本实用新型涉及尾气排放处理装置技术领域，具体为一种电磁片扩散尾气排放处理装置。
背景技术：
扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，扩散炉在加工过程中会产生尾气，尾气经过处理后会产生偏磷酸废液，偏磷酸废液经过废液收集管流到废液收集罐内集中处理，但是传统的废液收集管的管径较细，常常会被偏磷酸废液堵塞管道，造成成本增加，降低了工作效率，且现有的废液收集管与废液传输管道连接是通过卡箍连接，连接有间隙，容易渗液，造成偏磷酸废液污染。
技术实现要素：
本实用新型的目的在于提供一种电磁片扩散尾气排放处理装置，以解决上述背景技术中提出的传统的废液收集管的管径较细，常常会被偏磷酸废液堵塞管道，造成成本增加，降低了工作效率，且现有的废液收集管与废液传输管道连接是通过卡箍连接，连接有间隙，容易渗液，造成偏磷酸废液污染的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种电磁片扩散尾气排放处理装置，包括冷却箱，所述冷却箱的左侧顶部插接有冷却液进液管道，所述冷却箱的顶部左侧插接有尾气出气管，所述尾气出气管的顶部连接有止回阀，所述止回阀的顶部连接有尾气进气管，所述冷却箱的底部连接有沉淀箱，所述尾气出气管的底部贯穿沉淀箱的顶部，所述沉淀箱的左侧底部废液进液管道，所述废液进液管道的左侧顶部连接有抽液泵，所述抽液泵的顶部连接有废液出液管道，所述废液出液管道的左端套接有废液收集管道，所述废液收集管道的底部连接有废液收集罐，所述废液出液管道的外壁左端连接有第一密封套，所述废液收集管道的内腔右侧连接有第二密封套。
优选的，所述第一密封套与第二密封套为过盈配合。
优选的，所述尾气出气管和废液进液管道与沉淀箱的连接处安装有密封圈。
优选的，所述沉淀箱为不锈钢沉淀箱。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型在废液传输管道的外壁和废液收集管道内增加密封套，两组密封套之间互相配合，使得传输管道和废液收集管道之间的连接更加紧密，减小了渗液的可能性，减小了偏磷酸废液污染，且将废液收集管道的管径加粗，有效的防止偏磷酸堵塞管道，提高效率，节约成本。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型废液收集管道剖视图。
图中：1冷却箱、2冷却液进液管道、3尾气出气管、4止回阀、5尾气进气管、6沉淀箱、7废液进液管道、8抽液泵、9废液出液管道、10废液收集管道、11废液收集罐、12第二密封套、13第一密封套。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种电磁片扩散尾气排放处理装置，包括冷却箱1，冷却箱1的左侧顶部插接有冷却液进液管道2，冷却箱1的顶部左侧插接有尾气出气管3，尾气出气管3的顶部连接有止回阀4，止回阀4的顶部连接有尾气进气管5，冷却箱1的底部连接有沉淀箱6，尾气出气管3的底部贯穿沉淀箱6的顶部，沉淀箱6的左侧底部废液进液管道7，废液进液管道7的左侧顶部连接有抽液泵8，抽液泵8的顶部连接有废液出液管道9，废液出液管道9的左端套接有废液收集管道10，废液收集管道10的底部连接有废液收集罐11，废液出液管道9的外壁左端连接有第一密封套13，废液收集管道10的内腔右侧连接有第二密封套12。
其中，第一密封套13与第二密封套12为过盈配合，尾气出气管3和废液进液管道7与沉淀箱6的连接处安装有密封圈，沉淀箱6为不锈钢沉淀箱。
工作原理：冷却液经过冷却液进液管道2进入冷却箱1内，尾气经过尾气进气管5流到尾气出气管3内，止回阀4防止进入尾气出气管3内的尾气回流，尾气经过尾气出气管3被冷却箱1内的冷却液冷却后液化，液化后流到沉淀箱6内，沉淀箱6内的废液被抽液泵8抽到废液进液管道7内，经过废液进液管道7流到废液出液管道9内，废液出液管道9的外壁套接有第一密封套13，废液收集管道10的内壁连接有第二密封套12，第二密封套12与第一密封套13紧密配合，防止废液渗出，经过废液出液管道9流到废液收集管道10内，经过废液收集管道10流到废液收集罐11内收集后集中清理，废液收集管道10经过加粗处理，防止废液会堵塞管道，提高效率，节约成本。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。