技术领域本发明涉及液体材料吐出装置及方法，详细而言，涉及在内部流路构造具有特征的液体材料吐出装置及方法。本发明中，将能够通过往返移动动作对与吐出口的连通孔进行开闭的杆状的构件称呼为针(needle)。
背景技术：
在吐出液体材料的装置中，为了将吐出量或吐出形状控制为一定，以液体材料的温度成为一定的方式进行控制是一个重要的要素。为了控制液体材料的温度，迄今为止提出有各种技术。在专利文献1中公开有一种粘性体吐出装置，其特征在于，在收纳粘性体且对内部进行加压而将粘性体自前端吐出至规定的部位的粘性体吐出装置中，设置以下构件：收纳体，其收纳粘性体并且具有将粘性体吐出至外部的开口部；加压单元，其对收纳体的内部进行加压；开闭单元，其对粘性体吐出的收纳体的开口部进行开闭；调节单元，其自外侧对开闭单元的开闭动作进行微调整；吐出单元，其在粘性体吐出的收纳体的开口部具备减少不要填充空间的管状的吐出路径；盖，其覆盖设置于吐出单元的外周；及保持单元，其支撑收纳体及盖并且将温度保持为一定。在专利文献2中公开有一种涂装装置，其特征在于，在具有收纳涂料的主罐、用以吐出涂料的涂装单元、以涂料在主罐与涂装单元之间进行循环的方式配置的第1循环配管、及将通过第1循环配管内的涂料加热至规定的温度的加热器的涂装装置中，具备：副罐，其收纳涂料；第2循环配管，其使副罐内的涂料再次收纳于副罐内；补给配管，其连接于主罐；及切换单元，其设置于第2循环配管，将流动于第2循环配管内的涂料供给于补给配管侧。在专利文献3中公开有一种宽幅头或喷嘴块的温度稳定方法，其特征在于，是使加温了的液体或熔融体经由吐出口而宽幅地展开至吐出口的下游的宽幅头或喷嘴块的温度稳定方法，在宽幅头或喷嘴块的长边方向上设置至少一个液体或熔融体的通路，使与自吐出口吐出至该通路的液体或熔融体相同的液体或熔融体通过。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2000-33306号公报专利文献2：日本特开2001-276716号公报专利文献3：日本特开2002-18348号公报
技术实现要素：
发明所要解决的问题如专利文献1所述，在采用将加热器及热传感器设置在吐出装置的吐出口附近的结构的情况下，存在需要用以收纳加热器等的空间，另外，吐出头大幅变重等的技术问题。如专利文献2所述，在将吐出装置配置在循环配管中途的情况下，为了动态地降低泵的脉动，需要设置蓄能器(accumulator)等。此外，在液体通过连通吐出口与循环配管的流路时，由于在该流路上未设置加热器，因而有液体的温度下降等的技术问题。如专利文献3所述，在设为将保温用的分支流路设置在喷嘴块的结构的情况下，由于该分支流路中也会产生液体的温度降低，因而有能量效率差，另外，温度控制困难等的技术问题。然而，在喷雾用途中使用吐出装置的情况下，由于待机时喷嘴前端容易干燥，因此，为了防止干燥，有时会将喷嘴前端浸渍于稀释剂等的溶剂中。在此，由于溶剂的挥发性高而无法成为高温，因此，通过将喷嘴前端浸渍于低温的溶剂，存在喷嘴前端及喷嘴内的液体变冷等的技术问题。在这样的用途中，也要求能够使喷嘴内的液体的温度降低成为最小限度的吐出装置。因此，本发明的目的在于，提供一种能够一边使液体材料的温度降低为最小限度一边静态地减少泵脉动的影响的吐出装置及方法。