包括多个单换能器的声换能器和用于其制造的方法与流程

本发明涉及一种包括多个单换能器的声换能器，其中，单换能器包括载体和具有第一电极和第二电极的压电元件。此外，本发明涉及一种用于制造这样的声换能器的方法。

背景技术：

声换能器例如使用在基于超声的传感器中，通过所述传感器能够测量在超声传感器和反射对象之间的间距。在此，声换能器作为发送器和/或接收器使用，其中，在第一步骤中通过声换能器反射超声信号。如果超声信号击中到反射对象上，则产生超声回波，该超声回波又可以通过声换能器探测到。由在发送超声信号和探测超声回波之间所经过的时间以及已知的声速度可以计算出到反射对象的距离。因为声传播通常不强烈定向地进行，不能通过单个的声换能器确定回波射入的方向。

如果将多个单个的声换能器组合为单换能器的阵列，所述单换能器彼此之间的间距典型地小于声波长的一半，则一方面可以通过充分利用干涉实现定向的声反射，并且另一方面也可以实施对所接收的信号的详细分析。这也被称作“波束成形”。如果在这样的分析中分析利用整体由阵列的单换能器所求取的声场，则例如也能够确定以下方向：由所述方向接收信号。

然而，包括具有多个单换能器的阵列的声换能器的生产非常复杂，因为必须能分开地操控每个单换能器并且单换能器彼此的振动机械式脱耦是必需的。

由de102012201715a1已知一种用于检验工件的检验头，该检验头装有多个超声换能器。超声换能器通过导电粘接剂固定在柔性的导体薄膜组件上。超声换能器包括压电堆并且在两侧上电触点接通，其中，一侧与柔性的导体薄膜组件连接并且另一侧与接地薄膜连接。在各个超声换能器之间可以装入永久弹性的材料来减振。

现有技术不利的是，单个的声换能器的大部分不被减振材料覆盖。

技术实现要素：

本发明提出一种包括多个单换能器的声换能器，其中，单换能器包括载体和具有第一电极和第二电极的压电元件。在此设置，单换能器以阵列形式粘接在柔性薄膜上并且单换能器的未与柔性薄膜连接的表面被具有振动阻尼特性的浇铸材料包封。

在此，柔性薄膜对于所有单换能器而言是共同的保持件，所有单换能器接收在该保持件上。在此，单换能器这样与柔性薄膜粘接，使得由单换能器产生的声通过柔性薄膜向周围环境发出，并且反之，来自周围环境的声通过柔性薄膜传递到单换能器上。附加地，柔性薄膜是粘接在其上的单换能器相对于周围环境的密封件，从而湿气和另外的周围环境影响不能到达单换能器。

柔性薄膜优选是塑料薄膜，例如由聚酰亚胺(pi)、聚对苯二甲酸乙二酯(pet)或者聚萘二甲酸乙二酯(pen)制成的塑料薄膜。替代地，薄膜涉及复合材料、例如包括碳纤维网或者玻璃纤维网和树脂的复合材料。

优选地，柔性薄膜具有在30至750μm范围内的厚度。该薄膜厚度的选择意味着在针对外部影响的保护作用和薄膜的为了好的声反射和好的声接收的充分的可运动性或者说柔韧性之间的良好适配。

此外，柔性薄膜的背离单换能器的一侧可以被涂覆或者设有涂层。由此，使用根据本发明的声换能器的测量装置可以例如好地集成到车辆设计中。

在柔性薄膜的朝向单换能器的一侧上布置有浇铸材料，该浇铸材料填满在单换能器之间的中间空间并且覆盖单换能器的所有未与柔性薄膜连接的表面。因此，单换能器完全被浇铸材料和柔性薄膜包封。

所使用的浇铸材料具有振动阻尼的特性。为此，浇铸材料优选永久弹性地实施并且优选具有泡沫式结构。例如sonderhoff公司所销售的名叫fermasil的双组分硅泡沫适合作为浇铸材料。具有所包含的玻璃空心球和塑料空心球的硅基聚合物也是可能的。替代地，具有或者没有气体夹杂的非硅基聚合物也适合作为浇铸材料。

单换能器以阵列的形式布置、尤其粘接在柔性薄膜上。在此，阵列典型地包括在2至250范围内的数量的单换能器，其中，优选在5至50范围内的数量。

在阵列中，单换能器可以对称地或者不对称地布置，例如以网栅或者环形式布置，其中，各种本领域人员已知的其他几何形状布置也是可能的。相邻布置的单换能器的间距典型地小于声波长的一半并且各个间距可以大小相同或者不同地选择。

