一种用于基片定位且能够防止飞片的旋涂设备的制作方法

本实用新型涉及纳米压印技术领域，具体为一种用于基片定位且能够防止飞片的旋涂设备。

背景技术：

纳米压印技术通过机械转移的手段达到了超高的分辨率，是一种新型的微纳加工技术，纳米压印的基本步骤包括在基片上涂覆胶液，压印，固化，分离等，压印胶的涂覆方式有旋涂、滴胶、滚涂、喷雾等方式，其中旋涂最为常见，旋涂原理即在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液，旋转速度，旋转时间和基片间的粘滞系数而不同，在旋涂开始之前，基片放置在吸盘中心，需将基片的中心和吸盘的中心同轴并形成有效固定，这样才能保证高速旋转时基片的稳定性，基片发生偏移，与真空吸盘轴心不齐，将会导致旋涂时基片呈时高时低的颠簸状态，无法得到好的旋涂效果，影响基片在高速旋转时的稳定性，进而影响胶层的厚度的一致性和均匀性，有的基片甚至会在旋转的过程中向外飞出，导致基片破裂，增加生产成本。

中国专利《匀胶机吸盘》(cn110238000a)提供了一种匀胶机吸盘，其结构包括：吸纳部和支撑连接部，吸纳部上设有多个相连通的吸附气道，吸附气道包括多个第一气道和多个第二气道，多个第一气道沿吸纳部的径向间隔设置，多个第二气道分别连通多个第一气道，第二气道与抽气口连接，但是，如果发生与抽气孔相连接的气管松动等现象，由于所有的气道相互连接，将导致所有吸纳部的吸附力降低，导致基片在旋转的过程中向外飞出的后果，另外，涂覆完胶体后，人工手动移动基片，会出现剐蹭基片边缘胶体等失误，为解决上述问题，我们提出一种用于基片定位且能够防止飞片的旋涂设备。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种用于基片定位且能够防止飞片的旋涂设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于基片定位且能够防止飞片的旋涂设备，包括真空吸盘、驱动装置、圆心定位托盘、托盘支架和基片，所述真空吸盘装配于驱动装置上，所述真空吸盘插接装配于圆心定位托盘上，所述圆心定位托盘装配于托盘支架上；

所述真空吸盘包括真空吸盘平面上层板和真空吸盘平面下层板，且真空吸盘平面上层板一体成型于真空吸盘平面下层板的上表面，所述真空吸盘平面上层板的上侧壁固定装配有气道组。所述真空吸盘平面上层板的上侧壁均匀开设有真空孔，且真空孔与气道组相连通，所述真空吸盘平面下层板的下侧壁一体成型有底座，所述底座的下侧壁开设有定位卡槽；

所述驱动装置包括电机，且电机通过导线连接到外部电源，所述电机的输出端固定安装有电机轴，所述电机轴的上端固定安装有定位螺栓，且定位螺栓螺接于定位卡槽内；

所述圆心定位托盘包括定位部，所述定位部的右侧壁固定安装有手柄，所述手柄的上侧壁右侧开设有定位孔；

所述托盘支架包括支柱，所述支柱的上侧壁固定安装有平板，所述平板的上侧壁前后对称固定安装有导轨，所述导轨的上侧壁均滑动装配有滑块，所述滑块的上侧壁固定安装有滑板，所述滑块的左侧壁滑动装配有定位支柱，所述平板的上侧壁开设有通槽，且定位支柱的下端贯穿通槽。

优选的，所述气道组包括环形气道和直线型气道，所述环形气道固定安装于真空吸盘平面上层板的上侧壁，且直线型气道固定连通于环形气道之间。

优选的，所述定位部包括定位部上层和定位部下层，所述定位部上层的直径与基片的直径相同，且定位部下层的直径与真空吸盘平面上层板的直径相同。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，实用性强，真空吸盘和圆心为金属结构，在接触温度较高的基片和高压时不会变形，旋涂前使用圆心定位托盘定位圆心时，不接触基片表面，避免了污染和损坏基片，且提高了定位精度和稳定性，有利于胶层厚度的一致性和均匀性，其中气道组的结构，能够令真空吸附力分布更加均匀，且可以避免“飞片”现象的发生，旋涂完毕后，圆心定位托盘可从托盘支架上拆下，配合真空吸盘将旋涂好的基片转移进行下一步操作，避免了人工手动移动剐蹭基片边缘等失误。

