具有用于检查糊状物的功能的涂布机的制作方法

本公开涉及一种具有用于检查糊状物的功能的涂布机。更具体地，本公开涉及一种涂布机，其能够经由测量由具有2D照相机的涂布头单元排出的糊状物液滴的形状以判定糊状物是否有缺陷并且经由使用色差共焦传感器测量由涂布头单元排出的糊状物液滴的体积并基于它来推导从涂布头单元排出的糊状物的量而提高生产率并防止糊状物的浪费。

背景技术：

典型地，平板显示器是比采用阴极射线管的电视机或显示器薄和轻的用于显示图像的装置。作为平板显示器，已研发并使用液晶显示器、等离子体显示面板、场致发射显示器和有机发光二极管。

这种显示装置的制造工艺包括经涂布机排出诸如树脂或液晶的糊状物的过程。有时，在涂布机的排出操作期间，糊状物可能由于各种原因而具有缺陷形状或者低于或高于基准值排出。

在关联技术中，已进行出厂检验以解决这种问题。即，在糊状物排出到预定数量的基板上之后，形成平衡物(一种通过层叠一定数量的糊状物的液滴而形成的物质)，并且测量平衡物的量以检查排出的糊状物的量是否适当。

然而，这样，存在生产率可能由于该过程延迟了用于形成平衡物的时间而降低并且由于被检查的平衡物被丢弃而经济上不划算的问题。

此外，如果不连同糊状物的量的检查一起检查糊状物的形状，则可能存在由糊状物的缺陷形状引起的问题，例如在联接基板的过程中糊状物与基板的不良接合或溢流。结果，显示装置中可能形成缺陷。

技术实现要素：

本公开的一个目的在于提供一种涂布机，其能够经由使用第一传感器(即，2D照相机)测量糊状物液滴的形状并且基于其修改涂布头单元的排出条件(即，排出参数)来防止显示装置中的缺陷。

本公开的另一个目的在于提供一种涂布机，其能够经由使用第二传感器(即，色差共焦传感器)测量从涂布头单元排出的糊状物的液滴的体积并基于其估计排出的糊状物的量来提高生产率并防止糊状物的浪费，并且因此不需要形成用于检查的额外平衡物。

根据本公开的一方面，一种涂布机包括：框架；托台，所述托台设置在所述框架上方并且具有设置在其上表面上的母板；轨道，所述轨道设置在所述框架上方并且各自在y轴方向上在所述托台的两侧延伸；第一支承件，所述第一支承件安装成使其在所述y轴方向上沿所述轨道是可移动的；涂布头单元，所述涂布头单元安装在所述第一支承件的一侧上以使其在垂直于所述y轴方向的x轴方向上是可移动的，并且构造成将糊状物的液滴排出到所述母板上；第一传感器，所述第一传感器安装在所述第一支承件的另一侧上以使其在所述x轴方向上是可移动的，并且构造成测量排出到所述母板上的糊状物的液滴的形状；第二支承件，所述第二支承件安装成使其在所述y轴方向上沿所述轨道是可移动的，并且设置成与所述第一支承件相对；以及第二传感器，所述第二传感器安装在所述第二支承件上以使其在所述x轴方向上是可移动的，并且构造成测量排出到所述母板上的糊状物的每个液滴的上表面的高度。

根据本公开的另一方面，一种涂布机包括：框架；托台，所述托台设置在所述框架上方并且具有设置在其上表面上的母板；轨道，所述轨道设置在所述框架上方并且各自在y轴方向上在所述托台的两侧延伸；第一支承件，所述第一支承件安装成使其在所述y轴方向上沿所述轨道是可移动的；涂布头单元，所述涂布头单元安装在所述第一支承件上以使其在垂直于所述y轴方向的x轴方向上是可移动的，并且构造成将糊状物的液滴排出到所述母板上；第二支承件，所述第二支承件安装成使其在所述y轴方向上沿所述轨道是可移动的，并且设置成与所述第一支承件相对；第一传感器，所述第一传感器安装在所述第二支承件上以使其在所述x轴方向上是可移动的，并且构造成测量排出到所述母板上的糊状物的液滴的形状；以及第二传感器，所述第二传感器安装在所述第二支承件的另一侧上以使其在所述x轴方向上是可移动的，并且构造成测量排出到所述母板上的糊状物的每个液滴的上表面的高度。

