一种嵌入式电力双头热板炉的制作方法

文档序号:22265426发布日期:2020-09-18 18:28阅读:117来源:国知局
一种嵌入式电力双头热板炉的制作方法

本实用新型是一种嵌入式电力双头热板炉,属于热板炉技术领域。



背景技术:

热板炉主要用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤,方式为接触式烘烤晶片。机台由加热板、加热器、温控仪、热电偶、时间继电器等组成,系统通过闭环自动反馈控制系统,通过pid调节,得到最佳温度控制精度,嵌入式电力双头热板炉是热板炉的一种。

现有技术中,现有的嵌入式电力双头热板炉在使用时,不便于对电热板进行安装固定,连接处容易松动,影响使用者使用,现在急需一种嵌入式电力双头热板炉来解决上述出现的问题。



技术实现要素:

针对现有技术存在的不足,本实用新型目的是提供一种嵌入式电力双头热板炉,以解决上述背景技术中提出的问题,本实用新型结构合理,便于组合安装,安装便捷,使用效果好。

为了实现上述目的,本实用新型是通过如下的技术方案来实现:一种嵌入式电力双头热板炉,包括导热板、热板炉主体、便于安装机构、支撑腿、调节旋钮以及电热板,所述热板炉主体上端面安装有电热板,所述电热板上端面安装有导热板,所述热板炉主体下端面安装有支撑腿,所述热板炉主体前端面安装有调节旋钮,所述热板炉主体内部设置有便于安装机构,所述便于安装机构包括耐热密封垫、导向槽、按压垫、按压杆、复位弹簧、耐高温磁铁、定位柱、方形卡块以及卡紧弹簧,所述热板炉主体与导热板连接处安装有耐热密封垫,所述热板炉主体上端面左右两侧开设有导向槽,所述导热板右端面安装有卡紧弹簧,所述卡紧弹簧右端面连接有方形卡块,所述方形卡块右端面连接有按压杆,所述热板炉主体内部吸附有耐高温磁铁,所述按压杆环形侧面套设有复位弹簧,所述复位弹簧右端面粘接有按压垫,所述导热板下端面连接有定位柱。

进一步地,所述方形卡块与导向槽相匹配,所述方形卡块设置有多组,且多组方形卡块规格相同。

进一步地,所述导热板右端面开设有卡紧槽,所述方形卡块与卡紧槽相匹配。

进一步地,所述热板炉主体右端面开设有移动槽,所述按压杆环形侧面右侧、耐高温磁铁和按压垫与移动槽相匹配,所述耐高温磁铁与热板炉主体通过磁性相吸相连接。

进一步地,所述耐高温磁铁右端面开设有通孔,所述按压杆环形侧面左侧与通孔相匹配,所述耐高温磁铁与按压杆通过磁性相吸相连接。

进一步地,所述热板炉主体上端面开设有定位孔,所述导热板下端面开设有定位孔,所述定位柱与定位孔相匹配,所述定位柱环形侧面上侧设置有倒角。

本实用新型的有益效果:本实用新型的一种嵌入式电力双头热板炉,因本实用新型添加了耐热密封垫、导向槽、按压垫、按压杆、复位弹簧、耐高温磁铁、定位柱、方形卡块以及卡紧弹簧,该设计便于对电热板进行安装固定,解决了原有嵌入式电力双头热板炉使用效果不佳的问题,提高了本实用新型的安装便捷性。

因方形卡块与导向槽相匹配,方形卡块设置有多组,且多组方形卡块规格相同,该设计便于方形卡块在导向槽内部进行上下移动,因导热板右端面开设有卡紧槽,方形卡块与卡紧槽相匹配,该设计便于方形卡块在卡紧槽内部进行左右移动,因热板炉主体右端面开设有移动槽,按压杆环形侧面右侧、耐高温磁铁和按压垫与移动槽相匹配,耐高温磁铁与热板炉主体通过磁性相吸相连接,该设计便于按压杆和按压垫在移动槽内部进行左右移动,本实用新型结构合理,便于组合安装,安装便捷,使用效果好。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述,本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显:

