一种半导体废气净化设备的制作方法

文档序号:15613234发布日期:2018-10-09 20:51阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种半导体废气净化设备,涉及废气净化设备技术领域。该半导体废气净化设备,包括除尘器,所述除尘器的左侧外表面靠近上方位置连通有第一进气口,所述第一进气口的外表面固定安装有第一气泵,所述除尘器的内部底端位置固定安装有积水槽,所述积水槽的内部活动安装有滤尘网,所述除尘器的顶端固定安装有水箱,所述水箱的内部固定安装有滤膜,且水箱的左侧固定安装有第一水泵,所述水箱与积水槽之间固定安装有回流管。该半导体废气净化设备,能够对废气中含有的粉尘进行很好地分离并收集,还能够对水进行循环利用,节约了水资源,废气得到了净化,使有害物质与废气有效地分离。

技术研发人员:司马超;陈彦岗;张坤;杨春水;赵力行;邹昭平;蒋俊海;于浩
受保护的技术使用者:安徽京仪自动化装备技术有限公司
技术研发日:2018.07.11
技术公布日:2018.10.09
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