解决问题的技术手段液体材料吐出装置所涉及的本发明，其特征在于，具备：具有向下方开口的吐出口的喷嘴；具有连通于吐出口的连通孔的阀座；与连通孔连通且上下延伸的液室；在液室内往返移动而对阀座的连通孔进行开闭的针；及将液体材料供给至液室的循环流路，设置形成有外侧流路及内侧流路的棒状的流路形成构件，该外侧流路具有设置在上端部的上部开口及设置在下端部的下部开口，该内侧流路具有与外侧流路连通的下部开口及设置在上端部的上部开口，将上述流路形成构件插装于上述液室，使上述外侧流路的下部开口及上述内侧流路的下部开口与上述阀座的连通孔连通，使上述循环流路由在与针延伸的方向不同的方向上延伸且与上述流路形成构件的外侧流路的上部开口连通的第一流路、在与针延伸的方向不同的方向上延伸且与上述流路形成构件的内侧流路的上部开口连通的第二流路、上述流路形成构件的外侧流路、及上述流路形成构件的内侧流路构成。上述液体材料吐出装置中，优选其特征在于，上述流路形成构件的外侧流路的直径相较于上述第一流路为小径，进一步优选其特征在于，上述流路形成构件的外侧流路的截面积为上述第一流路的截面积的1/2以下。上述液体材料吐出装置中，其特征也可以在于，上述流路形成构件的外侧流路由在流路形成构件的外周凹陷设置的槽构成，上述流路形成构件的内侧流路由贯通流路形成构件的贯通孔构成，上述流路形成构件的外径相较于上述液室的内径为稍微小的小径。此外，上述液体材料吐出装置中，优选其特征在于，上述流路形成构件的外侧流路自外侧流路的入口至出口为止绕着流路形成构件旋转一周以上，进一步优选其特征在于，上述流路形成构件的外侧流路形成为螺旋状。上述液体材料吐出装置中，其特征也可以在于，具备：具有上述液室的针收纳体；及具有上述第一流路及上述第二流路的接液构件，针收纳体与接液构件被装卸自如地固定设置，优选其特征在于，上述第一流路及上述第二流路通过由上述流路形成构件分隔在接液构件内沿水平方向延伸的孔而构成。上述液体材料吐出装置中，其特征也可以在于，在上述流路形成构件的外侧流路，配设有多孔质构件或水车构件。上述液体材料吐出装置中，其特征也可以在于，具备：贮存液体材料的储罐；对液体材料的温度进行调节的加热器；将液体材料自上述储罐向上述第一流路或者上述第二流路送出的泵；将上述储罐、上述泵、上述第一流路及上述第二流路连通的循环配管；及控制装置，将经温度调节的液体材料循环供给至上述液室。此外，其特征也可以在于，上述泵向上述第一流路送出液体材料，或者，上述泵向上述第二流路送出液体材料。液体材料的吐出方法所涉及的本发明，其特征在于，使用具备上述泵的液体材料吐出装置，自吐出口将经温度调节的液体材料吐出。发明的效果根据本发明，由于在上下延伸的液室内设置有循环流路，因此可使即将被吐出之前的液体材料的温度降低为最小限度。此外，通过流动阻力相对较高的外侧流路，可静态地减小泵的脉动。附图说明图1为第1实施方式所涉及的液体材料吐出装置的截面图。图2为第1实施方式所涉及的流路形成构件的侧面图及截面图。图3为第1实施方式所涉及的循环机构的方块图。图4为例示第2～5实施方式所涉及的流路形成构件的外侧流路的变形的侧面图及截面图。其中，(a)为第2实施方式，(b)为第3实施方式，(c)为第4实施方式，(d)为第5实施方式。图5为第6～9实施方式所涉及的流路形成构件的侧面图。其中，(a)为第6实施方式，(b)为第7实施方式，(c)为第8实施方式，(d)为第9实施方式。图6为第10～11实施方式所涉及的液体材料吐出装置的主要部分截面图。其中，(a)为第10实施方式，(b)为第11实施方式。具体实施方式以下，对用以实施本发明的方式例进行说明。《第1实施方式》图1中显示第1实施方式所涉及的液体材料吐出装置1的概略截面图。本实施方式中基本使用的液体材料吐出装置1是通过压缩气体或弹簧7的力驱动活塞5，且通过固定设置于活塞5的针4的前端对阀座31的连通孔30进行开闭，从而自喷嘴19吐出液体材料的针阀式吐出装置。