涂布装置及检测基板上异物的方法与流程

本发明涉及显示技术领域，具体地，涉及一种涂布装置及检测基板上异物的方法。

背景技术：

在显示面板的生产过程中，通常要采用涂布装置在基板上涂布形成光刻胶膜层以在随后的制程中在基板上形成各种膜层。在具体生产中，涂布装置通常采用喷嘴在基板上涂布相应的膜层材料，例如光刻胶。

涂布装置的基本工作过程为：喷嘴以一定速度沿基板表面从基板的一侧边缘移动到相对的另一侧边缘，同时，喷嘴中以一定的速度吐出膜层材料，随着喷嘴的移动，膜层材料就能涂布到基板的表面以形成相应的膜层。

但基板上有凸起的异物时，异物会极大地影响涂布工作。在现有技术中，固定在喷嘴前方的对射式传感器只能探测到基板上的异物的沿喷嘴运动方向的坐标，无法准确地确定异物的位置，这给清除异物带来不便。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种涂布装置及其基板上的异物检知方法，以解决现有涂布装置无法准确确定基板上异物的位置信息且无法自动清除异物的问题。

本发明解决其技术问题是采用以下的技术方案来实现的。

本发明提供一种涂布装置，用于对基板进行涂布，涂布装置包括第一对射式传感器和第二对射式传感器，第一对射式传感器沿第一方向扫描基板的第一表面得到基板上的异物的第一坐标信息，第二对射式传感器沿与第一方向垂直的第二方向扫描基板的第一表面得到基板上的异物的第二坐标信息。

进一步地，沿着喷嘴的移动方向，第一对射式传感器和第二对射式传感器位于喷嘴的前方。

进一步地，第一对射式传感器包括设置在喷嘴的长度方向的第一发射器和第一接收器，第一发射器和第一接收器均固定连接至喷嘴，第一发射器和第一接收器位于基板的两侧。

进一步地，第二对射式传感器包括设置在喷嘴宽度方向的第二发射器和第二接收器，第二接收器可滑动地连接至喷嘴上，第二发射器与第二接收器同步运动。

进一步地，涂布装置还包括用于拍摄基板上的异物的摄像头，摄像头与喷嘴活动连接且能相对喷嘴移动。

进一步地，涂布装置还包括用于清扫基板上的异物的清扫装置，清扫装置与喷嘴活动连接能相对喷嘴移动。

进一步地，涂布装置还包括控制单元，控制单元与喷嘴、第一对射式传感器、第二对射式传感器、摄像头和清扫装置电连接。

本发明还提供一种应用如上所述的涂布装置来检测基板上异物的方法，包括步骤：

沿第一方向扫描基板的第一表面以探测基板上是否存在异物；

在探测到基板上有异物后，获得异物的第一坐标信息；

沿第二方向扫描基板的第一表面以得到异物的第二坐标信息；

基于第一坐标信息和第二坐标信息确定异物的位置。

进一步地，还包括，在获得异物的位置后，获得异物的图像信息，基于图像信息除去异物。

进一步地，基于图像信息判断异物处于基板的第一表面还是处于基板的与第一表面相对的第二表面上：

当判定异物处于基板的第一表面上时，涂布装置的清扫装置处理异物；

当判定异物处于基板的第二表面上时，涂布装置发出警报。

本发明提供一种涂布装置及其基板上异物的检测方法，通过在喷嘴上设置与喷嘴固定连接的第一对射式传感器、与喷嘴活动连接的第二对射式传感，不仅可以对喷嘴进行保护，还能准确定位基板上异物的位置。

附图说明

图1为本发明实施例中涂布装置与基板相对位置的俯视示意图。

图2为图1中涂布装置的局部侧视示意图。

图3为图1中喷嘴开始移动时的结构示意图。

图4为图3中第二对射式传感器开始移动时的结构示意图。

图5为图4中第二对射式传感器停止移动时的结构示意图。

图6为图5中摄像头移动至异物处时的结构示意图。

图7为图6中清扫装置移动至异物处时的结构示意图。

具体实施方式

为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术方式及功效，以下结合附图及实施例，对本发明的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。

图1为本发明实施例中涂布装置与基板相对位置的俯视示意图。图2为图1中涂布装置的局部侧视示意图。请参考图1和图2，本实施例提供一种涂布装置，用于对基板10进行涂布。涂布装置包括喷嘴20、第一对射式传感器30和第二对射式传感器40(图2中未示意出第一对射式传感器30和第二对射式传感器40)。第一对射式传感器30和第二对射式传感器40均连接至喷嘴20的前方，第一对射式传感器30沿第一方向扫描基板10的第一表面得到基板10上的异物11的第一坐标信息，第二对射式传感器40沿与第一方向垂直的第二方向扫描基板10的第一表面得到基板10上的异物11的第二坐标信息。本实施例中，第一方向例如为图1中的y轴反向，第二方向例如为图1中的x轴方向。在其他实施例中，第一方向例如为图1中的x轴反向，第二方向例如为图1中的y轴方向。第一表面例如为正面，第二表面例如为反面。

具体地，第一对射式传感器30包括第一发射器31和第一接收器32，第一发射器31和第一接收器32均固定连接至喷嘴20上。第一发射器31和第一接收器32连接在喷嘴20的长度方向上，且第一发射器31和第一接收器32位于基板10的两侧。第二对射式传感器40包括第二发射器41和第二接收器42，第二接收器42可滑动地连接在喷嘴20的宽度方向上，当第二接收器42运动时，第二发射器41同步运动。

