本实用新型属于一种磁性材料、半导体材料、功能材料等电子材料精密热处理设备领域，更具体地说，涉及一种真空热处理炉上带冷却系统的颗粒收集器。
背景技术：
电子材料、磁性材料、功能材料的烧结工艺过程是在真空状态下进行高温烧结，故工艺开始时要对反应腔抽真空，防止原材料在烧结过程中被氧化污染。常规的设备在抽真空时是反应腔内的气体通过水冷套的简易回收装置后直接进入真空机组的，气体中携裹的颗粒部分沉积到回收装置，大部分进入泵内，造成真空泵的损坏，降低真空机组的使用寿命，成本较高。
技术实现要素：
针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供了一种真空热处理炉上带冷却系统的颗粒收集器，设计合理，能够提高颗粒截留率的装置，以降低气体进入机组的破坏性，延长设备使用寿命，提高机组运行的稳定性和安全性，为客户提供了更可靠的设备，实用性强，适于推广。
为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：
一种真空热处理炉上带冷却系统的颗粒收集器，与真空热处理炉相对应，其特征在于：包括安装在收集器上的顶盖和底盖，顶盖和底盖之间设置有外管；所述顶盖上安装有导向内管，顶盖上设置有贯穿顶盖与内管连通的出气口；所述外管上连通且安装有进气管；所述底盖上设置有冷却套管。
作为一种优化的技术方案，所述冷却套管为双层封闭管道，位于导向内管和外管之间，冷却套管内部设置有循环冷却水路以及进、出水管，冷却套管与顶盖端面距离≤300mm。
作为一种优化的技术方案，所述安装在顶盖上的导向内管，插入冷却套管内，与底盖端面距离≤300mm。
作为一种优化的技术方案，所述外管的两端分别设置有环形密封槽，密封槽与顶盖和底盖之间设置有密封圈。
由于采用了上述技术方案，与现有技术相比，本实用新型设计合理，气体通过进气管、内外管之间、内管内部最后从出气口排出，因冷却和气流方向改变而滞留的固态颗粒和粉末状颗粒沉淀到收集器底部，避免颗粒跟随气体进入真空管道中，损坏真空机组和阀门，最大程度地截留颗粒，以降低气体进入机组的破坏性，延长设备使用寿命，提高机组运行的稳定性和安全性，为客户提供了更可靠的设备，实用性强，适于推广。
参照附图和实施例对本实用新型做进一步说明。
附图说明
图1为本实用新型一种实施例的结构示意图。
具体实施方式
实施例
如图1所示，一种真空热处理炉上带冷却系统的颗粒收集器，与真空热处理炉相对应，包括安装在收集器上的顶盖1和底盖4，顶盖1和底盖4之间设置有外管3；所述顶盖1上安装有导向内管2，顶盖1上设置有贯穿顶盖1与内管2连通的出气口；所述外管3上连通且安装有进气管8；所述底盖4上设置有冷却套管5。
所述冷却套管5为双层封闭管道，位于导向内管2和外管3之间，冷却套管5内部设置有循环冷却水路以及进水管7、出水管6，冷却套管5与顶盖1端面距离≤300mm。
所述安装在顶盖1上的导向内管2，插入冷却套管5内，与底盖4端面距离≤300mm。
所述外管3的两端分别设置有环形密封槽，密封槽与顶盖1和底盖4之间设置有密封圈9。
本实用新型设计合理，气体通过进气管、内外管之间、内管内部最后从出气口排出，因冷却和气流方向改变而滞留的固态颗粒和粉末状颗粒沉淀到收集器底部，避免颗粒跟随气体进入真空管道中，损坏真空机组和阀门，最大程度地截留颗粒，以降低气体进入机组的破坏性，延长设备使用寿命，提高机组运行的稳定性和安全性，为客户提供了更可靠的设备，实用性强，适于推广。
本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。