图1所示的吐出装置1是呈点状或线状吐出液体材料L的装置，但也可通过更换喷嘴19而呈雾状吐出。以下，对构成本实施方式的吐出装置1的主要的要件即驱动部2及接液部3进行详细的说明。[驱动部]驱动部2主要由固定设置有针4的活塞5、在其内部可移动地收纳活塞5的活塞收纳体6、将活塞5及针4向阀座31的方向施力的弹簧7、及连接供给用以驱动活塞5的压缩气体的配管的配管接头(8、9)构成。活塞收纳体6是在内部形成有通过活塞5而间隔为上侧活塞室11及下侧活塞室12的气密空间的构件。上侧活塞室11配设有弹簧7，下侧活塞室12成为供给活塞5驱动用压缩气体的室。在各活塞室(11、12)分别设置有用以进行压缩气体的供给及排出的上侧配管接头8及下侧配管接头9，在各配管接头(8、9)的与活塞室(11、12)相反的一侧分别连接有气体配管10。为了将上侧活塞室11内保持为气密，在活塞5的侧面配设有密封构件C15。为了将下侧活塞室12内保持为气密，在形成在下侧活塞室12的底面的针贯通孔B13的部分配设有密封构件B14。在活塞收纳体6的上端固定设置有用以调整活塞5的移动量的冲程调整构件16，通过改变该构件的向内部的突出量，可调整活塞5的最后退位置。活塞5通过弹簧7向阀座31的方向(下方)被施力，在无压缩气体供给至活塞室(11、12)的状态下，在针4的前端抵接于阀座31的位置上停止。若将压缩气体供给至下侧活塞室12，则对抗弹簧7的力，活塞5向上方驱动。此时，上侧活塞室11内的气体自上侧配管接头8排出。然后，若停止向下侧活塞室12供给压缩气体，且将压缩气体向上侧活塞室11内供给，则通过弹簧7的力，活塞5向下方驱动。此时，下侧活塞室12内的气体自下侧配管接头9排出。也可在上侧配管接头8及下侧配管接头9设置速度控制阀(速度控制器)。通过速度控制阀，对向活塞室(11、12)内供给的气体或自活塞室(11、12)内排出的气体的速度(流量)进行控制，可控制活塞5的驱动速度。[接液部]连设于驱动部2的下方的接液部3主要由接液构件17、针收纳体18、喷嘴19及流路形成构件34所构成。接液构件17是在内部形成有流路及针贯通孔A23的块状构件。在接液构件17的内部形成有水平循环流路32及插入孔22，水平循环流路32是在与针4延伸的方向不同的方向(例如水平方向)上贯通而延伸的流路，插入孔22与水平循环流路32的侧方连通且向与针4延伸的方向相同的方向(垂直方向下方)贯通而延伸。图1的结构例中，在接液构件17的内部，水平循环流路32及插入孔22构成截面视图T字状的流路。再者，与插入孔22连通的循环流路，不一定需要由水平的贯通孔所构成，例如，也可为V字状的循环流路。在接液构件17，与插入孔22同心地形成有在铅垂方向上延伸的针贯通孔A23。在针贯通孔A23插入有针4，在针4与针贯通孔A23的内壁之间设置有用以防止液体材料L向驱动部2侧漏出的密封构件A24。本实施方式的水平循环流路32通过流路形成构件34而被区划为位于图示右侧的第一流路20、及位于图示左侧的第二流路21。在第一流路20经由第一连接接头25连接有液体配管27，同样地，在第二流路21也经由第二连接接头26连接有液体配管27。连接于接头25、26的液体配管27，与对经温度调节的液体材料L进行循环的循环机构50(详细情况参见图3且后面叙述)连接。在自第一连接接头25供给液体材料L的情况下，第一流路20成为上游，第二流路21成为下游，在自第二连接接头26供给液体材料L的情况下，第一流路20成为下游，第二流路21成为上游。以下，为了方便说明，对第一流路20成为上游且第二流路21成为下游的情况进行说明。