本实用新型属于氟化工技术领域，涉及利用氟硅酸制备无水氟化氢过程中的尾气处理装置。
背景技术：
采用磷化工副产物氟硅酸制取无水氟化氢时，先将稀氟硅酸脱砷后进入氟硅酸浓缩系统，经过浓缩，得到一定浓度的浓氟硅酸，经过滤分离后，浓氟硅酸进入反应器与浓硫酸混合，产生四氟化硅、氟化氢等混合气体，用浓硫酸吸收后，四氟化硅进入浓缩系统进行吸收。反应后的硫酸含有大量氟化氢，经蒸馏将氟化氢与硫酸分离，经过净化、精馏除去高、低沸点杂质，得到无水氟化氢产品。蒸馏后的硫酸通过汽提，得到稀硫酸，送入磷酸反应器进行生产磷酸。生产过程中的尾气中主要含有四氟化氢和氟化氢气体，不能直接排放。目前，尾气处理通常采用碱洗吸收方法，碱洗塔中的碱液易变成酸液而逐渐过饱和，这时吸收率下降导致吸收不完全而排放出氟化氢气体，造成环境污染。
技术实现要素：
本实用新型提供的一种利用氟硅酸制备无水氟化氢过程中的尾气处理装置，结构设计合理，能够有效处理尾气，确保达标排放，并能回收利用其中的含氟产品。
为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种利用氟硅酸制备无水氟化氢过程中的尾气处理装置，包括依次设置的多级吸收塔、焦炭过滤器和烟囱，多级吸收塔中最前端的吸收塔的进气口连接尾气管，出气口与下一吸收塔的进气口连接，最后一级吸收塔的出气口连接焦炭过滤器的进气口，焦炭过滤器的出气口连接烟囱进气口；该装置还包括洗涤液收集槽，其通过阀门及管道分别连接到吸收塔和焦炭过滤器的进液口，吸收塔和焦炭过滤器的出液口分别连接至洗涤液收集槽。
进一步地，所述洗涤液收集槽与吸收塔和焦炭过滤器的进液口之间设置有泵。
进一步地，所述吸收塔的上部设有填料层，填料层的上方设有填料进口，下方设有填料出口。填料层位于吸收塔进气口和排气口之间。
进一步地，所述装置还设有洗涤液补充管路，其与吸收塔和焦炭过滤器的进液口通过管道及阀门连接。
进一步地，所述吸收塔和焦炭过滤器的进液口均位于设备的顶部，且安装有喷淋装置。
本实用新型提供的装置结构简单、易操作、成本低，在尾气处理过程不会引入其他杂质和污染物，不会产生废气污染等，具有良好的经济效益和环境效益。
通过设置洗涤液回收槽，其中的洗涤液可以循环使用，直至其达到一定的浓度之后将其进一步的浓缩用于制备无水氟化氢。
附图说明
图1 是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面结合实施例及附图来进一步说明本实用新型，但本实用新型要求保护的范围并不局限于实施例表述的范围。
如图1所示，采用的技术方案是：一种利用氟硅酸制备无水氟化氢过程中的尾气处理装置，包括依次设置的多级吸收塔1、焦炭过滤器2和烟囱3，多级吸收塔中最前端的吸收塔的进气口连接尾气管，出气口与下一吸收塔的进气口连接，最后一级吸收塔的出气口连接焦炭过滤器2的进气口，焦炭过滤器2的出气口连接烟囱进气口；该装置还包括洗涤液收集槽4，其通过阀门及管道分别连接到吸收塔1和焦炭过滤器2的进液口，吸收塔1和焦炭过滤器2的出液口分别连接至洗涤液收集槽4。
进一步地，所述洗涤液收集槽4与吸收塔1和焦炭过滤器2的进液口之间设置有泵。
进一步地，所述吸收塔1的上部设有填料层，填料层的上方设有填料进口，下方设有填料出口。具体的填料可以为γ－氧化铝、矾土等为吸附剂，也可以为聚丙烯、聚乙烯或聚氯乙烯等，填料的设置可以进一步对HF酸进行吸收， 增加HF酸的吸收效率。
进一步地，所述装置还设有洗涤液补充管路，其与吸收塔1和焦炭过滤器2的进液口通过管道及阀门连接。
进一步地，所述吸收塔1和焦炭过滤器2的进液口均位于设备的顶部，且安装有喷淋装置。
本实用新型中的洗涤液可以直接使用工艺水，以水为吸收液，吸收废气中的氟化氢和四氟化硅，生成氢氟酸和氟硅酸溶液，待其达到一定浓度后，送回氟硅酸浓缩段进行浓缩，可以回收氟作为原料使用，既能实现零排放，又能提高经济效益。