可填充式板型过滤器的制作方法

文档序号:23190962发布日期:2020-12-04 15:44阅读:104来源:国知局
可填充式板型过滤器的制作方法

本实用新型涉及可填充式板型过滤器,尤指应用于电子制造业的无尘室的板型过滤结构,可在其内部装填各种吸附剂以利于依需求加以抽换使用的吸附式过滤装置,并可视空间需求以活动堆迭组设多种过滤效能。



背景技术:

在半导体制程中,为了维持制程合格率,通常需于外气空调箱及气流循环区加装过滤网装置,以降低外部空气或无尘室内空气的微污染物质(amc:airbornemolecularcontamination),像是含硫物质、酸性物质、碱性的物质、含低沸点的挥发性有机化合物(vocs:volatileorganiccompounds)或是含高沸点的挥发性有机化合物(vocs)等。

像这种用于无尘室、空调设备、燃气涡轮机或是蒸汽涡轮机的进气口所加装的过滤网装置,主要系将装填有多种过滤滤材的复数个板型过滤器单元,分别装设进可支持该复数个板型过滤器单元的容置体内,让上述气体逐层经过各个过滤器单元,来实现空气过滤的目的;其中,过滤材料可吸附化学废气,像是酸性物质、碱性物质、挥发性有机化合物(volatileorganiccompounds,vocs)等等。

然而,现有的板型过滤器因其结构设计具固定的尺寸,且在使用过程该化学废气通过过滤器的部位,常较集中于板体接近中央处,因此使用一段时日后,过滤材料吸附的化学物质,容易让过滤器中央因承载较大重量而逐渐凹陷,该凹陷情况将使板体内的过滤材料更集中到过滤器之中央,而造成过滤材料分布不均匀,而影响过滤的效果。



技术实现要素:

因此,本案的实用新型设计人有鉴于上述仍具有诸多的缺点,即极力加以研究实用新型,并在此前研发成功中国台湾专利申请第101217804号「填充式化学过滤器」加以改善,惟仍有不织布等薄层式过滤材与过滤器板体内面间容易产生间隙,使内部过滤材料容易由此间隙掉出的缺失,有待改进。

为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是:

一种可填充式板型过滤器,其特征在于,包括:

至少二盒体框,具有一开口,内部形成一容置空间,能够装填过滤材料,盒体框之间的该容置空间内设置有复数个连接单元,该盒体框的进排气侧面形成有网状结构;

薄层式过滤材,分别装设在盒体框进排气侧面的内面,并对应该复数个连接单元而形成复数个孔;该孔的直径小于或等于该连接单元与接近该盒体框进排气侧内面的基部的外径,且该孔全周包围套合在该连接单元基部的外围;

一盖体,盖住该开口。

所述的可填充式板型过滤器,其中:该孔的直径大于或等于该连接单元的末端的外径。

所述的可填充式板型过滤器,其中,该盒体框的网状结构的网目形状为圆形、椭圆形、正方形、长方形、菱形、三角形及其他多边形之中的一种或组合。

所述的可填充式板型过滤器,其中,盒体框的连接单元为圆形、椭圆形、正方形、长方形、菱形、三角形及其他多边形断面的柱状体或锥状体。

所述的可填充式板型过滤器,其中,该盒体框分为一上框及一下框,该上框及该下框之间凭借该复数个连接单元连接在一起。

本实用新型的优点在于提供一种可填充式板型过滤器,该过滤器的内部的进排气侧面之间,设具有连接单元且分别在该进排气侧的内面贴设有薄层式过滤材,所述的这些连接单元设置在不贴靠过滤器内部角落及边缘;如此,可以让所述的这些连接单元均能受到该薄层式过滤材,以挖设有全周孔的方式予以套结,如此即可让该薄层式过滤材的每一部位均受到各连接单元的有效固定,不会因上述盒体的变形而拉引该薄层式过滤材异位产生间隙及内部过滤材料外漏的情况。

