一种水性蚀刻光阻剂用混合装置的制作方法

本实用新型涉及光阻剂加工设备技术领域，尤其涉及一种水性蚀刻光阻剂用混合装置。

背景技术：

光阻，亦称为光阻剂，是一个用在许多工业制程上的光敏材料。像是光刻技术，可以在材料表面刻上一个图案的被覆层。为制造液晶显示器(LCD)电路或半导体集成电路内所用的微小电路图案，在基板上的一绝缘体层或导电金属层上均匀覆盖或涂敷一种包括聚合物树脂，感光化合物与溶剂的光阻组合物，覆盖或涂敷的基板经温焙以蒸发溶剂，温焙过的基板选择地曝露于某些型式的辐射如紫外线，电子或X-射线，随后基板经显影产生所预期图案，显影的基板再以蚀刻脱除绝缘体层或导电金属层，并移去余留的光阻剂层以完成微小图案移转于基板表面上，而光阻剂在生产过程中，搅拌均匀混合的步骤尤为重要。但是现有的混合装置搅拌不均匀，液体从同一位置进入到混合箱内，分散到混合箱内的各个位置需要一定的时间，导致混合效率较慢，且物料易残留在混合箱箱内，造成浪费。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了解决现有技术中混合装置的混合效率较慢和物料易残留在混合箱箱内的问题，而提出的一种水性蚀刻光阻剂用混合装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种水性蚀刻光阻剂用混合装置，包括混料箱，所述混料箱内设有隔板，所述混料箱上端连通有输液管，所述输液管的下端依次穿过混料箱箱壁和隔板并向下延伸，且其管壁上固定套接有中空结构的散料圆盘，所述散料圆盘下侧壁上均匀等距的开设有若干个散料孔，位于所述隔板上方输液管管壁上固定套接有第一锥齿轮，所述混料箱箱壁上通过两个第一轴承对称转动连接有蜗杆，两个所述蜗杆相向的一端对称固定套接有第二锥齿轮，两个所述第二锥齿轮均与第一锥齿轮相啮合，所述混料箱的箱壁上安装有电机，所述电机的输出端通过联轴器与其中一个蜗杆连接，所述混料箱的箱底通过两个第二轴承对称转动连接有搅拌杆，所述搅拌杆的上端穿过隔板并向上延伸，且其杆壁上固定套接有蜗轮，所述蜗轮与对应的蜗杆相啮合，所述搅拌杆杆壁上均匀等距的对称固定连接有若干个搅拌叶片。

优选的，所述混料箱的箱底为漏斗状，所述混料箱箱底开设有漏斗槽，所述漏斗槽槽底连通有排料管，所述排料管的下端穿过混料箱箱底并向下延伸，且其管壁上安装有第一阀门。

优选的，所述混料箱箱底的四角处均固定连接有支撑腿，所述支撑腿的底部固定连接有橡胶垫。

优选的，所述散料圆盘的底部中心位置处固定连接有转杆，所述转杆的杆壁上均匀等距的对称固定连接有若干个搅拌桨，所述搅拌桨与搅拌叶片交错设置。

优选的，所述混料箱远离电机的箱壁上连通有进料管，所述进料管的管壁上安装有第二阀门。

优选的，所述输液管远离混料箱的一端连通有进料斗。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种水性蚀刻光阻剂用混合装置，具备以下有益效果：

1、该水性蚀刻光阻剂用混合装置，通过设置混料箱、隔板、输液管、散料圆盘、散料孔、第一锥齿轮、蜗杆、第二锥齿轮、电机、搅拌杆、蜗轮和搅拌叶片,启动电机，带动蜗杆转动，使得第一锥齿轮和第二锥齿轮转动，且两个第二锥齿轮的转动方向相反，由于蜗杆与蜗轮相啮合，蜗轮转动带动搅拌杆转动，搅拌杆转动带动搅拌叶片旋转，两个搅拌杆的旋转方向不同，同时，液体物料从输液管进入到散料圆盘内，散料圆盘转动，由于离心力的作用，液体物料快速从散料孔甩出，分散到混料箱内的各个位置，使得混合箱内的物料快速均匀的混合，提高了混合效率。

2、该水性蚀刻光阻剂用混合装置，通过设置混料箱、漏斗槽和排料管，混合完成后，打开第一阀门，由于混料箱的底部为漏斗状，物料易进入到漏斗槽内，物料再通过排料管排出混料箱箱外，便于混料箱内的物料排出，避免物料残留在混合箱箱内而造成浪费。