在接液构件17的下部可装卸自如地固定设置有在上端具有凸缘的筒状的针收纳体18。若将接液构件17与针收纳体18拆解，则可容易地取出插装于针收纳体18的流路形成构件34。在针收纳体18的内部形成有上下延伸的圆柱状的液室33，且连通插入孔22及连通孔30。液室33与插入孔22及针贯通孔A23同心。优选液室33的直径与插入孔22的内径实质上为同径。在针收纳体18的下端，通过带孔的盖形状的固定构件29而固定有阀座31及喷嘴19。阀座31是在中心设置有连通孔30的圆盘状的构件。阀座31的上表面的大部分面对内侧流路35，且处于通过内侧流路35内的液体材料L而被经常加热的状态。因此，优选通过热传导性良好的金属来构成阀座31，以使来自液体材料L的热传递至连通孔30。更优选通过金属构成流路形成构件34，使流路形成构件34的前端面与阀座31的上表面抵接，使来自流路形成构件34的热传递至阀座31。喷嘴19是收纳阀座31的杯状的构件，在中心设置有用以将液体材料L向外部排出的吐出口28。针收纳体18的下端开口即液室33的一端，经由连通孔30与吐出口28连通。通过活塞5的驱动，若针4的前端离开阀座31，则自吐出口28吐出液体材料L，若针4的前端抵接于阀座31，则停止自吐出口28的吐出。再者，针4的前端的形状不限于图示的形状，只要是可将连通孔30堵塞，可为任意的形状。[流路形成构件]图2中显示本实施方式所涉及的流路形成构件34的侧面图、以及A-A截面图及B-B截面图。流路形成构件34是具有自密封构件A24(水平循环流路32的上端)遍及至阀座31的长度的圆筒状构件。流路形成构件34的外径相较于插入孔22及液室33的直径为稍微小的小径，装卸自如地被插入到插入孔22内。其中，流路形成构件34的外径与插入孔22及液室33的直径的差，在不损失装卸自如性的范围内被设为最小限度，以使液体材料自外侧流路36不遗漏地移送。即，以作为插入孔22及液室33的内壁与流路形成构件34的外侧面协作而将凹槽即外侧流路36封闭的流路的方式，设定流路形成构件34的外径。流路形成构件34由耐热性的材料所构成，例如，由不锈钢或铝合金等的金属、或者PEEK(聚醚醚酮)等的耐热性树脂材料所构成。再者，吐出装置1可将流路形成构件34安装于具备圆柱状的液室的现有的吐出装置而构成，在此情况下，流路形成构件34的大小配合现有的吐出装置的液室的形状而制作。流路形成构件34的形状不限于圆筒状，例如也可为设置有在长边方向上延伸的贯通孔的前端细的棒状构件、在侧面设置有高低(具有大径部及小径部)的棒状构件、截面为多边形的棒状构件。流路形成构件34是具有外侧流路36及内侧流路35的圆柱状的构件，外侧流路36具有设置于上端部的上部开口40及设置于下端部的下部开口41，内侧流路35具有与外侧流路36连通的下部开口41及设置于上端部的上部开口37。即，流路形成构件34具有贯通设置于铅垂方向(沿中心轴的方向)的内侧流路35、及以围绕内侧流路35的周围的方式凹陷设置于外面的外侧流路36。内侧流路35的直径构成为大于针4的直径。即，内侧流路35构成为在针4的外周面与内侧流路35的内周面之间形成间隙的大小，使得不妨碍针4的往返移动。在内侧流路35的上端设置有针4被插通且与内侧流路35连通的针贯通孔C37。针贯通孔C37的内径与针4的外径实质上为同径。在针贯通孔C37的稍微下方的位置设置有与中心轴垂直(水平方向)地开口的内侧流路上部开口38。经由该内侧流路上部开口38，将内侧流路35与流路形成构件34的外部连通。在内侧流路35的下端设置有与阀座31的连通孔30及内侧流路35连通的流出孔39。