根据本公开的又一方面，一种涂布机包括：框架；托台，所述托台设置在所述框架上方并且具有设置在其上表面上的母板；轨道，所述轨道设置在所述框架上方并且各自在y轴方向上在所述托台的两侧延伸；第一支承件，所述第一支承件安装成使其在所述y轴方向上沿所述轨道是可移动的；第一涂布头单元，所述第一涂布头单元安装在所述第一支承件的一侧上以使其在垂直于所述y轴方向的x轴方向上是可移动的，并且构造成将糊状物的液滴排出到所述母板上；第一传感器，所述第一传感器安装在所述第一支承件的另一侧以使其在所述x轴方向上是可移动的；第二支承件，所述第二支承件安装成使其在所述y轴方向上沿所述轨道是可移动的，并且设置成与所述第一支承件相对；和第二涂布头单元，所述第二涂布头单元安装在所述第二支承件的一侧上以使其在所述x轴方向上是可移动的，并且构造成将所述糊状物的液滴排出到所述母板上；以及第二传感器，所述第二传感器安装在所述第二支承件的另一侧以使其在所述x轴方向上是可移动的，其中所述第一传感器测量排出到所述母板上的糊状物的每个液滴的形状，并且其中所述第二传感器测量排出到所述母板上的糊状物的每个液滴的高度。

根据本公开的一个示例性实施例，一种涂布机能使用2D照相机来测量糊状物液滴的形状并且能基于其而修改所述涂布头单元的排出条件(即，排出参数)。因此，可以防止由于糊状物的缺陷形状而可能发生的问题(例如，诸如在基板之间的接合过程中糊状物在基板上的不良接合或溢流的问题)。这样一来，可以防止有缺陷的显示装置。

根据本公开的一个示例性实施例，所述涂布机能通过色差共焦传感器来测量由涂布头单元排出的糊状物液滴的体积，并且能基于其来估计排出的糊状物的量。相应地，无论何时检查排出的糊状物的量，都不必形成平衡物。因此，能够通过避免操作由于平衡物的形成而延迟来提高生产率，并且能通过防止糊状物由于其在平衡物的形成之后被丢弃而浪费来提高经济效率。

附图说明

图1是根据本公开的一个示例性实施例的涂布机的透视图；

图2是图1所示的涂布机的平面图；

图3是用于说明图1的涂布机的控制流程的框图；

图4是示出了图1的第一传感器测量糊状物的液滴的形状的方式的视图；

图5是说明用于基于通过图1中的第一传感器测得的形状数据来确定液滴的形状是否有缺陷的方法的视图；

图6至图9是说明用于通过图1的第二传感器来测量糊状物的液滴的上表面的高度的方法的示意图；

图10是示出了通过基于通过图1的第二传感器测得的液滴的上表面的高度数据来计算液滴的体积而以3D实现的糊状物的液滴的模型的曲线图；

图11是示出了通过图1的第二传感器反复测得的糊状物的液滴的上表面的轮廓的曲线图；以及

图12是根据本公开的另一示例性实施例的涂布机的平面图；

图13是根据本公开的又一个示例性实施例的涂布机的平面图；以及

图14是用于说明图13的涂布机的控制流程的框图。

具体实施方式

文中为了容易理解定义了某些用语。除非文中特别定义，否则文中使用的科学和技术用语应当具有本领域的技术人员通常理解的含义。如文中所使用，单数形式旨在涵盖复数形式并且反之亦然，除非上下文明显另有所指。

在下文中，将参考图1至图11说明根据本公开的一个示例性实施例的涂布机。

图1是根据本公开的一个示例性实施例的涂布机的透视图。图2是图1所示的涂布机的平面图。图3是用于说明图1的涂布机的控制流程的框图。图4是示出了测量糊状物液滴的形状时的图1的第一传感器的视图。图5是说明用于基于通过图1中的第一传感器测得的形状数据来确定液滴的形状是否有缺陷的方法的视图。图6至图9是说明用于通过图1的第二传感器来测量糊状物液滴的上表面的高度的方法的示意图。图10是示出了通过基于通过图1的第二传感器测得的液滴的上表面的高度数据来计算液滴的体积而以3D实现的糊状物的液滴的模型的曲线图。图11是示出了通过图1的第二传感器反复测得的糊状物的液滴的上表面的轮廓的曲线图。

首先，参照图1和图2，根据本公开的一个示例性实施例的涂布机1可包括框架100、托台150、轨道200、第一支承件250、涂布头单元支承件300、第二支承件350、第一传感器320和第二传感器400。