每个单换能器包括压电元件，在以电信号激发时，该压电元件可以处于振动中或者说当该压电元件由外部、例如通过所接收的声波而被激发至振动时，该振动可以转换为电信号。压电元件分别与第一电极和第二电极电触点接通，并且设置，可以分开地使阵列或者说声换能器的每个单换能器电激发或可以分开地对其所接收的信号进行分析利用。为此，每个单换能器必须能独立于另外的单换能器地操控。

压电元件例如可以是由压电陶瓷制成的元件、例如是由ceramtec公司的名叫sonoxp5获得的压电陶瓷材料。根据实施变型方案，单换能器的载体优选由金属、例如铝、铝合金或者钢组成，由陶瓷、例如氧化铝、碳化硅或者氮化硅或者塑料、例如玻璃纤维复合材料或者碳纤维复合材料组成。载体优选具有u式形状，其中，压电元件在u的侧边上与载体连接，例如通过粘接连接。在另一实施变型方案中，载体由压电陶瓷材料组成，该压电陶瓷材料在一个区域中被极化，使得极化区域具有压电特性并且形成压电元件。

在声换能器的实施方式中，柔性薄膜在朝向单换能器的一侧上具有例如由铜、铝或者镍组成的、具有1μm至125μm厚度的第一金属化层，并且每个单换能器的第一电极通过柔性薄膜的第一金属化层电触点接通。在此设置，为了将单换能器粘接到柔性薄膜上，使用导电粘接剂。例如heraeus公司的各向同性的导电粘接剂pc3000或者delo公司的各向异性的导电粘接剂delomonopoxac265适合作为导电粘接剂。根据实施变型方案，导电粘接剂可以仅施加在以下点上：在所述点上确实应建立在单换能器的第一电极和第一金属化层之间的电接触。替代地，也可以整面地施加导电粘接剂。

在该实施方式中，每个单换能器的第二电极借助于金属线电触点接通，该金属线穿过浇铸材料并且经过单换能器的载体旁边并且优选通过键合、热压缩焊接、钎焊或者导电粘接连接在第二电极上。

在另一变型方案中，每个单换能器的载体导电地实施，其中，载体电触点接通压电元件的第二电极。在此设置，柔性薄膜在朝向单换能器的一侧上具有第一金属化层并且每个单换能器的第一电极通过柔性薄膜的第一金属化层电触点接通。与第二电极的电连接通过穿过浇铸材料地的金属线制造，其中，优选通过键合、热压缩焊接、钎焊或者导电粘接连接的金属线触点接通单换能器的载体，该载体又与第二电极导电地连接。在该实施方式中，可以通过粘接建立在载体和压电元件或者说压电元件的第二电极之间的连接，其中，使用导电粘接剂。

在声换能器的另一实施方式中，柔性薄膜也在朝向单换能器的一侧上具有第一金属化层。每个单换能器的载体导电地实施并且在其朝向柔性薄膜的一侧上具有膜片，其中，压电元件布置在膜片的背离柔性薄膜的一侧上。膜片优选由与载体相同的材料生产并且同样能导电，使得压电元件的第一电极首先触点接通载体的膜片并且通过膜片与柔性薄膜的第一金属化层电连接。为了建立与压电元件的第二电极的电连接，优选使用金属线，该金属线穿过压铸材料并且触点接通第二电极。

在声换能器的另一实施方式中，柔性薄膜具有第一金属化层，该第一金属化层以印制导线的形式结构化。第一金属化层具有第一和第二印制导线，其中，每个单换能器的第一电极分别与第一印制导线电触点接通，并且每个单换能器的第二电极分别与第二印制导线电触点接通。在该实施方式中有利地不需要金属线。第一和/或第二印制导线可以包括接触面，所述接触面设立用于压电元件的电极的电触点接通。

为了建立在第一和第二印制导线和单换能器的第一和第二电极之间的电连接，使用导电粘接剂。在此，在本发明的变型方案中，导电粘接剂仅施加在柔性薄膜上的以下部位上：在所述部位上也应建立在柔性薄膜的第一金属化层和压电元件的电极中的一个电极之间的电连接。

