

3、一种高效的靶材加工用清洗装置，包括：

4、清洗壳，所述清洗壳的两侧均设置有夹具；

5、冲洗机构，所述冲洗机构包括喷淋盒和十字架，所述十字架固定安装在所述清洗壳内，且所述喷淋盒的顶部连通有多个喷嘴，所述喷淋盒的底部连通有连接管，所述连接管转动连接在所述十字架内；

6、切换过滤机构，所述切换过滤机构包括转动环和多个滤芯，所述转动环转动安装在所述清洗壳的底部，且滤芯可拆卸安装于所述清洗壳的底部外边缘，且多个所述滤芯呈环形等间距分布；

7、加压机构，所述加压机构包括加压盘和驱动板，所述加压盘设置于所述清洗壳的内部，且所述加压盘的底部固定连接有两个竖板，两个所述竖板的底部均固定连接有竖杆，所述竖杆的底端固定连接有横板，所述横板的顶部固定连接有压力传感器和停止按钮，所述驱动板滑动套接在两个所述竖杆的外侧，且所述压力传感器的顶部固定连接有压簧，所述压簧的顶端固定连接在所述驱动板的底部。

8、优选的，所述清洗壳的底部开设有出水口、圆孔和滑槽，所述圆孔内转动安装有转轴，所述转轴的顶端固定连接有密封盖，所述密封盖活动密封抵接在所述出水口的顶部不，所述出水口的底部与对应的所述滤芯连通；

9、所述转轴的底端固定连接有转动臂，所述滑槽内滑动安装有滑板，所述滑板的一侧铰接有连接杆，所述连接杆的另一端与所述转动臂的另一端转动连接，且所述滑槽内固定安装有限位杆，所述滑板滑动套接在限位杆的外侧，所述滑板的一侧固定连接有复位弹簧，所述复位弹簧的另一端固定连接在所述滑槽的侧壁上，所述滑板的另一侧固定安装有梯形板，其中一个所述竖板的一侧开设有三角槽，所述梯形板活动抵接在所述三角槽的侧壁上。

10、优选的，所述转动环的外侧固定套接有外齿环，所述清洗壳的外侧底部固定安装有旋转电机，所述旋转电机的输出轴上固定连接有驱动齿轮，所述驱动齿轮与所述外齿环相啮合。

11、优选的，所述连接管的外侧固定套接有从动锥齿轮，所述清洗壳的外侧固定安装有清洗电机，所述清洗电机的输出轴上固定连接有圆轴，所述圆轴的另一端固定连接有主动锥齿轮，所述主动锥齿轮与所述从动锥齿轮相啮合；

12、所述清洗壳的底部两侧均固定连接有支撑架，所述支撑架的底部固定安装有底座，所述底座的顶部固定安装有收集盒，所述收集盒的内部固定安装有潜水泵，所述潜水泵的出水口内连通有出水管，所述出水管的另一端转动连接在所述连接管的内部；

13、所述收集盒内固定安装有竖隔板和过滤网，所述清洗壳的底部连通有导出管，所述加压盘的底部固定安装有与所述导出管适配的封堵柱；

14、所述清洗壳内设置有锥形台阶面，清洗壳内部的锥形台阶面以上的内径大于加压盘，所述清洗壳内部台阶面以下的内径与所述加压盘匹配。

15、优选的，所述驱动板的顶部固定安装有两个驱动框，所述驱动框内滑动安装有方板，所述方板的内部转动连接有连接轴，所述连接轴的前后两端均固定连接有转板，位于同一侧的两个所述转板相互远离的一侧均固定连接有横轴，所述清洗壳的底部固定安装有四个固定板，四个所述横轴分别转动连接在对应的所述固定板内，且其中一个所述固定板的一侧固定安装有驱动电机，其中一个所述横轴的另一端固定连接在所述驱动电机的输出轴上；

16、位于前侧的两个所述横轴上均固定连接有链轮，两个所述链轮上传动安装有同一个链条。

17、优选的，所述夹具包括安装架、转动座和两个夹持座，所述安装架的一侧固定安装有第一电机，所述转动座固定连接在所述第一电机的输出轴上，所述转动座的前后两侧分别固定安装有第二电机和第三电机；

18、优选的，转动座的顶部和底部均固定安装有u型架，所述u型架内转动安装有丝杆，所述夹持座的一侧固定连接有连接架，所述连接架滑动套接在对应的所述u型架的外侧，且两个所述连接架分别螺纹套接在对应的所述丝杆的外侧，两个所述丝杆相互靠近的一端均固定连接有小锥齿轮，所述第二电机的输出轴上固定连接有驱动轴，所述驱动轴上固定安装有大锥齿轮，两个所述小锥齿轮均与所述大锥齿轮相啮合。