框架100是供安装涂布机1的构件的部件，并且托台150、轨道200等可安装在框架100上。

托台150可设置在框架100上，并且在其上表面上可设置有母板M。

具体地，母板M可在托台150的上表面上加载和卸载，并且可通过涂布头单元300将糊状物排出到母板M上。

糊状物可包括例如树脂、液晶等。

轨道200设置在框架100上并且可设置在托台150的两侧，以便沿y轴方向Y延伸。

更具体地，轨道200包括设置在托台150的一侧的第一导轨200a和设置在另一侧的第二导轨200b。第二支承件350和第一支承件250可在y轴方向Y上沿轨道200移动。

第一支承件250可安装成使其可在y轴方向Y上沿轨道200移动。

具体地，第一支承件250可以以可移动的方式安装在轨道200上并且可沿y轴方向Y来回移动。

相应地，安装在第一支承件250的一侧的涂布头单元300可沿y轴方向Y将糊状物排出到母板M上，并且安装在第一支承件250的另一侧的第一传感器320可在沿y轴方向Y移动的同时测量排出到母板M上的糊状物的液滴的形状。另外，第一支承件250设置有沿x轴方向X延伸的第一辅助轨道260，使得涂布头单元300和第一传感器320可在x轴方向上沿第一辅助轨道260移动。

x轴方向X定义为垂直于y轴方向Y的方向。

涂布头单元300可以安装在第一支承件250的一侧上以使得它可沿x轴方向X移动，并且可将糊状物的液滴排出到母板M上。

如文中所使用，糊状物的液滴指由涂布头单元300一次排出的单个液滴。

尽管在图1中涂布头单元300安装在面向母板M的第一支承件250的一侧而第一传感器320安装在第一支承件250的另一侧，但这仅仅是说明性的。即，涂布头单元300和第一传感器320的位置可交换。在以下说明中，根据本公开的示例性实施例，为方便说明，涂布头单元300安装在面向母板M的第一支承件250的一侧而第一传感器320安装在第一支承件250的另一侧。

具体地，涂布头单元300可在x轴方向X上沿设置在第一支承件250上的第一辅助轨道260来回移动，并且可将糊状物排出到母板M上。

相应地，涂布头单元300可在自身在x轴方向X上沿第一辅助轨道260移动的同时通过第一支承件250沿y轴方向Y移动，使得它可容易地将糊状物排出到母板M上。

另外，可安装多个涂布头单元300。尽管仅可安装一个涂布头单元300，但为了方便说明，在以下描述中安装了多个涂布头单元300。

涂布头单元300可如上所述沿x轴方向X和y轴方向Y移动并且相应地可采用各种图案或方式将糊状物排出到母板M上。

第一传感器320可以安装在第一支承件250的另一侧上以使得它可沿x轴方向X移动，并且可测量排出到母板M上的糊状物的液滴的形状。

具体地，传感器320可在x轴方向X上沿设置在第一支承件250上的第一辅助轨道260来回移动，并且可测量排出到母板M上的糊状物的液滴的形状。

相应地，传感器320可在自身在x轴方向X上沿第一辅助轨道260移动的同时通过第一支承件250而沿y轴方向Y移动，并且可测量在母板M上的各种位置处排出的糊状物的液滴的形状。

另外，如图1所示，可安装多个传感器320。尽管仅可安装一个传感器320，但为了方便说明，在以下描述中安装了多个传感器320。

由于传感器320如上所述可沿x轴方向X和y轴方向Y移动，所以可测量在母板M上的各种位置处排出的糊状物的液滴的形状。

如文中所使用，通过第一传感器320测得的液滴的形状指截面形状，即，从上方看液滴时(也就是，当在z轴方向Z上从与糊状物的液滴隔离开的位置看时)的2D(二维)形状。

另外，第一传感器320可包括例如2D照相机。

第二支承件350可以在y轴方向Y上沿轨道200以可移动的方式安装，并且可设置在第一支承件250的相反侧。

具体地，第二支承件350可以可移动的方式安装在轨道200上，并且可沿y轴方向Y来回移动。

相应地，安装在第二支承件350上的传感器400可沿y轴方向Y移动，以便测量排出到母板M上的糊状物的液滴的上表面的高度。另外，由于第二支承件350设置有沿x轴方向X延伸的第二辅助轨道360，所以传感器400可在测量糊状物的液滴的上表面的高度的同时在x轴方向X上沿第二辅助轨道360移动。