本实用新型的再一优点在于本实用新型特别设成可在内部装填过滤材料的板型盒体,该板型盒体由至少两侧盒体框组合而成,其一侧边具有一开口,内部形成一容置空间,可装填过滤材料,上述的复数个连接单元分别以设在该盒体框内面之间,且两两相对形成搭接在该容置空间内,另外,在该单体框的二面系还形成网状结构;至少二薄层式过滤材(如不织布或如中国台湾专利申请第96210100号的「超高效能滤网结构」,分别贴靠地装设在该盒体框的进排气侧的内面,并对应各该连接单元而形成复数个孔;该开口可由一盖体加以封盖;且各连接单元在接近邻接所述的这些盒体框内面处的基部直径设成略大于该各孔的直径,使得该薄层式过滤材可凭借所述的这些孔对各该基部的紧密套合,而稳固贴合在各盒体框的内面,不易受内部过滤材料的重压而异,进而可避免上述薄层式滤材与盒体框之间之间隙产生,以确保内部过滤材不致泄漏到盒体外表。

本实用新型的又一优点在于上述盒体框的内面连接单元结构,其断面形状可为:圆形、椭圆形、正方形、长方形、菱形、三角形及其他多边形柱状体或锥状体,该锥状体可为直径由基部往末端渐缩的型态;该盒体框与连接单元是以塑胶射出成型或金属加工形成,贴附于盒体框内面的薄层式过滤材的孔能让连接单元的末端通过,并压送该薄层式过滤材贴附于盒体框内面,所述的这些孔的孔径至少需小于该连接单元的基部的直径,使得所述的这些孔在套入各连接单元的末端,且装设在该盒体框内时,可凭借该基部与孔的紧密套合,贴附在该盒体框的内面,不致上下、左右及前后滑动,相对也可保证该薄层式过滤材不会在盒体框内面间产生异位,以避免产生间隙而泄漏内部的过滤材料。

附图说明

图1是传统填充式过滤器的俯视图;

图2是图1所示填充式过滤器的剖面示意图;

图3是本实用新型的立体示意图;

图4是本实用新型的立体分解图;

图5是本实用新型的俯视图;

图6是本实用新型的剖面示意图。

附图标记说明:10-盒体;11-盒体框;111-开口;112-容置空间;1120-进排气侧的内面;113-连接单元;1130-基部;1131-末端;114-网状结构;1140-网目;115-上框;116-下框;117-固定元件(螺丝);12-薄层式过滤材;121-孔;13-盖体;20-过滤材料。

具体实施方式

为了能够更详细地描述本实用新型的结构与功能,以下即配合图式,进一步说明。

请参考图1及图2,分别系传统填充式化学过滤器结构示意图,其中,填充式化学过滤器的盒体10中,可装填过滤材料20,并包括:一盒体框11,其一侧边具有一开口(111),内部形成一容置空间112,可装填过滤材料20,并设置有连接单元113在该容置空间112内,另外,在该盒体框11的二面系还形成网状结构114;二薄层式过滤材12,分别装设在盒体框11内部的二进排气侧的内面1120,并对应该复数个连接单元113而形成复数个孔121;及一盖体(13),盖住该开口(111);如此,气体可从该盒体框11的进气侧穿过薄层式过滤材12到该容置空间112内,然后,过滤材料20在吸附气体中的分子微污染物质后,气体再穿越另一薄层式过滤材12,及盒体框11的排气侧穿出,达到气体过滤的效果。

薄层式过滤材12过滤与防止过滤材料的粉尘、颗粒从网状结构114的网目1140间的掉出的功能,且进一步排气侧的薄层过滤材可选用更高密度者达到额外过滤气体的粉尘的功能,因此,此结构可依气体洁净度的要求选用不同捕捉粉尘效能的薄层式过滤材,也可选用特殊功能性纤维,达到特殊的过滤气体的目的。然而,所述的这些连接单元113被设置在邻接盒体框11的边缘位置,因此,所述的这些薄层式过滤材12的孔121,对该连接单元113形成非全周式(及局部缺口)的半围套组合,如此,当该薄层式过滤材12受到内部过滤材料20推压时,即可能产生异位,而显露出上述网目1140,造成内部过滤材料20的泄漏。