在本发明的另一变型方案中，使用具有各向异性的导电性的导电粘接剂。在这种情况下，导电粘接剂可以全面地施加在柔性薄膜的第一金属化层上，而不出现在第一和第二印制导线之间或在单换能器的第一和第二电极之间的短路。这由此实现：由于在导电性上的各向异性，所使用的粘接剂仅在垂直于层平面的方向上具有主要的导电性。在位于层平面内的方向上，导电性消失或者可忽略。

在声换能器的另一实施方式中，在各个换能器的载体上引出不仅用于第一电极而且用于第二电极的侧面触点，该侧面触点分别与穿过浇铸材料的金属线电触点接通。在这里，侧面意味着，侧面触点布置在载体的基本上垂直于柔性薄膜定向的面上。在该实施方式中，柔性薄膜优选不具有第一金属化层，并且不需要具有导电性的粘接剂来使单换能器与柔性薄膜连接。

在不同的实施变型方案中所使用的单换能器包括载体和压电元件。所述载体和压电元件在一变型方案中可以实施为两个构件，这两个构件例如通过粘接相互连接。如果载体由导电材料实施，则在此可以通过使用具有导电性的粘接剂实现在载体和压电元件的电极中的一个电极之间的导电连接。

对此替代地，载体可以由压电陶瓷材料制成，并且压电元件可以构造为载体的极化区域。在此，载体仅在极化区域中具有压电特性。在该实施方式中，压电元件的第一和第二电极相应地布置在载体的极化区域的边界上。

优选设置，柔性薄膜在背离单换能器的一侧上具有第二金属化层。该第二金属化层可以接地，使得实现用于改善电磁兼容性(emv)的屏蔽。例如由铜、铝或者镍组成的、1μm至125μm的厚度的金属层适合用于第二金属化层。必要时可以给金属层镀金来防止氧化。

本发明的另一个方面是，提供一种用于制造这样的声换能器的方法。所提出的方法包括以下步骤：

a)提供柔性薄膜和单声换能器，

b)使单声换能器与柔性薄膜粘接，其中，单声换能器以阵列的形式布置在柔性薄膜上，和

c)用具有振动阻尼特性的浇铸材料包封单声换能器，使得单换能器的未与柔性薄膜连接的表面被浇铸材料包封。

在方法的第一步骤a)中，提供柔性薄膜和单声换能器。柔性薄膜是塑料薄膜，其具有30μm至750μm的范围内的厚度。塑料薄膜的材料例如从聚酰亚胺(pi)、聚对苯二甲酸乙二酯(pet)或者聚萘二甲酸乙二酯(pen)中选择。

单换能器分别包括压电元件和载体，其中，压电元件具有第一电极和第二电极。在一实施变型方案中，载体和压电元件由两个构件组成，所述两个构件相互粘接。在此，当载体导电地构型时，使用导电粘接剂。

在另一变型方案中，载体和压电元件由一个构件制成，其中，载体由压电陶瓷材料组成，该压电陶瓷材料在一个区域内极化。该极化区域形成压电元件。

在该方法的最后步骤c)中，单换能器由具有振动阻尼特性的浇铸材料包封。在此，浇铸材料填满在单换能器之间的中间空间并且包封单换能器的所有未与柔性薄膜粘接的表面。

在所述方法的实施方式中，在根据步骤b)粘接时使用导电粘接剂。在此，导电粘接剂面式地施加在柔性薄膜上并且接着布置单换能器。在此还设置，在实施变型方案中，柔性薄膜具有第一金属化层并且这样结构化，使得构造第一和第二印制导线，使用各向异性的导电粘接剂作为导电粘接剂。各向异性的导电粘接剂仅在垂直于层或者说垂直于柔性薄膜的方向上具有导电性。在位于柔性薄膜的平面内的空间方向上，导电性消失或者非常小。以此方式，在第一和第二电极通过柔性薄膜的第一金属化层触点接通的实施方式中，避免在第一和第二电极之间的电短路。同时不需要将导电粘接剂仅施加在以下点上：在所述点上确实必须建立在第一金属化层和压电元件的电极中的一个电极之间的电连接。

在声换能器的实施方式中，压电元件的电极中没有一个电极或者压电元件的两个电极中的仅一个电极通过柔性薄膜的第一金属化层电触点接通，在所述实施方式中设置，在根据步骤b)粘接之后和在根据步骤c)包封之前，每个单换能器的第一电极和/或第二电极通过金属线的连接电触点接通。