第二传感器400可以安装在第二支承件350上以使得它们可在x轴方向X上是可移动的，并且可测量排出的糊状物的液滴的上表面的高度。

具体地，第二传感器400可在x轴方向X上沿设置在第二支承件350上的第二辅助轨道360来回移动，并且可测量排出到母板M上的糊状物的液滴的上表面的高度。

相应地，第二传感器400可在x轴方向X上沿第二辅助轨道360移动的同时通过第二支承件350而在y轴方向Y上移动，并且可测量在母板M上的各种位置处排出的糊状物的液滴的上表面的高度。

另外，如图1所示，可安装多个传感器400。尽管仅可安装一个第二传感器400，但为了方便说明，在以下描述中安装了多个第二传感器400。

由于第二传感器400如上所述可沿x轴方向X和y轴方向Y移动，所以可测量在母板M上的各种位置处排出的糊状物的液滴的上表面的高度。

通过第二传感器400测得的糊状物的液滴的上表面的高度可以是例如来自母板M的液滴的上表面的高度(即，母板M与液滴的上表面之间的距离)。

另外，第二传感器400可包括例如色差共焦传感器。

通过在z轴方向上上下移动的z轴驱动单元，涂布头单元300、第一传感器320和第二传感器400可以在与x轴方向和y轴方向垂直的z轴方向Z上是可移动的。

具体地，第一x轴驱动器(未示出)可安装在第一支承件250的一侧以使涂布头单元300在z轴方向Z上上下移动。

相应地，可按需通过利用第一z轴驱动器(未示出)上下移动来调节涂布头单元300的高度。这样一来，可以防止诸如在糊状物排出过高时发生的液滴的缺陷形状的问题。

第二z轴驱动器可安装在第一支承件250的另一侧以使第一传感器320以使第一传感器320在z轴方向Z上上下移动。

相应地，可按需通过由第二z轴驱动器330在z轴方向上使第一传感器320上下移动来调节第一传感器320的高度，由此提高糊状物的形状的测量精度。

第三z轴驱动器370可安装在第二支承件350上以使第二传感器400在z轴方向Z上上下移动。

相应地，可按需通过由第三z轴驱动器370在z轴方向Z上使第二传感器400上下移动来调节第二传感器400的高度，由此提高糊状物的液滴的高度的测量精度。

参照图3，示出了涂布机1的控制流程。

涂布机1还可包括存储器500、第一运算单元540、第二运算单元550、第一控制单元610和第二控制单元600。存储器500、第一运算单元540、第二运算单元550、第一控制单元610和第二控制单元600可设置在涂布机1的内部或外部，并且将省略对其的详细描述。

第一运算单元540、第二运算单元550、第一控制单元610和第二控制单元600可结合在一个元件中或可如图所示分开存在。应理解的是，第一运算单元540和第二运算单元550可结合在一个元件中，而第一控制单元610和第二控制单元600可结合在另一个元件中。然而，为了方便说明，在以下描述中假设第一运算单元540、第二运算单元550、第一控制单元610和第二控制单元600是单独的元件。

首先，将与第一传感器320有关的控制流程描述如下：

具体地，第一传感器320可采用上述方式测量糊状物液滴的形状并且可向存储器500提供糊状物液滴的形状数据。

第一传感器320可扫描和测量排出到母板M上的整个糊状物液滴的形状，并且可向存储器500提供测得的糊状物液滴的形状数据。

存储器500可接收和存储来自第一传感器320的糊状物液滴的形状数据，并且可接收和存储来自第二传感器400的糊状物液滴的高度数据。

第一运算单元540可基于存储在存储器500中的糊状物液滴的形状数据来计算在x轴方向X上的糊状物液滴的长度和在y轴方向Y上的糊状物液滴的长度，并且可以将计算结果提供给第一控制单元610。

第一控制单元610可将通过第一运算单元540测得的糊状物液滴的在x轴方向X和y轴方向Y上的长度分别与预定基准长度进行比较，以确定液滴的形状是否有缺陷。

图4示出了在测量糊状物液滴的形状时的第一传感器320。

即，第一传感器320测量在z轴方向Z上与液滴PA隔离开的位置处的糊状物液滴PA的形状。相应地，通过第一传感器320扫描和测得的液滴的形状指的是截面形状，即，从上方看液滴时(也就是，在z轴方向Z上从与糊状物的液滴隔离开的位置看时)的2D(二维)形状。