外侧流路36是一边绕着流路形成构件34的上端部及下端部旋转一边连续的一条流路，且是凹陷设置于流路形成构件34的外面的槽。图2中，作为一边自流路形成构件34的上端朝向下端一边围绕内侧流路35的周围的最单纯的形状，例示螺旋状的槽。但是，外侧流路36的形状不限于螺旋状，只要是以围绕内侧流路35的周围的方式凹陷设置于外面的槽即可。外侧流路36只要起到作为流路的功能即可，可通过任何的形状来实现，但根据制造成本的观点，优选为由向外部开放的相同截面积的凹槽构成。外侧流路36也可通过对称地配置偶数条的相同形状的流路而构成。此外，通过将外侧流路36的长度设定为一定以上，可减小泵脉动。通过使外侧流路36绕着流路形成构件34的外周旋转例如2周、3周、4周或5周以上，可确保外侧流路36的长度。再有，将外侧流路36的长度设定为一定以上，还有助于减少流路形成构件34的材料。这在由金属构成流路形成构件34的情况下还连带产生液体材料L的温度降低变小等的技术效果。外侧流路36与内侧流路35，仅在外侧流路下部开口(或内侧流路下部开口)41连通，在其它的部位不连通。换言之，通过流路形成构件34的外周壁，将外侧流路36与内侧流路35分隔。在外侧流路36的上端设置与流路形成构件34的外部连通的外侧流路上部开口40，在下端设置与内侧流路35连通的外侧流路下部开口41。如图2的A-A截面图所示，优选外侧流路上部开口40与内侧流路上部开口38在通过中心的直线上排列成一直线且形成为各个孔相互朝向外的朝向。更优选将外侧流路上部开口40与内侧流路上部开口38的轴向位置(高度位置)设为实质上相同的位置。其原因在于，为了使液体材料L循环，外侧流路上部开口40及内侧流路上部开口38需要分别与第一流路20及第二流路21连通(参照图1)。另一方面，图2的B-B截面图所示的外侧流路下部开口41，也可设为任意的朝向。流路形成构件34的外侧流路36，单体为向外部开放的槽状，但这是因为如图1所示，在组入到吐出装置1的情况下，形成被针收纳体18的内周面所覆盖而关闭(未开放)的流路。以具体例为例对内侧流路35及外侧流路36的粗细进行说明。例如，在针收纳体18的大小为φ12[mm]×40[mm]时，优选外侧流路36在截面积为1～6[mm2]、长度为20～80[mm]的范围内形成。此外，优选内侧流路35的直径在针4的直径的1.5～2.5倍的范围内形成。另一方面，优选至少第一流路20设定为直径4～6[mm](截面积12.6～28.3[mm2])，且形成为截面积比外侧流路36大(粗)，更优选将截面积设定为2倍以上，特别优选为3倍以上。通过这样构成，当液体材料L流动于循环流路时，外侧流路36成为阻力，从而可抑制用于循环的泵53的脉动(即，不向喷嘴19的吐出口28传递脉动)。另外，更优选将第一流路20的直径与第二流路21的直径设定为相同。再者，上述数值根据液体材料L的物性或吐出装置1的大小等而可适宜调整，本发明不限于上述数值例。[液体材料的填充工序]参照图1及图2，对向设置于流路形成构件34的各流路(35、36)的液体材料L的填充工序进行说明。再者，设定为针4的前端抵接于阀座31而将连通孔30关闭的状态。如图1中以符号42所示，液体材料L自液体配管27通过第一连接接头25而向第一流路20供给，到达流路形成构件34。由于向第二流路21的连通通过流路形成构件34而被关闭，因此液体材料L向流路形成构件34的外侧流路上部开口40流入(图1的符号43)。向外侧流路上部开口40流入的液体材料L，在外侧流路36传递，一边绕着流路形成构件34的外周旋转一边自上部向下部流动前行，到达外侧流路下部开口41。