一种单晶硅片抛光液回收过滤装置的制作方法

本实用新型涉及单晶硅片加工技术领域，尤其是一种单晶硅片抛光液回收过滤装置。

背景技术：

制备单晶硅主要有两种方法：直拉法(Cz法)、区熔法(FZ法)；

直拉法：其优点是晶体被拉出液面不与器壁接触，不受容器限制，因此晶体中应力小，同时又能防止器壁沾污或接触所可能引起的杂乱晶核而形成多晶。此法制成的单晶完整性好，直径和长度都可以很大，生长速率也高。所用坩埚必须由不污染熔体的材料制成。因此，一些化学性活泼或熔点极高的材料，由于没有合适的坩埚，而不能用此法制备单晶体，而要改用区熔法晶体生长或其他方法。

区熔法：区熔法可用于制备单晶和提纯材料，还可得到均匀的杂质分布。这种技术可用于生产纯度很高的半导体、金属、合金、无机和有机化合物晶体。在区熔法制备硅单晶中，往往是将区熔提纯与制备单晶结合在一起，能生长出质量较好的中高阻硅单晶。区熔单晶炉主要包括：双层水冷炉室、长方形钢化玻璃观察窗、上轴(夹多晶棒)、下轴(安放籽晶)、导轨、机械传送装置、基座、高频发生器和高频加热线圈、系统控制柜真空系统及气体供给控制系统等组成。

单晶硅在制成后需要进行切片加工，现有技术中多线切割加工后需要使用到抛光液，使用过的抛光液直接排放造成浪费。

技术实现要素：

本实用新型旨在提供一种过滤回收抛光液的单晶硅片抛光液回收过滤装置。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶硅片抛光液回收过滤装置，包括筒体，所述筒体的内部设有过滤筒和过滤网，过滤筒设于筒体的上部，过滤筒与筒体之间设有间隙，过滤筒的顶部固连多孔板，多孔板固连筒体，过滤筒的下方设有过滤网，过滤网固连筒体；筒体的顶部设有顶盖，顶盖的顶部设有电机，电机的输出轴上设有主动齿轮，该主动齿轮与主轴上的从动齿轮啮合；主轴为空心轴，中心设有圆柱形空腔，主轴的顶端通过旋转接头连接供气管，主轴贯穿多孔板、过滤筒和过滤网，过滤筒内部的主轴上设有喷气柱，喷气柱套在主轴上并与主轴固连，喷气柱上设有数个喷气孔，喷气孔连通主轴中心的圆柱形空腔；顶盖上设有砂浆进口，筒体的底部设有抛光液出口。

作为本实用新型的进一步方案：所述筒体的顶部设有排气口。

作为本实用新型的进一步方案：所述圆柱形空腔的延伸到主轴的顶端构成开口。

作为本实用新型的进一步方案：所述供气管连接风机的出风口。

作为本实用新型的进一步方案：所述多孔板、过滤筒和过滤网的中心均设有与主轴间隙配合的通孔。

作为本实用新型的进一步方案：所述主轴的底端设有轴座，主轴与轴座之间通过轴承连接，轴座通过连杆连接筒体内壁。

作为本实用新型的进一步方案：所述过滤筒的材料为滤网，该滤网的目数小于过滤网的目数。

作为本实用新型的进一步方案：所述筒体的上部外部设有夹套，夹套的进水口连接冷水供管，排水口连接排水管。

作为本实用新型的进一步方案：所述筒体的底部设有反冲进口，过滤网上方一侧的筒体上设有第一反冲出口，过滤筒的底部一侧的筒体上设有第二反冲出口，第二反冲出口延伸到过滤筒的内部，反冲进口连接供水管，第一反冲出口和第一反冲出口均连接排水管。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该单晶硅片抛光液回收过滤装置将抛光液经过双重过滤后回收利用，过滤比较彻底，而且通过旋转的喷气柱喷气的同时旋转产生复杂气流，扰动过滤筒内部水流的同时提高过滤效率，避免杂物大量附着于过滤筒表面，值得大力推广。