随后，参照图3和图5，将说明基于通过第一传感器320测得的形状数据确定形状是否有缺陷的方法。

排出到母板M上的糊状物液滴可具有各种形状。基本上，相同量的糊状物液滴在相同高度处排出，并且相应地各液滴具有相同或相似形状。然而，诸如设备的振动、涂布头单元的喷嘴的堵塞、气流等的各种环境因素可能引起排出的液滴具有缺陷形状。

相应地，为了检测形状有缺陷的液滴，第一传感器320可扫描和测量排出到母板M上的所有糊状物液滴的形状，并且可向存储器500提供测得的形状数据。

第一运算单元540可基于存储在存储器500中的糊状物液滴的形状数据来计算糊状物液滴在x轴方向X和y轴方向Y上的长度，并且可向第一控制单元610提供计算结果。

第一控制单元610可将通过第一运算单元540测得的糊状物液滴在x轴方向X和y轴方向Y上的测定长度分别与预定基准长度进行比较，以确定液滴的形状是否有缺陷。预定基准长度可包括在x轴方向上的基准长度范围RX和在y轴方向上的基准长度范围RY。

具体地，将通过第一运算单元540测得的糊状物液滴在x轴方向X上的长度与在x轴方向上的基准长度范围RX进行比较。将糊状物液滴在y轴方向Y上的长度与在y轴方向Y上的基准长度范围RY进行比较。

如果通过第一运算单元540测得的糊状物液滴在x轴方向X和y轴方向Y上的长度分别处于在x轴方向和y轴方向上的基准长度范围RX和RY内，则第一控制单元610可维持涂布头单元300的排出条件。

例如，如图5所示，对于正常的糊状物液滴NPA，在x轴方向X和y轴方向Y上的两种长度分别处于在x轴方向上的基准长度范围RX和在y轴方向上的基准长度范围RY内。

当检测到这种正常糊状物液滴时，第一控制单元610维持涂布头单元300的排出条件。

另一方面，如果通过第一运算单元540测得的糊状物液滴在x轴方向X上的长度在基准长度范围RX之外或在y方向上的长度处于在y轴方向上的基准长度范围RY之外，则第一控制单元610可修改涂布头单元300的排出条件。

例如，对于图5所示的第一缺陷糊状物液滴DPA1，在x轴方向PX1上的长度处于在x轴方向上的基准长度范围RX内，但在y轴方向PY1上的长度处于在y轴方向上的基准长度范围RY之外。

另外，对于第二缺陷糊状物液滴DPA2，在x轴方向上的长度PX2和在y轴方向上的长度PY2两者均分别处于基准长度范围RX和RY之外。

当检测到这种糊状物液滴时，第一控制单元610可修改涂布头单元300的排出条件。

具体地，当修改排出条件(即，排出参数)时，第一控制单元610可修改以下中的至少一个：涂布头单元300在x轴或y轴方向上的移动速度、糊状物液滴排出的高度(在z轴方向上的高度)和糊状物的排出量。

尽管图5示出了在x轴方向上的基准长度范围RX和在y轴方向上的基准长度范围RY仅存在上限而不存在下限，但这不是限制性的。即，在x轴方向上的长度RX和在y轴方向上的长度RY均可具有上限和下限。然而，为了方便说明，在以下描述中在x轴方向上的长度RX和在y轴方向上的长度RY仅存在上限。

再次参照图3，以下将描述与第二传感器400有关的控制流程。

第二传感器400可采用上述方式测量糊状物液滴的上表面的高度并且可向存储器500提供测得的糊状物液滴的高度数据。

第二传感器400可测量排出到母板M上的全部糊状物液滴中的一部分或特定一个液滴(而不是全部液滴)的上表面的高度，并且可向存储器500提供测得的高度数据。相应地，通过第二传感器400的测量操作不会明显影响整个生产节拍。

第二运算单元550可基于存储在存储器500中的糊状物液滴的上表面的高度数据来计算糊状物液滴的体积，并且可基于计算出的糊状物液滴的体积来计算糊状物液滴的重量。

第二传感器400可多次重复测量糊状物的液滴的上表面的高度。运算单元550可使用基于反复测得的高度数据导出的体积值的平均值，并且可分别确定体积值的重复精度值是否比预定基准值小，由此减少测量误差。

第二控制单元600可将计算出的糊状物的液滴的重量与预定基准重量进行比较，以确定涂布头单元300的排出量是否适合。

具体地，如果第二控制单元600可接收来自第二运算单元550的糊状物液滴的重量数据并且在接收的糊状物液滴的重量等于预定基准重量或处于预定裕度内，则可确定涂布头单元300的排出量是适合的。相应地，第二控制单元600可维持涂布头单元300的排出量。