自外侧流路下部开口41流出的液体材料L，到达阀座31，并向内侧流路35流入。由于阀座31的连通孔30通过针4的前端而关闭，因此，液体材料L不会自喷嘴19的吐出口28向外流出。自阀座31附近(即，内侧流路35的下端附近)向内侧流路35流入的液体材料L，通过内侧流路35与针4的间隙，自下向上流动。若液体材料L到达内侧流路35的上端部分，则自内侧流路上部开口38向流路形成构件34的外部流出(图1的符号44)，流入第二流路21。到达第二流路21的液体材料L，经由第二连接接头26而向液体配管27流入(图1的符号45)。向液体配管27流入的液体材料L，向下述的储罐51返回，经温度调节后，通过泵53再次向吐出装置供给(即，进行循环)。以上为利用流路形成构件34的液体材料L的填充工序的概要。[循环机构]本实施方式的吐出装置1连接于用以使液体材料L循环的循环机构50。图3中显示循环机构50的结构例。图3所示的循环机构50具备：贮存液体材料L的储罐51；对贮存于储罐51的液体材料L的温度进行调节的加热器52；自储罐51抽吸液体材料L且使其循环的泵53；控制泵53及加热器52的动作以及向吐出装置1的压缩气体的供给·排出的控制装置54；及调节器61。本实施方式的吐出装置1在构成循环流路的流路(35、36)的附近设置有吐出口28，由于自循环流路分支的流路(30)中的温度下降的影响小，因此与具备现有的循环流路的吐出装置相比，容易进行液体材料L的温度控制。储罐51为了在吐出装置1中进行涂布作业而具有充分的容量，且通过加热器52将储罐内的液体材料保持于所设定的温度。也可在储罐51设置用以搅拌储罐内的液体材料的搅拌机。储罐51分别连接有用以送出液体材料的液体配管55、及用以回收通过了吐出装置1的液体材料的液体配管55。在用以送出液体材料的液体配管55与吐出装置1之间配设有泵53。通过泵53所压送的液体材料L，如符号58所示，按照储罐51→泵53→调节器61→吐出装置1→储罐51的顺序流动并循环。通过调节器61对液体材料L的压力(吐出压力)进行调节，可调节吐出量。本实施方式例中，若通过泵53使液体材料L循环，则会产生脉动，但由于通过流路形成构件34静态地降低脉动，因此在循环机构50的循环路上不设置蓄能器(但是，在进行超高精度涂布的情况等下，有时也会设置蓄能器)。加热器52及泵53经由控制配线57而与控制装置54连接，通过控制装置54对动作进行控制。控制装置54进一步由气体配管56而与吐出装置1连接，且通过控制压缩气体的供给·排出来控制吐出动作。也可将电动气动调节器采用于调节器61，将控制装置54与调节器61连接，对液体材料L的压力(吐出压力)进行自动调节。例如，在将吐出装置1用于对电路基板涂布绝缘防湿剂的用途的情况下，设定温度为35～40℃，液体材料的粘度为40～60[mPa·s]。连接于循环机构50的吐出装置1，安装于未图示的XYZ方向移动装置，一边相对于载置有涂布对象物的工件台进行相对移动一边进行涂布作业。XYZ方向移动装置例如可具备电动马达与滚珠丝杠的组合、使用线性马达的机构、由皮带或链条等传递动力的机构而构成。根据以上说明的循环机构50，由于在吐出装置1内的循环流路(20→36→35→21)的附近设置有吐出口28，因此，连通循环流路与吐出口的流路上的温度下降为最小限度。此外，由于将在内侧流路35的周围使外侧流路36回旋的流路构造设置至长条的针收纳体18的下端部，因此可以高能量效率实现液体材料L的温度变化防止。此外，可通过截面积比第一流路20及第二流路21小的外侧流路36来静态地降低泵脉动。