因此本实用新型(请参图3至图6)的主要与上述传统者不同特征,系在于薄层式过滤材12的孔121,需至少能让连接单元113的末端通过,使薄层式过滤材12被推压而贴附于盒体框11的进排气侧的内面,该连接单元113的设置均位在不邻靠盒体框11内部边缘的位置,且该孔121的孔径系小于或等于该连接单元113接近该进排气侧内面的基部1130外径,使得该孔121套入该连接单元113的基部1130时,不仅可让薄层式过滤材12贴附在该盒体框11的进排气侧的内面,由于该基部1130受到各孔121的全周紧密套结,该薄层式过滤材12可以因该孔121极稳固地束紧在基部1130上,而不会有松脱料落的情形,薄层式过滤材12与进排气侧的内面之间,或孔121与连接单元113之间,均可避免产生可能掉落内部过滤材材料之间隙;再者,该盒体框11的网状结构的网目,可为至少单一形状或各形状的组合:圆形、椭圆形、正方形、长方形、菱形、三角形及其他多边形;而连接单元113的断面又可为下列形状的组合:圆形、椭圆形、正方形、长方形、菱形、三角形及其他多边形。

另外,请参考图2,该盒体框11可分为一上框115及一下框116,该上框115及该下框116凭借该复数个连接单元113连接在一起;该上框115的连接单元113可与该下框116的连接单元113相对应搭接,然后再以固定元件(螺丝)117自该盒体框11的外部穿越该连接单元113,将上框115及下框116组合在一起。

请参考图4至图6,本实用新型的各连接单元设置于盒体框位置的示意图及剖面图;该复数个连接单元113可设置在该盒体框11接近但不邻靠四个角落及各边缘的该盒体框11内面之中;如此,可均匀的将该盒体框11的支撑能力分布,避免因承载内部过滤材料的重量而产生局部凹陷,造成过滤材料不均匀的问题。

为了让本实用新型便于实施,本实用新型设计人再详细介绍本实用新型的实施例,本实用新型充填于盒体框11内的过滤材料20可包括各式吸附剂;而由于该薄层式过滤材12的孔121的直径系小于或等于该连接单元113基部1130的外径,孔121的直径又可等于或大于该连接单元113的末端1131的外径,因此该孔121可容易地套入连接单元113的末端1131,又可具相当束缚力量地套结于连接单元113的基部1130,更可稳定地固定在盒体框11的进排气侧的内面,甚至在更高气体粉尘洁净度要求下,可在不织布的四个边缘涂布一条状微量热熔胶涂层,使不织布更紧密粘合单体框的内面。

本实用新型的吸附材料所能过滤的微污染物可包括:h2s、sox、nox、hcl、cl2、dmso(dimethylsulfoxide),(ch3)2so)、dms(dimethyelsulfide,(ch3)2s)等属于酸性的物质:碱性物质的部份则包括:hn3、mea(monoethanolamine,nh2c2h4oh)等;此外含低沸点的挥发性有机化合物(volatileorganiccompounds,vocs)、ipa(isopropylalcohol,c3h7oh)、丙酮等,或是含高沸点的挥发性有机化合物(volatileorganiccompounds,vocs)等,都可被本实用新型的吸附材料过滤。

上述已经完整且清楚地揭示本实用新型可填充式过滤器的结构,并由上述可知,本实用新型的连接单元设置在该盒体框不邻靠的四个角落、边缘的盒体框内部;如此,均匀了二该盒体框间相互支撑力的分布,避免局部承载重量能量的不足而产生局部凹陷的缺失。

以上说明对本实用新型而言只是说明性的,而非限制性的,本领域普通技术人员理解,在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下,可作出许多修改、变化或等效,但都将落入本实用新型的保护范围之内。

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