另一方面，如果第二控制单元600可在接收的糊状物液滴的重量在离预定基准重量的预定裕度之外，则可确定涂布头单元300的排出量不适合。相应地，第二控制单元600可修改涂布头单元300的排出量。

即，第二控制单元600可增加或减少涂布头单元300的排出量。

随后，参照图6至图9，示出了用于通过第二传感器400来测量糊状物的液滴的上表面的高度的方法。

参照图6，示出了用于通过第二传感器400(即，色差共焦传感器)来测量糊状物的液滴的上表面的高度的方法。

具体地，与激光共焦传感器不同，色差共焦传感器使用白色LED光源L。由于白色LED光源L照射波长为400至700nm的光，所以它包含所有可见光线范围。从白色LED光源L射出的光穿过第一针孔PH1，以随后穿过色差透镜CL并且照射到对象PA的表面(即，糊状物液滴的上表面)上。

当光穿过色差透镜CL时，各波长的焦距(例如，λ1，λ2，λ3)改变并且到达对象PA。即，蓝色短波长范围在短距离处聚焦，而红色长波长范围在长距离处聚焦。

应指出的是，通过限制色差共焦传感器的测量范围(MR)，能够减少误差。

另外，从对象PA反射的光可再次穿过色差透镜CL，可通过分光器BS穿过第二针孔PH2，并且然后可入射在光谱仪SM上。应理解的是，从对象PA反射的光的未聚焦波长无法穿过第二针孔PH2，即使它被分光器BS反射。

光谱仪SM可通过分析接收的光的波长来测量对象PA的距离(即，对象PA的表面的高度)。

在图6所示的曲线图中，垂直轴线表示强度而水平轴线表示波长(λ)。

随后，参照图7至图9，详细示出了用于通过第二传感器400来测量糊状物的液滴的上表面的高度的方法。

首先，参照图7，第二传感器400可通过使用以上参考图6所述的方法来测量糊状物液滴PA的上表面的高度。第二传感器400可通过以上参考图1所述的传感器支承件350而在y轴方向Y上移动并且可测量糊状物液滴PA的整个上表面的高度。

由于第二传感器400能够在y轴方向Y上更慢地移动，所以分辨率提高。

如从图8可见的，第二传感器400可以不测量糊状物的液滴的高度，直到经过一定时间以使得液滴的形状改变为止。即，传感器400可在液滴的形状已从PA’变成PA之后(即，在液滴已硬化并铺开之后)测量液滴的高度。

如果第二传感器400在液滴具有PA’的形状的同时立即测量它的高度，则该形状可保持改变而使得可能错误地测量体积。

应指出的是，第一传感器320(参见图1)也可在糊状物液滴已变形之后测量它的形状。

参照图9，详细示出了用于通过第二传感器400来测量糊状物液滴PA的上表面的高度的方法。

具体地，第二传感器400在沿y轴方向Y移动的同时可测量在糊状物液滴PA的上表面上沿y轴方向Y相互间隔开的多个点群(例如，第一点群PG1和第二点群PG2)的高度。

包括在多个点群中的每个点群(例如，第一点群PG1和第二点群PG2)的数量和在y轴方向上的间距可根据第二传感器400在y轴方向Y上的移动速度而变化。

此外，每个点群(例如，第一点群PG1和第二点群PG2)可包括在x轴方向X上成直线排列的多个点P和P’。

图5所示的多个点P和P’的数量仅仅是说明性的。例如，包括在第一点群PG1中的多个点P可包括约180个点。

应指出的是，点P和P’并非实际上存在于糊状物液滴的上表面上，而是代表通过第二传感器400测得的糊状物液滴PA的上表面上的点。

即，第二传感器400在通过第二支承件350而在y轴方向Y上移动的同时可顺序测量多个点群(例如，第一点群PG1和第二点群PG2)的高度。

换言之，第二传感器400可测量与糊状物液滴PA的上表面上的在x轴方向X上的点在同一直线上的一个点和多个点的高度，并且然后可通过第二支承件350而沿y轴方向移动以测量与y轴方向Y上的一个点间隔开的另一个点和与x轴方向X上的另一个点在同一直线上的多个点的高度。