附图说明

图1为本实用新型的主视图。

图2为本实用新型真空吸盘的俯视图。

图3为本实用新型真空吸盘的主视图。

图4为本实用新型圆心定位托盘的俯视图。

图5为本实用新型圆心定位托盘和基片的俯视图。

图6为本实用新型托盘支架的俯视图。

图7为本实用新型未放置基片，圆心定位托盘回到原点处的结构示意图。

图8为本实用新型未放置基片，圆心定位托盘定位真空吸盘圆心时的俯视图。

图9为本实用新型放置基片时的俯视图。

图中：1、真空吸盘，11、真空吸盘平面上层板，12、气道组，121、环形气道，122、直线型气道，13、真空吸盘平面下层板，14、真空孔，15、底座，16、定位卡槽，2、驱动装置，21、电机，22、电机轴，23、定位螺栓，3、圆心定位托盘，31、定位部，311、定位部上层，312、定位部下层，32、手柄，33、定位孔，4、托盘支架，41、支柱，42、平板，43、导轨，44、滑块，45、滑板，46、定位支柱，47、通槽，5、基片。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1、图2、图3、图4、图5、图6、图7、图8和图9，本实用新型提供一种技术方案：一种用于基片定位且能够防止飞片的旋涂设备，包括真空吸盘1、驱动装置2、圆心定位托盘3、托盘支架4和基片5，真空吸盘1和圆心定位托盘3为金属材质，接触烘烤后的基片5不易变形，所述真空吸盘1装配于驱动装置2上，所述真空吸盘1插接装配于圆心定位托盘3上，所述圆心定位托盘3装配于托盘支架4上；

所述真空吸盘1包括真空吸盘平面上层板11和真空吸盘平面下层板13，真空吸盘平面上层板11的直径小于真空吸盘平面下层板13的直径，同时小于基片5的直径，且真空吸盘平面上层板11一体成型于真空吸盘平面下层板13的上表面，所述真空吸盘平面上层板11的上侧壁固定装配有气道组12。所述真空吸盘平面上层板11的上侧壁均匀开设有真空孔14，真空孔14与外接真空泵相连通，且真空孔14与气道组12相连通，每个气道组12与相对应的真空孔14连接，令气道组12之间互不干扰，分区域进行抽气，当某一气道组12发生漏气跑气的现象时，不影响其它气道，避免发生“飞片”的现象，所述真空吸盘平面下层板13的下侧壁一体成型有底座15，底座15为空心结构，所述底座15的下侧壁开设有定位卡槽16；

所述驱动装置2包括电机21，且电机21通过导线连接到外部电源，所述电机21的输出端固定安装有电机轴22，所述电机轴22的上端固定安装有定位螺栓23，且定位螺栓23螺接于定位卡槽16内，进而实现真空吸盘1在驱动装置2上的安装；

所述圆心定位托盘3包括定位部31，所述定位部31的右侧壁固定安装有手柄32，通过手柄32处完成移动工作，避免了手动移动剐蹭模具边缘等各种人工失误，所述手柄32的上侧壁右侧开设有定位孔33；

所述托盘支架4包括支柱41，所述支柱41的上侧壁固定安装有平板42，所述平板42的上侧壁前后对称固定安装有导轨43，所述导轨43的上侧壁均滑动装配有滑块44，所述滑块44的上侧壁固定安装有滑板45，通过滑块44，令滑板45能够沿着导轨43移动，圆心定位托盘3放置在滑板45上，所述滑块44的左侧壁滑动装配有定位支柱46，定位支柱46能够在滑块44处上下移动并进行位置固定，当其向上移动后能够插入到手柄32上的定位孔33内，实现对圆心定位托盘3的位置的限定，所述平板42的上侧壁开设有通槽47，且定位支柱46的下端贯穿通槽47，定位支柱46能够在通槽47内移动，便于实现圆心定位托盘3的移动。

具体而言，所述气道组12包括环形气道121和直线型气道122，环形气道121呈同心圆均匀分布，使其对基片的吸附力更加均匀，所述环形气道121固定安装于真空吸盘平面上层板11的上侧壁，且直线型气道122固定连通于环形气道121之间。

具体而言，所述定位部31包括定位部上层311和定位部下层312，所述定位部上层311的直径与基片5的直径相同，且定位部下层312的直径与真空吸盘平面上层板11的直径相同，方便实现对真空吸盘1及基片5的圆心定位。

工作原理：此用于基片定位且能够防止飞片的旋涂设备，在旋涂前定位圆心时，首先将圆心定位托盘3的定位孔33穿过托盘支架4的定位支柱46，并令其置于滑板45上，使圆心定位托盘3安装在托盘支架4上，将基片5放置在所述真空吸盘1上，然后对圆心定位托盘3位置进行移动，令基片5的边缘处与圆心定位托盘3定位部上层311圆弧处贴合，令真空吸盘平面上层板11的边缘处与圆心定位托盘3定位部下层312圆弧处贴合，打开真空泵将基片5被吸附在真空吸盘1上，此时基片5的圆心与真空吸盘1为圆心同轴，保证高速旋转时基片的稳定性，再移动圆心定位托盘3令其复位，之后即可进行旋涂工作，旋涂结束后，将圆心定位托盘3移动至基片5的边缘处与圆心定位托盘3定位部上层311圆弧处贴合，真空吸盘平面上层板11的边缘处与圆心定位托盘3定位部下层312圆弧处贴合，将真空泵关闭，再将定位支柱46向下按至低于圆心定位托盘的定位孔33，将圆心定位托盘3和基片5一块取下即可。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。