搅拌装置及晶体生长设备的制作方法

文档序号:17432744发布日期:2019-04-17 03:43阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种搅拌装置及晶体生长设备。搅拌装置包括:电机组件,包括电机及伸出所述电机的输出轴;传动轴,与所述输出轴连接;密封组件,套设于所述传动轴;搅拌件,与所述传动轴连接。上述技术方案至少具有以下技术效果:搅拌装置安装于晶体生长设备,搅拌件伸入生长炉的炉内排气管中,随着搅拌件的不断搅动,能够很大程度上减少粉尘、氧化物和其他杂质等遇冷沉积在炉内排气管内,防止杂质堵塞炉内排气管。此外,密封组件用于安装后避免气体与电机组件接触,防止气体对电机组件造成侵蚀等损害,提高电机组件的使用寿命。

技术研发人员:张金政;万跃鹏
受保护的技术使用者:江苏协鑫软控设备科技发展有限公司
技术研发日:2019.01.30
技术公布日:2019.04.16
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