附图说明

图1为实施例一中本实用新型的结构示意图；

图2为实施例一中本实用新型的喷气柱的结构示意图；

图3为实施例二中本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一

请参阅图1-2，本实用新型实施例中，一种单晶硅片抛光液回收过滤装置，包括筒体1，所述筒体1的内部设有过滤筒2和过滤网3，过滤筒2设于筒体1的上部，过滤筒2与筒体1之间设有间隙，过滤筒2的顶部固连多孔板4，多孔板4固连筒体1，过滤筒2的下方设有过滤网3，过滤网3固连筒体1；筒体1的顶部设有顶盖5，顶盖5的顶部设有电机6，电机6的输出轴上设有主动齿轮，该主动齿轮与主轴7上的从动齿轮啮合，电机6带动主动齿轮转动，再通过齿轮传动带动从动齿轮以及主轴7转动；

主轴7为空心轴，中心设有圆柱形空腔，主轴7的顶端通过旋转接头连接供气管8，主轴7贯穿多孔板4、过滤筒2和过滤网3，过滤筒2内部的主轴7上设有喷气柱9，喷气柱9套在主轴7上并与主轴7固连，喷气柱9上设有数个喷气孔10，喷气孔10连通主轴7中心的圆柱形空腔；顶盖5上设有砂浆进口，筒体1的底部设有抛光液出口。

进一步，筒体1的顶部设有排气口，用于内部空气的排出。

进一步，圆柱形空腔的延伸到主轴7的顶端构成开口，其长度小于主轴7的长度，因此主轴7底部不设置开口。

进一步，供气管8连接风机的出风口。

进一步，多孔板4、过滤筒2和过滤网3的中心均设有与主轴7间隙配合的通孔。

进一步，主轴7的底端设有轴座，主轴7与轴座之间通过轴承连接，轴座通过连杆连接筒体1内壁，通过轴座支撑主轴7底端，也可直接延伸主轴7到筒体1底部，并通过轴承连接，利用筒体1作为支撑。

进一步，过滤筒2的材料为滤网，该滤网的目数小于过滤网3的目数。

进一步，过滤筒2与过滤网3之间的主轴上设有搅拌叶，该搅拌叶用于扰动产生水流，避免污垢沉积在过滤网3上影响过滤效果。

本实用新型的结构特点及其工作原理：砂浆从顶部进入筒体1，经由多孔板4进入过滤筒2，多孔板4限制砂浆流量使其滞留，然后再进入过滤筒2过滤，过滤筒2初步过滤后再向下经过过滤网3过滤，再通过抛光液出口排出清液，过滤筒2初步过滤过程中电机6带动主轴7转动带动喷气柱9旋转，喷气柱9通过主轴7进气后从喷气孔10喷射气流配合旋转构成复杂气流，起到避免杂物附着过滤筒2表面从而提高过滤效率的效果。

实施例二

请参阅图3，与实施例一不同的是，筒体1的上部外部设有夹套，夹套的进水口连接冷水供管，排水口连接排水管。多孔板4限制砂浆流量使其滞留，滞留的同时通过夹套吸收热量降温。

进一步，夹套的冷水管连接冷水机的出水口，排水管连接冷水机的回水口。

实施例三

与实施例一不同的是，在筒体1的底部设有反冲进口，过滤网3上方一侧的筒体1上设有第一反冲出口，过滤筒2的底部一侧的筒体1上设有第二反冲出口，第二反冲出口延伸到过滤筒2的内部，反冲进口连接供水管，第一反冲出口和第一反冲出口均连接排水管。停止进入浆液后通过进口供水对筒体1内供水，然后再通过搅拌使附着于滤网上的杂物冲洗下来，分别通过两个反冲出口排出含有杂物的污水，能够对滤网进行冲洗，延长设备使用寿命，降低使用成本。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。