图1为本实用新型一种嵌入式电力双头热板炉的结构示意图;

图2为本实用新型一种嵌入式电力双头热板炉中便于安装机构的结构示意图;

图3为本实用新型一种嵌入式电力双头热板炉中a的放大图;

图4为本实用新型一种嵌入式电力双头热板炉中便于安装机构的正视剖视图;

图5为本实用新型一种嵌入式电力双头热板炉中b的放大图;

图中:1-导热板、2-热板炉主体、3-便于安装机构、4-支撑腿、5-调节旋钮、6-电热板、31-耐热密封垫、32-导向槽、33-按压垫、34-按压杆、35-复位弹簧、36-耐高温磁铁、37-定位柱、38-方形卡块、39-卡紧弹簧。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本实用新型。

请参阅图1-图5,本实用新型提供一种技术方案:一种嵌入式电力双头热板炉,包括导热板1、热板炉主体2、便于安装机构3、支撑腿4、调节旋钮5以及电热板6,热板炉主体2上端面安装有电热板6,电热板6上端面安装有导热板1,热板炉主体2下端面安装有支撑腿4,热板炉主体2前端面安装有调节旋钮5,热板炉主体2内部设置有便于安装机构3。

便于安装机构3包括耐热密封垫31、导向槽32、按压垫33、按压杆34、复位弹簧35、耐高温磁铁36、定位柱37、方形卡块38以及卡紧弹簧39,热板炉主体2与导热板1连接处安装有耐热密封垫31,热板炉主体2上端面左右两侧开设有导向槽32,导热板1右端面安装有卡紧弹簧39,卡紧弹簧39右端面连接有方形卡块38,方形卡块38右端面连接有按压杆34,热板炉主体2内部吸附有耐高温磁铁36,按压杆34环形侧面套设有复位弹簧35,复位弹簧35右端面粘接有按压垫33,导热板1下端面连接有定位柱37,该设计解决了原有嵌入式电力双头热板炉使用效果不佳的问题。

方形卡块38与导向槽32相匹配,方形卡块38设置有多组,且多组方形卡块38规格相同,该设计便于方形卡块38在导向槽32内部进行上下移动,导热板1右端面开设有卡紧槽,方形卡块38与卡紧槽相匹配,该设计便于方形卡块38在卡紧槽内部进行左右移动,热板炉主体2右端面开设有移动槽,按压杆34环形侧面右侧、耐高温磁铁36和按压垫33与移动槽相匹配,耐高温磁铁36与热板炉主体2通过磁性相吸相连接,该设计便于按压杆34和按压垫33在移动槽内部进行左右移动。

耐高温磁铁36右端面开设有通孔,按压杆34环形侧面左侧与通孔相匹配,耐高温磁铁36与按压杆34通过磁性相吸相连接,该设计便于按压杆34在通孔内部进行左右移动,以及通过磁性相吸相连接防止按压杆34脱离热板炉主体2内部,热板炉主体2上端面开设有定位孔,导热板1下端面开设有定位孔,定位柱37与定位孔相匹配,定位柱37环形侧面上侧设置有倒角,该设计在导热板1和热板炉主体2连接时起到定位作用。

作为本实用新型的一个实施例:当需要对电热板6进行安装时,工作人员通过向左侧对方形卡块38施力,方形卡块38缩入导热板1内部,此时卡紧弹簧39收缩,然后将方形卡块38顺着导向槽32放入热板炉主体2内部,向下对电热板6施力,当电热板6下端面与热板炉主体2上端面贴合时,定位柱37起到定位和防晃动的作用,此时卡紧弹簧39回弹使方形卡块38插入热板炉主体2内部,从而对导热板1起到固定作用,对电热板6进行安装固定。

当需要进行拆卸时,向左侧对按压垫33施力,从而带动按压杆34推动方形卡块38向左侧运动,当方形卡块38脱离热板炉主体2内部时,对导热板1向上施力,起到了便于拆卸的作用,提高了本实用新型的实用性。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

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