碳化硅高温氧化高效出料装置的制作方法

文档序号:20563259发布日期:2020-04-28 21:54阅读:216来源:国知局
碳化硅高温氧化高效出料装置的制作方法

本实用新型涉及高温氧化的技术领域,具体涉及一种碳化硅高温氧化高效出料装置。



背景技术:

碳化硅由于硬度高且耐热性和耐磨性优异而被用作研磨剂,此外,由于刚性高且导热率高,因此在能量领域和航空宇宙领域中,作为代替金属等的材料,例如轴承和机械密封、半导体制造装置用部件来使用。碳化硅进一步具有作为半导体的性质,其单晶被用于功率器件等,是受人关注的材料。

现有技术中碳化硅高温氧化出料时,由于碳化硅粉碎不彻底,且氧化后温度变化大,都严重降低了碳化硅高温氧化的效率和质量。



技术实现要素:

本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术的不足而提供一种能够提高碳化硅高温氧化出料效率的装置。

解决上述技术问题,本实用新型采取如下技术方案:

一种碳化硅高温氧化高效出料装置,包括处理箱,处理箱内设有处理腔,处理箱的上端安装有进料管,进料管上设有进料阀,处理箱的一侧设有第一支架,第一支架上安装有电机,电机靠近处理箱的一侧设有插入处理腔内的转轴,处理箱的下端安装有安装底座,处理箱的一侧安装有第二支架,第二支架上安装有锂电池,锂电池靠近处理箱的一侧安装有插入处理腔内的绝缘轴,绝缘轴内设有与锂电池电连接的导电线,绝缘轴在处理腔内安装有与导电线电连接的加热杆,加热杆与绝缘安装盘之间安装有绝缘安装套,处理箱的一侧设有与处理腔连通的出料管,出料管上设有出料阀。

本实用新型实施例转轴在处理腔内安装有转盘,转盘远离转轴的一侧安装有多个搅拌杆。

本实用新型实施例加热杆包括绝缘研磨轴套、第一加热电阻丝和第二加热电阻丝,第一加热电阻丝和第二加热电阻丝安装在绝缘研磨轴套内,第二加热电阻丝与导电线电连接,第一加热电阻丝安装在第二加热电阻丝远离导电线的一端。

本实用新型实施例第一加热电阻丝的电阻比第二加热电阻丝的电阻小。

本实用新型实施例搅拌杆的外周设有多个研磨凸起。

本实用新型实施例研磨凸起与绝缘研磨轴套之间的间距为m1,0<m1≤2cm。

本实用新型实施例相邻搅拌杆之间的间距为m2,0<m2≤5cm。

本实用新型的有益效果为:碳化硅由进料管进入到处理箱内,然后关闭进料阀和出料阀,由电机驱动转轴带动转轴对处理箱内的碳化硅进行搅拌,使得处理箱内的碳化硅混合更均匀,然后由锂电池经过导电线实现对加热杆供电,由加热杆实现对处理箱内的碳化硅进行加热处理,如此实现由出料管排出的物料保持在一个比较高的温度,避免温差过大导致碳化硅高温氧化质量降低,另外保证了氧化的彻底和均匀,有效提高了碳化硅高温氧化出料的效率,避免碳化硅不完全氧化导致的出料受阻。

本实用新型的其他特点和优点将会在下面的具体实施方式、附图中详细的揭露。

附图说明

图1是本实用新型所述碳化硅高温氧化高效出料装置的结构示意图;

图2是本实用新型所述碳化硅高温氧化高效出料装置中处理箱的剖视图;

图3是图2中a处的局部放大示意图。

图中各附图标记为:

1、处理箱;2、进料管;3、进料阀;4、电机;5、第一支架;6、转轴;7、密封轴套;8、安装底座;9、绝缘轴;10、第二支架;11、锂电池;12、出料管;13、出料阀;14、处理腔;15、转盘;16、搅拌杆;17、研磨凸起;18、绝缘安装盘;19、绝缘安装套;20、加热杆;21、导电线;2001、绝缘研磨轴套;2002、第一加热电阻丝;2003、第二加热电阻丝。

具体实施方式

下面结合本实用新型实施例的附图对本实用新型实施例的技术方案进行解释和说明,但下述实施例仅为本实用新型的优选实施例,并非全部。基于实施方式中的实施例,本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其他实施例,都属于本实用新型的保护范围。

在下文描述中,出现诸如术语“内”、“外”、“上”、“下”、“左”、“右”等指示方位或者位置关系仅是为了方便描述实施例和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或者元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。