在连接时，导电的金属线与相应的电极通过键合、热压缩焊接、钎焊或者导电粘接连接，从而产生电连接。在根据步骤c)包封单换能器之后，将金属线埋入浇铸材料中，其中，所述金属线穿过浇铸材料地导向相应的电极。

在所提出的声换能器中，单换能器实际上彼此完全振动脱耦。单换能器仅通过粘接保持在柔性薄膜上，振动通过该柔性薄膜在两个单换能器之间仅较差地传递。单换能器的所有未与柔性薄膜连接的其他表面由具有振动阻尼特性的浇铸材料包封。虽然所使用的柔性薄膜可以将振动从单换能器向周围环境、例如向空气传递，并且同样可以将振动从周围环境向单换能器传递，但是几乎不发生振动在薄膜的平面内、例如在相邻的单换能器上的传播。

此外，柔性薄膜提供用于在声换能器中的单换能器的共同的保持件，该保持件有利地几乎不在单换能器之间传递声波或者说振动。

此外，所提出的柔性薄膜适合于，针对恶劣的周围环境条件如高的空气湿度、水或者紫外线射束或者机械影响如碎石击打来保护布置在薄膜的背侧上的声换能器。当声换能器集成在传感器中时，在柔性薄膜的区域中不再需要附加的壳体部件。

如果声换能器例如使用在传感器中，则可以容易地给柔性薄膜涂漆，从而使装有根据本发明的声换能器的传感器例如在汽车应用中能够容易地集成到车辆设计中。

此外，根据本发明的声换能器可以简单地生产，因为其仅由少量部件组成并且能够容易地实现单换能器的电触点接通。所提出的构造特别适用于按顺序并且简单地实现构造步骤。

附图说明

在附图中示出并且在下面的说明中详细阐述本发明的实施例。

图1至6示出声换能器的六种不同的实施方式。

具体实施方式

在本发明的实施例的下述说明中，元件的相同或者类似的部件标有相同的附图标记，其中，在个别情况下省去对这些部件或者元件的重复说明。附图仅仅示意性地示出本发明的对象。

图1示出声换能器的第一实施方式。

在图1中示出声换能器1，该声换能器示例性地包括三个单换能器10。在另外的实施变型方案中，声换能器可以包括从两个至两百五十个单换能器10。

每个单换能器10包括载体12以及压电元件14。在图1的实施方式中，压电元件14和载体12实施为分开的构件并且通过粘接部22相互连接。压电元件14包括背离载体12的第一电极16以及朝向载体12的第二电极18。单换能器10实施为弯曲振动器，即在将电信号施加到电极16和18上时，压电元件14实施具有向电极16、18的方向延展的振动波腹的振动。载体12优选u形地构型，其中，压电元件14通过粘接部22与u形载体12的侧边连接。

此外，声换能器1包括柔性薄膜30，所述柔性薄膜例如实施为具有30μm至750μm的厚度的塑料薄膜，该塑料薄膜由聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二酯(pet)或者聚萘二甲酸乙二酯(pen)制成。在此，示出柔性薄膜30的朝着单换能器10方向的一侧。在该朝向单换能器10的一侧上，柔性薄膜30包括第一金属化层32。单换能器10通过导电的粘接部20与柔性薄膜30粘接，其中，单换能器10以阵列的形式布置在柔性薄膜30上。在此，示出具有其朝着柔性薄膜30方向的压电元件14的单换能器10，其中，借助于导电的粘接部20在第一金属化层32和压电元件14的第一电极16之间建立导电连接。

为了触点接通每个单换能器10的第二电极18，分别使用金属线50。

此外，声换能器1包括浇铸材料60，该浇铸材料具有振动阻尼的特性。浇铸材料60布置在柔性薄膜30的朝向单换能器10的一侧上并且填满单换能器10之间的中间空间。此外，浇铸材料60这样布置，使得所述浇铸材料覆盖单换能器10的所有不通过导电的粘接部20与柔性薄膜连接的表面。

单换能器10可以分别通过配属于其的金属线50和第一金属化层32单个地以电信号激发。由此，声换能器1可以充分利用在单换能器10之间的干扰效应，以便例如产生定向的超声信号。在此，分别以电信号操控单换能器10，接着，作为弯曲振动器起作用的压电元件14开始振动。振动传递到柔性薄膜30上，该柔性薄膜又将所述振动传递到周围的介质空气上，从而产生声、尤其是超声。