该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本实用新型使得混合箱内的物料快速均匀的混合，提高了混合效率，便于混料箱内的物料排出，避免物料残留在混合箱箱内而造成浪费。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种水性蚀刻光阻剂用混合装置的结构示意图；

图2为图1中A部分的放大图。

图中：1混料箱、2隔板、3输液管、4散料圆盘、5散料孔、6第一锥齿轮、7蜗杆、8第二锥齿轮、9电机、10搅拌杆、11蜗轮、12搅拌叶片、13漏斗槽、14排料管、15支撑腿、16转杆、17搅拌桨、18进料管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

参照图1-2，一种水性蚀刻光阻剂用混合装置，包括混料箱1，混料箱1内设有隔板2，混料箱1上端连通有输液管3，输液管3的下端依次穿过混料箱1箱壁和隔板2并向下延伸，且其管壁上固定套接有中空结构的散料圆盘4，散料圆盘4下侧壁上均匀等距的开设有若干个散料孔5，位于隔板2上方输液管3管壁上固定套接有第一锥齿轮6，混料箱1箱壁上通过两个第一轴承对称转动连接有蜗杆7，两个蜗杆7相向的一端对称固定套接有第二锥齿轮8，两个第二锥齿轮8均与第一锥齿轮6相啮合，混料箱1的箱壁上安装有电机9，电机9的输出端通过联轴器与其中一个蜗杆7连接，混料箱1的箱底通过两个第二轴承对称转动连接有搅拌杆10，搅拌杆10的上端穿过隔板2并向上延伸，且其杆壁上固定套接有蜗轮11，蜗轮11与对应的蜗杆7相啮合，搅拌杆10杆壁上均匀等距的对称固定连接有若干个搅拌叶片12，启动电机9，带动蜗杆7转动，使得第一锥齿轮6和第二锥齿轮8转动，且两个第二锥齿轮8的转动方向相反，由于蜗杆7与蜗轮11相啮合，蜗轮11转动带动搅拌杆10转动，搅拌杆10转动带动搅拌叶片12旋转，两个搅拌杆10的旋转方向不同，同时，液体物料从输液管3进入到散料圆盘4内，散料圆盘4转动，由于离心力的作用，液体物料快速从散料孔5甩出，分散到混料箱1内的各个位置，使得混合箱1内的物料快速均匀的混合，提高了混合效率。

混料箱1的箱底为漏斗状，混料箱1箱底开设有漏斗槽13，漏斗槽13槽底连通有排料管14，排料管14的下端穿过混料箱1箱底并向下延伸，且其管壁上安装有第一阀门，混合完成后，打开第一阀门，由于混料箱1的底部为漏斗状，物料易进入到漏斗槽13内，物料再通过排料管14排出混料箱1箱外，便于混料箱1物料的排出，避免物料残留在混合箱1箱内而造成浪费。

混料箱1箱底的四角处均固定连接有支撑腿15，支撑腿15的底部固定连接有橡胶垫，便于适应地面的凹陷程度。

散料圆盘4的底部中心位置处固定连接有转杆16，转杆16的杆壁上均匀等距的对称固定连接有若干个搅拌桨17，搅拌桨17与搅拌叶片12交错设置，使得搅拌的更加均匀。

混料箱1远离电机9的箱壁上连通有进料管18，进料管18的管壁上安装有第二阀门，便于混料箱1的加料。

输液管3远离混料箱1的一端连通有进料斗，便于液体物料进入到输液管3内。

本实用新型中，启动电机9，带动蜗杆7转动，使得第一锥齿轮6和第二锥齿轮8转动，且两个第二锥齿轮8的转动方向相反，由于蜗杆7与蜗轮11相啮合，蜗轮11转动带动搅拌杆10转动，搅拌杆10转动带动搅拌叶片12旋转，两个搅拌杆10的旋转方向不同，同时，液体物料从输液管3进入到散料圆盘4内，散料圆盘4转动，由于离心力的作用，液体物料快速从散料孔5甩出，分散到混料箱1内的各个位置，使得混合箱1内的物料快速均匀的混合，提高了混合效率，混合完成后，打开第一阀门，由于混料箱1的底部为漏斗状，物料易进入到漏斗槽13内，物料再通过排料管14排出混料箱1箱外，便于混料箱1物料的排出，避免物料残留在混合箱1箱内而造成浪费。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。