另外，在维护保养时可自插入孔22容易地取出流路形成构件34，另外，由于外侧流路36是向外部开口的凹槽，因而污迹的清洗也容易。因此，还适合于包含填料的液体材料或粘着剂那样的历时性固化的液体材料的吐出。以上的说明，以液体材料L自第一连接接头25供给且自第二连接接头26排出的情况为前提，但在自第二连接接头26供给液体材料L且自第一连接接头25排出的情况下，也可获得液体材料L不易变冷且可降低泵脉动等的本发明的效果。《第2～5实施方式》第2～5实施方式在流路形成构件34的外侧流路36的形状上与第1实施方式不同，其它方面与第1实施方式相同。以下所公开的是，形成于流路形成构件34的外侧流路36均是以相同的截面积形状连续的一条槽，且根据液体材料L的物性或涂布条件等选择最佳的方式。图4中显示第2～5实施方式所涉及的流路形成构件34。再者，由于第2～5实施方式所涉及的流路形成构件34均为圆筒状，内侧流路35的形状均与第1实施方式相同，因而省略说明。图4(a)中显示第2实施方式所涉及的流路形成构件34。第2实施方式在通过螺旋状的槽形成外侧流路36的方面与第1实施方式相同，但在比第1实施方式更缩小相邻的外侧流路36彼此的间隔，并增加回旋的周数的方面不同。第2实施方式适合于例如粘度较低的液体材料L或温度较容易变化的液体材料L等需要增加外侧流路36的流路长度的情况。图4(b)中显示第3实施方式所涉及的流路形成构件34。第3实施方式在通过螺旋状的槽形成外侧流路36的方面与第1实施方式相同，但在比第1实施方式更扩大相邻的外侧流路36彼此的间隔，并减少回旋的周数的方面不同。第3实施方式适合于例如粘度较高的液体材料L或温度较不容易变化的液体材料L等需要缩短外侧流路36的流路长度的情况。图4(c)中显示第4实施方式所涉及的流路形成构件34，上图为C-C截面图。第4实施方式将以下构成作为一个基本图案：在流路形成构件34的圆周方向且水平方向即第一方向形成圆周的60～90％左右的长度的槽，接着形成延伸于铅垂方向的槽，然后在与第一方向相差180度的相反的第二方向形成圆周的60～90％左右的长度的槽。通过反复进行多次该基本图案，从而由自流路形成构件34的上端部附近连续至下端部附近的槽来形成外侧流路36。在比较轴向单位长度(一个基本图案)的外侧流路36的长度的情况下，可较第2实施方式增加流路长度。在螺旋状流路中，适合于外侧流路36的流路长度不足的情况。图4(d)中显示第5实施方式所涉及的流路形成构件34，上图为D-D截面图。使自流路形成构件34的上端部到下端部沿轴向延伸的一个或多个槽与沿圆周方向且水平方向延伸的槽连续，形成外侧流路36。第5实施方式与第2～4实施方式相比，可将外侧流路36的长度缩短为最短。适合于一边使外侧流路36在内侧流路35的长度方向上并行一边欲缩短外侧流路36的全长的情况。第5实施方式中，设置3条长的外侧流路36(参照D-D截面图)，但如果使各流路间的周向的间隔缩窄，则也可使4～10条长的外侧流路并行。再者，也可通过增大或减小外侧流路36的截面积，将外侧流路36的并行条数设定为最适当的数量，以使流路全长成为所期望的长度。《第6～9实施方式》第6～9实施方式在流路形成构件34的外侧流路36的形状上与第1～5实施方式不同，其它方面与第1～5实施方式相同。第1～5实施方式中，相邻的外侧流路36的轴向的间隔均为等间隔，但第6～9实施方式在相邻的外侧流路36的轴向的间隔不为等间隔的方面与第1～5实施方式不同。再者，由于第6～9实施方式所涉及的流路形成构件34均为圆筒状，内侧流路35的形状均与第1～5实施方式相同，因而省略说明。