相反地，声波导致柔性薄膜30的振动，该振动传递到与柔性薄膜30粘接的压电元件14上。压电元件14将振动转换为电信号，对于每个单换能器10，所述电信号可以分开地借助于触点接通的相应金属线50通过第一金属化层32读取。

此外可能的是，如在图1中所示出的那样，使第一金属化层32结构化，从而构造接触面34。在此可能的是，仅仅在接触面34的区域中实施导电的粘接部20，使得在两个不同的压电元件14的两个第一电极16之间不发生直接的电连接。

为了形成用于改善电磁兼容性(emv)的屏蔽，柔性薄膜30在背离单换能器10的一侧上具有第二金属化层36。该第二金属化层36接地来产生屏蔽。

图2示出声换能器的第二实施方式。

在图2中所示出的声换能器1又包括单换能器10的阵列，所述单换能器与柔性薄膜30连接。而在图2中示例性地示出三个单换能器10。

在图2中所示出的实施方式的单换能器10包括u形的载体12，所述载体在这里由导电材料、优选由铝合金或者其他金属制成。载体12和压电元件14构型为两个分开的构件，其中，压电元件14具有第一电极16和第二电极18。通过导电的粘接部20使第二电极18与u形的载体12的侧边粘接，其中，在载体12和第二电极18之间建立导电连接。

此外，为了单换能器10的第二电极18的电触点接通，载体12通过金属线50触点接通。

单换能器10的第一电极16正如在第一实施方式中那样触点接通，即柔性薄膜30具有第一金属化层32，该第一金属化层通过导电的粘接部20与每个单换能器10中的第一电极16连接。

同样如图1所说明的那样，单换能器10的未与柔性薄膜30粘接的表面完全被浇铸材料60包封。

图3示出声换能器的第三实施方式。

如之前所说明的实施方式那样，在图3中示出的声换能器1包括三个单换能器10，所述单换能器通过粘接与柔性薄膜30连接。第三实施方式的单换能器10包括u形的载体12和压电元件14，该压电元件通过粘接部22固定在u形的载体12的侧边上。在此示出压电元件14的朝着载体12的方向的第二电极18和压电元件14的朝着柔性薄膜30的方向的第一电极16。在此，第一电极16不完全覆盖压电元件14的朝向柔性薄膜30的一侧，而是在u形载体12的侧边中的一个侧边的区域中空出一个区域。

在该实施方式中，第二电极18围绕压电元件的边缘被导向，使得该第二电极达到压电元件14的朝向柔性薄膜30的一侧上空出的区域为止。因此，第二电极18完全地覆盖压电元件14的朝向载体12的一侧以及朝向柔性薄膜30的一侧的小部分。

如在之前所说明的两个实施方式中那样，柔性薄膜30具有第一金属化层32，其中，该第一金属化层在第三实施方式中以印制导线38、40的形式结构化。在此，第一金属化层32具有第一印制导线38和第二印制导线40。通过导电的粘接部20，第一印制导线38与压电元件14的第一电极16连接，并且第二印制导线40与第二电极18连接。在此，根据实施变型方案可能的是，如参照图1中的第一实施方式的草图，导电的粘接部20仅设置在以下区域中：在所述区域上应该在第一金属化层32和压电元件14的电极16、18中的一个电极之间建立电连接。替代地可以考虑，在柔性薄膜30的整个朝向单换能器10的一侧上平面地实施各向异性的导电的粘接部21，其中，使用具有各向异性的导电性的导电粘接剂。这样的各向异性的导电粘接剂仅在垂直于柔性薄膜的平面的方向上具有导电性，使得在第一印制导线38和第二印制导线40之间或者说在第一电极16和第二电极18之间不出现短路。

在单换能器10与柔性薄膜30粘接之后，它们被浇铸材料60包封，使得单换能器10的所有未与柔性薄膜30粘接的表面都被浇铸材料60覆盖。

在图4中示出声换能器的第四实施方式。

在图4中又示出具有三个单换能器10的阵列的声换能器1。第四实施方式的单换能器10包括u形构型的载体12，其中，在载体12的两个侧边之间布置膜片24。在图4的实施方式中，膜片24和载体12一件式地构造。此外，载体12由导电材料制成。

如结合第一实施方式所说明的那样，柔性薄膜30具有第一金属化层32，其中，在第一金属化层32中构造接触面34。单换能器10以其膜片24通过导电的粘接部20与接触面34粘接。