参照图1-3所示,本实用新型实施例提出的一种碳化硅高温氧化高效出料装置,包括处理箱1,处理箱1内设有处理腔14,处理箱1的上端安装有进料管2,进料管2上设有进料阀3,处理箱1的一侧设有第一支架5,第一支架5上安装有电机4,电机4靠近处理箱1的一侧设有插入处理腔14内的转轴6,处理箱1的下端安装有安装底座8,处理箱1的一侧安装有第二支架10,第二支架10上安装有锂电池11,锂电池11靠近处理箱1的一侧安装有插入处理腔14内的绝缘轴9,绝缘轴9内设有与锂电池11电连接的导电线21,绝缘轴9在处理腔14内安装有与导电线21电连接的加热杆20,加热杆20与绝缘安装盘18之间安装有绝缘安装套19,处理箱1的一侧设有与处理腔14连通的出料管12,出料管12上设有出料阀13。

工作原理:碳化硅由进料管2进入到处理箱1内,然后关闭进料阀2和出料阀13,由电机4驱动转轴6带动转轴6对处理箱1内的碳化硅进行搅拌,使得处理箱1内的碳化硅混合更均匀,然后由锂电池11经过导电线21实现对加热杆20供电,由加热杆20实现对处理箱1内的碳化硅进行加热处理,如此实现由出料管12排出的物料保持在一个比较高的温度,避免温差过大导致碳化硅高温氧化质量降低,另外保证了氧化的彻底和均匀,有效提高了碳化硅高温氧化出料的效率,避免碳化硅不完全氧化导致的出料受阻。

在本实施例中,转轴6在处理腔14内安装有转盘15,转盘15远离转轴6的一侧安装有多个搅拌杆16。利用搅拌杆16进一步提高处理箱1内的物料混合更均匀,提高了碳化硅出料的质量。

在本实施例中,加热杆20包括绝缘研磨轴套2001、第一加热电阻丝2002和第二加热电阻丝2003,第一加热电阻丝2002和第二加热电阻丝2003安装在绝缘研磨轴套2001内,第二加热电阻丝2003与导电线21电连接,第一加热电阻丝2002安装在第二加热电阻丝2003远离导电线21的一端,第一加热电阻丝2002的电阻比第二加热电阻丝2003的电阻小。通过第一加热电阻丝2002和第二电阻丝2003实现不同温度段的加热处理,有效提高了高温氧化出料时,碳化硅可以获得不同温度的加热处理,不仅降低了能耗,且能够获得比较好的出料加热处理效果,保证出料的碳化硅物料具有比较高的温度,提高了碳化硅出料的质量。

在本实施例中,搅拌杆16的外周设有多个研磨凸起17。研磨凸起17可以实现对碳化硅物料进一步的研磨作用,提高碳化硅出料的效率以及出料时的颗粒度更加细小,有效提高了碳化硅出料的效率。

在本实施例中,研磨凸起17与绝缘研磨轴套2001之间的间距为m1,0<m1≤2cm。具体到本实施例中,m2为1cm,既能够保证碳化硅正常的传输,由进一步细化了碳化硅颗粒,提高了出料的效率和质量。

在本实施例中,相邻搅拌杆16之间的间距为m2,0<m2≤5cm。具体到本实施例中,m2位2.5cm,如此设置,可以保证碳化硅出料时不受搅拌杆16旋转的影响,提高了出料的效率。

可以理解的,m1还可以为0.1cm,0.2cm,0.3cm,0.4cm,0.5cm,0.6cm,0.7cm,0.8cm,0.9cm,1.1cm,1.2cm,1.3cm,1.4cm,1.5cm,1.6cm,1.7cm,1.8cm,1.9cm,2.0cm等。

可以理解的,m2还可以为0.1cm,0.2cm,0.3cm,0.4cm,0.5cm,0.6cm,0.7cm,0.8cm,0.9cm,1.1cm,1.2cm,1.3cm,1.4cm,1.5cm,1.6cm,1.7cm,1.8cm,1.9cm,2.0cm,2.1cm,2.2cm,2.3cm,2.4cm,2.6cm,2.7cm,2.8cm,2.9cm,3.0cm,3.1cm,3.2cm,3.3cm,3.4cm,3.5cm,3.6cm,3.7cm,3.8cm,3.9cm,4.0cm,4.1cm,4.2cm,4.3cm,4.4cm,4.5cm,4.6cm,4.7cm,4.8cm,4.9cm,5.0cm等。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例,并非因此即限制本实用新型的专利保护范围,凡是运用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换,直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本实用新型的保护范围内。

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