通过重复这种移动和测量操作，第二传感器400能够测量糊状物液滴PA的整个上表面的高度。

参照图3、图10和图11，示出了通过第二传感器400测得的糊状物的液滴的轮廓。

图10和图11中的数值例如以微米(μm)比例尺示出。

具体地，图10示出了通过基于通过第二传感器400测得的糊状物液滴的上表面的高度数据来计算糊状物液滴的体积而以3D实现的糊状物液滴的模型。应理解的是，液滴的这种3D模型仅仅是说明性的。

这种3D模型能在单独的装置中或在软件中实现，并且可由操作人员检查。

另外，图11还示出了通过第二传感器400反复测得的糊状物的液滴的上表面的轮廓。

第二传感器400可多次重复测量糊状物的液滴的上表面的高度。第二运算单元550可使用基于重复测得的高度数据导出的体积值的平均值，并且可分别确定体积值的重复精度值是否比预定基准值小，由此减少测量误差。

如上所述，根据本公开的示例性实施例的涂布机1可通过第一传感器320(即，2D照相机)来测量糊状物的液滴的形状，并且可修改涂布头单元300的排出条件(即，排出参数)。因此，可以防止由于糊状物的缺陷形状而可能发生的问题(例如，诸如在联接基板的过程中糊状物与基板的不良接合或溢流的问题)。这样一来，可以防止显示装置中的缺陷。

此外，根据本公开的示例性实施例的涂布机1可通过第二传感器400(即，色差共焦传感器)来测量由涂布头单元300排出的糊状物液滴的体积，并且可基于它来估计排出的糊状物的量。相应地，无论何时检查糊状物的排出量都不必形成平衡物，最初形成平衡物以限定基准重量的操作除外。因此，能够通过避免操作由于平衡物的形成而延迟来提高生产率，并且能够通过防止糊状物由于其在平衡物的形成之后被丢弃而浪费来提高经济效率。

根据本公开的示例性实施例的涂布机1可对每个基板(即，母板M)进行排出的糊状物的量的检查。即，在母板M上的糊状物排出操作完成之后，涂布机1可实时地对母板M上的排出的糊状物的量进行检查。

应理解的是，在检查排出量时可以不对母板M上的全部糊状物液滴计算体积和重量。即，涂布机1可仅对母板M上的一些液滴或特定糊状物液滴执行体积和重量计算，并且可基于它来检查糊状物是否以适合的量排出在母板M上。

相应地，根据本公开的示例性实施例的检查操作不会明显影响生产节拍，并且因此不会降低生产率。

然而，最初可形成平衡物一次，以限定基准重量。即，在初始设定期间形成平衡物一次，以预先限定基准重量，并且基于该初始量来检查排出到每个母板M上的糊状物的量是否一致(即，适合)。

在下文中，将参考图12描述根据本公开的另一示例性实施例的涂布机。

图12是根据本公开的另一示例性实施例的涂布机的平面图。

除一些元件和效果之外，根据该示例性实施例的涂布机2与根据上述示例性实施例的涂布机1相同；并且因此将着重对差别进行描述。

参照图12，根据本示例性实施例的涂布机2与图1的涂布机的不同之处在于第一传感器320设置在第二支承件350而不是第一支承件250上。

另外，由于第一传感器320的位置改变，所以用于使第一传感器320在z轴方向Z上上下移动的第二z轴驱动器330的位置也改变。

即，第二z轴驱动轴330可安装在第二支承件350的一侧上，以使第一传感器320在z轴方向Z上上下移动。第三z轴驱动器370可安装在第二支承件350的另一侧上，以使第二传感器400在z轴方向Z上上下移动。

第二支承件350的一个表面指的是不与母板M面对的表面，并且第二支承件350的另一个表面指的是与母板M面对的表面。

如上所述，第一传感器320和第二传感器400安装在同一支承件(即，第二支承件350)上，使得第一支承件250可仅为了涂布头单元300的操作而被驱动，而第二支承件350可仅为了糊状物检查操作而被驱动。

结果，能够提高涂布机2的工作效率。

在下文中，将参考图13和图14描述根据本公开的又一示例性实施例的涂布机。

图13是根据本公开的又一示例性实施例的涂布机的平面图。图14是用于说明图13的涂布机的控制流程的框图。

除一些元件和效果之外，根据该示例性实施例的涂布机3与根据上述示例性实施例的涂布机1相同；并且因此将着重对差别进行描述。

参照图13，根据本示例性实施例的涂布机3与图1的涂布机1的不同之处在于存在多个涂布头单元。

涂布机3可包括：第一涂布头单元300a，其安装在第一支承件250的一侧上以在x轴方向X上是可移动的，并且将糊状物的液滴排出到母板M上；第一传感器320，其安装在第一支承件250的另一侧上以在x轴方向X上是可移动的；第二涂布头单元300b，其安装在第二支承件350的一侧上以在x轴方向X上是可移动的，并且将糊状物的液滴排出到母板M上；和第二传感器400，其安装在第二支承件350的另一侧上以在x轴方向X上是可移动的。