本实施例中，第一对射式传感器30和第二对射式传感器40均为对射式光电传感器。例如，第一发射器31发出红光或者红外光，第一接收器32接收；第二发射器41发出红外或者红外光，第二接收器42接收。当有异物11存在时，发射器与接收器之间的光线切断，便输出在基板10上存在异物的信号。

进一步地，请参考图1和图2，涂布装置还包括用于拍摄基板10上异物的摄像头50和用于清扫基板10上异物的清扫装置60。摄像头50与喷嘴20活动连接且能相对喷嘴20移动，清扫装置60与喷嘴20活动连接且能相对喷嘴20移动。在一个具体的实施例中，在喷嘴20上沿其长度方向设置有滑轨70，摄像头50和清扫装置60例如分别设置在滑轨70的两端并且可沿着滑轨70运动，摄像头50和清扫装置60例如均可以通过伸缩杆(图中未示)活动连接至喷嘴20，即摄像头50和清扫装置60既可以随着喷嘴20移动，也可以相对喷嘴20移动。在另一个实施例中，清扫装置60包括的清扫工具例如可以为气枪、激光镭射、有机溶剂滴管、清洁球中的任一种或者两种以上的组合，但不限于此。

请参考图1，涂布装置还包括控制单元80，控制单元80分别与喷嘴20、第一对射式传感器30、第二对射式传感器40、摄像头50及清扫装置60电连接，并可以控制喷嘴20、第二对射式传感器40、摄像头50及清扫装置60的移动。

本发明还提供一种应用如上所述的涂布装置检测基板上异物的方法，包括步骤：

沿第一方向扫描基板10的第一表面以探测基板10上是否存在异物11；

在探测到基板10上有异物11后，获得异物11的第一坐标信息；

沿第二方向扫描基板10的第一表面以得到异物11的第二坐标信息；

基于第一坐标信息和第二坐标信息确定异物11的位置。

在获得异物11的位置后，获得异物11的图像信息，基于图像信息除去异物11。

进一步地，基于图像信息判断异物11处于基板10的第一表面还是处于基板10的与第一表面相对的第二表面上，

当判定异物11处于基板10的第一表面上时，涂布装置的清扫装置60处理异物11，

当判定异物11处于基板10的第二表面上时，涂布装置发出警报。

图3为图1中喷嘴开始移动时的结构示意图。请参考图1和图3，控制单元80控制喷嘴20沿基板10的y轴方向移动并进行涂布，固定连接至喷嘴20上的第一发射器31和第一接收器32跟随喷嘴20移动并同时探测基板10上是否有异物11存在，活动连接至喷嘴20上的第二接收器42也随着喷嘴20在y轴方向上移动，第二发射器41与第二接收器42同步运动。

图4为图3中第二对射式传感器开始移动时的结构示意图。请结合图3和图4，在第一发射器31和第一接收器32探测到异物11时，将异物11的第一坐标信息发送至控制单元80。此时，控制单元80控制喷嘴20停止移动，并开始控制第二发射器41和第二接收器42在基板10的上方沿基板10的x轴方向开始移动。

图5为图4中第二对射式传感器停止移动时的结构示意图，请结合图5，在第二对射式传感器40在基板10的上方沿着基板10的x轴方向移动期间，若第二对射式传感器40检测到异物11，则第二对射式传感器40将异物11的第二坐标信息发送至控制单元80，同时，控制单元80控制第二对射式传感器40停止移动。

图6为图5中摄像头移动至异物处的结构示意图。清结合图6，当第二对射式传感器40停止移动后，控制单元80根据从第一对射式传感器30和第二对射式传感器40接收到的第一坐标信息和第二坐标信息，开始控制摄像头50在基板10的上方沿着滑轨70的长度方向移动至异物11的正上方，并拍摄异物11的图像传送至控制单元80。本实施例中，若摄像头50距离异物11较远，则控制单元80可以通过控制连接在摄像头50与喷嘴20之间的伸缩杆(图中未示)的伸缩，以使摄像头50移动至异物11的正上方。

当控制单元80接收到摄像头50拍摄的异物11的图像时，控制单元80控制摄像头50归位(即图1中所示的位置)，并基于图像信息判断异物11是处于基板10的第一表面(即正面)上还是处于基板10的第二表面(即反面)上。当控制单元80判定异物11处于基板10的第二表面时，则涂布装置发出警报提示人工处理；当控制单元80判定异物11处于基板10的第一表面时，则控制单元80控制清扫装置60处理异物11。

图7为图6中清扫装置移动至异物处的结构示意图。请结合图7，当控制单元80判定异物11处于基板10的第一表面时，控制单元80根据从第一对射式传感器30和第二对射式传感器40接收到的异物11的第一坐标信息和第二坐标信息后，再基于摄像头50拍摄的照片判定得出需要执行的清扫动作，然后控制清扫装置60沿着滑轨70的长度方向移动至异物11的正上方，清扫装置60开始执行清扫动作。本实施例中，若清扫装置60距离异物11较远，则控制单元80可以通过控制连接在清扫装置60与喷嘴20之间的伸缩杆(图中未示)的伸缩，以使清扫装置60移动至异物11的正上方。

在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，除了包含所列的那些要素，而且还可包含没有明确列出的其他要素。

在本文中，所涉及的前、后、上、下等方位词是以附图中零部件位于图中以及零部件相互之间的位置来定义的，只是为了表达技术方案的清楚及方便。应当理解，所述方位词的使用不应限制本申请请求保护的范围。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。