图5(a)中显示第6实施方式所涉及的流路形成构件34。第6实施方式中，在上部将相邻的外侧流路36的轴向的间隔扩大，在下部将间隔缩小。图5(b)中显示第7实施方式所涉及的流路形成构件34。第7实施方式中，在上部将相邻的外侧流路36的轴向的间隔缩小，在下部将间隔扩大。图5(c)中显示第8实施方式所涉及的流路形成构件34。第8实施方式中，在上部及下部将相邻的外侧流路36的轴向的间隔扩大，在中间部将间隔缩小。图5(d)中显示第9实施方式所涉及的流路形成构件34。第9实施方式中，在上部及下部将相邻的外侧流路36的轴向的间隔缩小，在中间部将间隔扩大。通过这样构成，可以在间隔窄的部位上温度较高且间隔宽的部位上温度较低的状态下，对内侧流路35内的液体材料L设置温度差。再者，在第6～9实施方式中，对螺旋状流路的例子进行了说明，但即使在第4实施方式(图4(c))或第5实施方式(图4(d))的非螺旋状流路中，当然也可将相邻的外侧流路36的轴向的间隔设定为不等间隔。另外，也可通过增大或缩小外侧流路36的截面积，将相邻的外侧流路36的轴向的间隔设计为最适当的间隔。《第10～11实施方式》图6(a)显示第10实施方式所涉及的吐出装置1的接液部的侧方截面图。在第10实施方式的流路形成构件34形成有如第5实施方式(图4(d))那样沿轴向延伸的外侧流路36。在靠近该外侧流路36的上部开口40的部位，固定设置有提高流动阻力的多孔质材59。由于多孔质材59具有多个孔，因此不会完全地阻断液体材料L的流动。该多孔质材59不仅包含具有随机地形成的孔的构件，还包含规则地形成有孔的构件。配置于外侧流路36的中途的多孔质材59的数量不限于一个，也可通过设置多个来调节流动阻力。即使在无法确保外侧流路36的流路长度的情况下，第10实施方式也可实现较高的泵脉动的抑制。此外，根据第10实施方式，可增大外侧流路36的截面积，因此可提高外侧流路36的维护性。图6(b)显示第11实施方式所涉及的吐出装置1的接液部的侧方截面图。在第11实施方式的流路形成构件34形成有与第10实施方式同样的外侧流路36，在靠近该外侧流路36的上部开口40的部位，固定设置有提高流动阻力的水车构件60。通过调节水车构件60的旋转负载，可调整流动阻力。配置于外侧流路36的中途的水车构件60的数量不限于一个，也可通过设置多个来调节流动阻力。第11实施方式与第10实施方式同样，也可以较短的流路长度来实现较高的泵脉动的抑制，并可增大外侧流路36的截面积，提高维护性。符号的说明1…液体材料吐出装置、2…驱动部、3…接液部、4…针、5…活塞、6…活塞收纳体、7…弹簧、8…上侧配管接头、9…下侧配管接头、10…气体配管、11…上侧活塞室、12…下侧活塞室、13…针贯通孔B、14…密封构件B、15…密封构件C、16…冲程调整构件、17…接液构件、18…针收纳体、19…喷嘴、20…第一流路、21…第二流路、22…插入孔、23…针贯通孔A、24…密封构件A、25…第一连接接头、26…第二连接接头、27…液体配管、28…吐出口、29…固定构件、30…连通孔、31…阀座、32…水平循环流路、33…液室、34…流路形成构件、35…内侧流路、36…外侧流路、37…针贯通孔C、38…内侧流路上部开口、39…流出孔、40…外侧流路上部开口、41…外侧流路下部开口(内侧流路下部开口)、42、43、44、45…液体材料的流动、50…循环机构、51…储罐、52…加热器、53…泵、54…控制装置、55…液体配管、56…气体配管、57…控制配线、58…循环流动、59…多孔质材、60…水车构件、61…调节器、L…液体材料。