19、所述第三电机的输出轴上固定连接有螺杆，所述转动座的内部滑动安装有滑动座，所述滑动座螺纹套接在所述螺杆的外侧，所述转动座内固定安装有两个固定杆，所述滑动座滑动套接在两个所述固定杆的外侧。

20、优选的，所述夹持座的内部转动安装有多个夹持轮，所述夹持轮的一侧固定连接有从动齿轮，所述夹持座的一侧固定安装有滑轨，所述滑轨的外侧滑动调节有滑框，两个所述滑框相互靠近的一侧均固定连接有齿条，所述齿条与对应的所述从动齿轮相啮合，且所述滑框的一侧开设有引导槽，所述滑动座滑动连接在对应的所述引导槽内。

21、本发明的有益效果在于：

22、1、本发明中，所述的一种高效的靶材加工用清洗装置，通过将需要清洗的靶材放置在两个夹具内，然后启动第二电机带动驱动轴旋转，并带动大锥齿轮同步旋转，大锥齿轮通过与两个小锥齿轮的啮合带动两个丝杆旋转，两个丝杆通过与连接架的螺纹传动带动两个连接架相互靠近，两个连接架带动两个夹持座相互靠近，使得夹持轮抵接在靶材表面实现对靶材的装夹，通过启动第三电机带动螺杆旋转，螺杆通过与所述滑动座的螺纹传动并在固定杆的导向下带动滑动座前后移动，滑动座带动两个滑框进行同步的前后移动，滑动框带动齿条进行前后移动，齿条通过与从动齿轮的啮合带动夹持轮进行旋转，从而对夹持轮抵接在靶材表面的位置进行调节，且可以通过启动两个第一电机同步运转，带动两个转动座同步旋转，从而对靶材的角度进行调节；

23、2、本发明中，所述的一种高效的靶材加工用清洗装置，通过启动潜水泵对收集框内预先放置的清洗水进行抽取，并通过出水管和连接管导入喷淋盒内，然后从喷头喷出，实现对靶材的冲洗，并启动清洗电机带动圆轴和主动锥齿轮相啮合，主动锥齿轮通过与从动锥齿轮的啮合带动连接管和喷淋盒旋转，从而实现对靶材不同位置的冲洗工作；

24、3、本发明中，所述的一种高效的靶材加工用清洗装置，清洗过程中清洗废水直接回落到清洗壳内，从压价盘与清洗盒之间的缝隙流下，通过导出管导出，通过过滤网进行过滤，最后重新进入收集盒内，从而对清洗废水进行循环利用；

25、4、本发明中，所述的一种高效的靶材加工用清洗装置，通过启动驱动电机带动其中一个横轴旋转，并通过两个链轮的传动带动另一个横轴同步旋转，横轴通过转板带动连接轴进行圆周运动，连接轴通过与方板的配合带动驱动框和驱动板进行上下往复移动，驱动板向下移动的过程中通过压簧带动横板向下运动，横板通过竖杆和竖板带动加压盘向下运动，使得加压盘穿过锥形台阶面并于清洗壳的内壁抵接，同时加压盘带动封堵柱向下运动，使得封堵柱插入导出管内对其进行封堵，同时竖板向下移动后三角槽侧壁通过与梯形板的抵接带动滑板向右移动，滑板通过连接杆和转动臂带动转轴旋转，转动带动密封盖旋转，使得密封盖从出水口移开，使得清洗废水流入滤芯内，通过滤芯进行过滤，过滤时加压盘受到阻力从而对压簧进行按压，并通过压力传感器对压力进行感知，通过压力感知结果判断清洗废水的干净程度，当靶材清洗足够干净时，清洗废水干净使得滤芯的过滤阻力小，使得压力传感器感知的压力值较小，则可停止清洗工作；

26、5、本发明中，所述的一种高效的靶材加工用清洗装置，在驱动板带动加压盘向上移动过程中，通过启动旋转电机带动驱动齿轮旋转，驱动齿轮通过与外齿环的啮合带动转动环旋转，转动环带动滤芯进行圆周运动，使得不同的滤芯对准出水口，从而避免使用过的滤芯对过滤阻力造成误判，且当驱动板对停止按钮进行挤压时，则说明过滤阻力过大，此时停止按钮控制驱动电机停止运转，并通过启动旋转电机带动转动环旋转，从而对滤芯进行切换，以降低过滤阻力；

27、6、本发明中，所述的一种高效的靶材加工用清洗装置，通过设置的加压机构和切换过滤机构能够在清洗过程中通过测试清洗废水的过滤阻力从而判断靶材的清洗干净程度，以保证对靶材彻底的清洗工作。