同样如之前所说明的那样，根据第四实施方式的压电元件14具有第一电极16和第二电极18，其中，压电元件14布置在膜片24的背离柔性薄膜30的一侧上。为此，压电元件14的第一电极16通过导电的粘接部20与膜片24连接。因此，存在着第一金属化层32通过接触面34和导电的粘接部20与膜片24的电连接和与第一电极16的电连接，因为膜片24和载体12导电。

如参照第一实施方式已经说明的这样，第二电极18在第四实施方式中通过金属线50触点接通。同样如之前所说明的那样，单换能器10这样以浇铸材料60包封，使得浇铸材料60覆盖单换能器10的所有未与柔性薄膜30粘接的表面。

图5示出声换能器的第五实施方式。

在图5中示出根据第五实施方式的声换能器1。如之前所说明的那样，声换能器1包括单换能器10的阵列，所述单换能器通过粘接与柔性薄膜30连接。在此，如参照第一实施方式所说明的那样，柔性薄膜30具有第一金属化层32，在该第一金属化层中构造接触面34。

在第五实施方式中，单换能器10包括载体12，该载体由压电陶瓷材料制成并且呈矩形框的形式构型。在此，在朝向柔性薄膜30的棱边的区域中布置有极化区域15，该极化区域为压电元件14。由压电陶瓷材料制成的载体12仅在该极化区域15中具有压电特性。压电元件14的第一电极16和第二电极18相应地布置在极化区域15的两个相反的侧上，其中，第一电极16朝向柔性薄膜30并且第二电极18位于极化区域15的背离柔性薄膜30的一侧上。

压电元件14的电触点接通如参照第一实施方式所说明的那样实现。在此，第一电极16通过导电的粘接部20与接触面34连接，而每个单换能器10的第二电极18与金属线50触点接通。

如在之前四个实施方式中所说明的那样，单换能器10以浇铸材料60包封。

在图6中示出声换能器的第六实施方式。

在图6中示出声换能器的第六实施方式，该声换能器又包括单换能器10的阵列，所述单换能器与柔性薄膜30粘接。

第六实施方式的柔性薄膜30不包括第一金属化层32，而只包括第二金属化层36，该第二金属化层参照第一实施方式所说明的那样作为屏蔽部使用。

如参照第五实施方式所说明的那样，单换能器10包括由压电陶瓷材料制成的载体12，该载体呈矩形框形式地构型。此外，如参照第五实施方式所说明的那样，极化区域15布置在载体12的朝向柔性薄膜30的棱边上，该极化区域作为压电元件14使用。为了电触点接通，第一电极16和第二电极18又配属于压电元件14，其中，第一电极16在朝向柔性薄膜30的一侧上电触点接通压电元件14，并且第二电极18在背离柔性薄膜30的一侧上电触点接通压电元件14。为了建立与第一电极16和第二电极18的电连接，在载体12上布置有侧面触点54、56。侧面触点54、56位于基本上实施为矩形框的载体的侧壁上，所述触点连接到朝向柔性薄膜30的棱边上并且垂直于柔性薄膜30地定向。在此，侧面触点54与第一电极16连接，并且另一侧面触点56与第二电极18电连接。通过金属线50相应触点接通配属于第二电极18的所述另一侧面触点56，并且通过另外的金属线52触点接通配属于第一电极16的侧面触点54。

因为单换能器10的第一电极16和第二电极18通过金属线50、52触点接通，在第六实施方式中不需要柔性薄膜30的朝向单换能器10的一侧的金属化层。此外，可以为了单换能器10与柔性薄膜30的连接而使用粘接剂，该粘接剂不导电。通过相应的一种粘接部22使单换能器10这样与柔性薄膜30粘接，使得其压电元件14指向柔性薄膜30的方向。

根据实施变型方案，使单换能器10与柔性薄膜30连接的粘接部22面状地实现，其中，粘接剂被施加到柔性薄膜20的整个表面上。替代地，粘接剂仅能够施加到以下区域中：在所述区域上单换能器10与柔性薄膜30连接。同样可以考虑的是，为了粘接部22将粘接剂施加到单换能器10上并且接着将该单换能器放置在柔性薄膜30上。

如之前的实施方式已经说明的这样，单换能器10的未与柔性薄膜30粘接的表面被浇铸材料60包封。

本发明不限于在这里所说明的实施例和在其中所强调的方面。更确切地说，在通过权利要求给出的范围内能够实现在本领域人员已知的范畴中的多种变型。