即，在根据本公开的该示例性实施例的涂布机3中，第一涂布头单元300a和第一传感器320安装在第一支承件250上，而第二涂布头单元300b和第二传感器400安装在第二支承件350上。

另外，与图1的涂布机1不同，根据本公开的该示例性实施例的涂布机3还包括第二涂布头单元300b，并且包括位于不同位置的第二传感器400。相应地，根据本公开的该示例性实施例的涂布机3还包括用于使第二涂布头单元300b在z轴方向Z上上下移动的第四z轴驱动器(未示出)，并且包括用于使第二传感器400在不同位置处在z轴方向Z上移动的第三z轴驱动器360。

即，第三z轴驱动器370可安装在第二支承件350的另一侧上，以使第二传感器400在z轴方向Z上上下移动。第四z轴驱动器可安装在第二支承件350的一侧上，以使第二涂布头单元300b在z轴方向Z上上下移动。

第一支承件250的一个表面指的是与母板M面对的表面，而第一支承件250的另一个表面指的是不与母板M面对的表面。另外，第二支承件350的一个表面指的是与母板M面对的表面，而第二支承件350的另一个表面指的是不与母板M面对的表面。

例如，第一涂布头单元300a和第二涂布头单元300b可交替地将糊状物排出到母板M上，或者各自可分别将糊状物排出到母板M的半部上。应理解的是，第一涂布头单元300a和第二涂布头单元300b中的一个可作为主涂布头单元工作，而另一个可在例如主涂布头单元失效的情况下作为辅助涂布头单元工作。

如上所述，第一涂布头单元300a和第一传感器320安装在第一支承件250上，而第二涂布头单元300b和第二传感器400安装在第二支承件305上，并且它们可采用各种方式被驱动。相应地，能够缩短用于糊状物排出操作和糊状物检查操作的生产节拍，并且能够提高效率。

接下来，参照图14，示出了图13的涂布机3的控制流程。

在以下描述中，将着重对与图3的涂布机1的控制流程的差别进行描述。

首先，第一控制单元610可将通过第一运算单元540测得的糊状物液滴在x轴方向X和y轴方向Y上的测定长度分别与预定基准长度进行比较，以确定液滴的形状是否有缺陷。如果确定糊状物液滴的形状良好，则第一控制单元610可维持已排出糊状物液滴的第一涂布头300a和第二涂布头单元300b中的一个的排出条件。如果确定糊状物液滴的形状有缺陷，则第一控制单元610可修改已排出糊状物液滴的第一涂布头300a和第二涂布头单元300b中的一个的排出条件。

即，如果通过第一传感器320测得的糊状物液滴从第一涂布头单元300a排出，则第一控制单元610可控制第一涂布头单元300a。如果通过第一传感器320测得的糊状物液滴从第二涂布头单元300b排出，则第一控制单元610可控制第二涂布头单元300b。

另外，参照图14，第二控制单元600可将通过第二运算单元550计算出的糊状物液滴的重量与预定基准重量进行比较，以确定从已排出糊状物液滴的第一涂布头单元300a和第二涂布头单元300b中的一个排出的糊状物液滴的量是否适合。如果计算出的糊状物液滴的重量等于基准重量或在预定误差裕度内，则第二控制单元600可维持已排出糊状物液滴的第一涂布头单元300a和第二涂布头单元300b中的一个的排出量。如果计算出的糊状物液滴的重量在基准重量的预定误差裕度之外，则第二控制单元600可修改已排出糊状物液滴的第一涂布头单元300a和第二涂布头单元300b中的一个的排出量。

即，如果通过第二传感器400测得的糊状物液滴从第二涂布头单元300a排出，则第二控制单元600可控制第一涂布头单元300a。如果通过第二传感器400测得的糊状物液滴从第二涂布头单元300b排出，则第二控制单元600可控制第二涂布头单元300b。

尽管已参考本公开的示例性实施例描述了本公开，但本公开不限于此。事实上，出于说明和非限制性的目的提供了示例性实施例。可做出其变更、修改、改进和/或细化而不偏离本公开的精神或范围。相应地，这些变更、修改、改进和/或细化被涵盖在本公开的范围内。