狭缝喷嘴及包括狭缝喷嘴的药液涂覆装置的制作方法

狭缝喷嘴及包括狭缝喷嘴的药液涂覆装置
[0001]
本申请享有2019年7月30日向韩国特许厅申请的韩国专利申请第10-2019-0092389号的优先权。
技术领域
[0002]
本发明的例示性实施例涉及狭缝喷嘴及包括狭缝喷嘴的药液涂覆装置。更具体来讲，本发明的例示性实施例涉及能够向基板上均匀地吐出药液的狭缝喷嘴及包括这种狭缝喷嘴的药液涂覆装置。


背景技术：

[0003]
制造有机发光显示装置之类的显示装置时，可以执行在基板上形成所需图案的工艺。大体上可通过照片蚀刻工艺将这种所需图案形成于所述基板上。在所述照片蚀刻工艺中，向所述基板上吐出光刻胶或显影液之类的药液。
[0004]
能够利用狭缝喷嘴向所述基板上吐出所述药液。所述光刻胶或显影液之类的药液未均匀提供至整个所述基板上的情况下，在所述基板上不能形成所需图案，因此能够引起所述显示装置的不良。因此，向所述基板上吐出所述药液的过程中需要保持所述狭缝喷嘴的吐出部分的一定的间隙。为此，韩国公开专利第2006-0133783号中公开了用于调整狭缝喷嘴的间隙的技术。


技术实现要素：

[0005]
技术问题
[0006]
本发明的一个目的是提供一种能够通过保持吐出部分的一定间隙以在整个基板上均匀吐出药液的狭缝喷嘴。
[0007]
本发明的另一目的是提供一种包括这种狭缝喷嘴的药液涂覆装置。
[0008]
技术方案
[0009]
根据本发明的一个方面提供一种狭缝喷嘴。所述狭缝喷嘴可以包括具有用于药液流动的流路的本体部分、用于向所述基板上吐出通过所述本体部分的流路流动的所述药液的吐出部分及用于调整所述吐出部分的间隙的间隙调整部分。所述间隙调整部分可以包括具有从所述本体部分的一侧向所述本体部分的内部延长的第一螺纹槽部分及从所述本体部分的内部向所述吐出部分延长的第二螺纹槽部分的螺纹槽部分、位于所述第一螺纹槽部分及所述第二螺纹槽部分之间的裂缝部分、具有结合于所述第一螺纹槽部分的第一螺纹部分及第二螺纹部分的调节螺母以及具有结合于所述第二螺纹槽部分的第一连结部分、连接部分及结合于所述第二螺纹部分的第二连结部分的固定螺栓。
[0010]
在例示性实施例中，所述本体部分可以实质上对应于所述基板宽度方向的长度。
[0011]
在例示性实施例中，所述螺纹槽部分的所述第一螺纹槽部分及所述第二螺纹槽部分可以互相连通。该情况下，所述螺纹槽部分的所述第二螺纹槽部分的直径可以实质上小于所述螺纹槽部分的所述第一螺纹槽部分的直径。
[0012]
在例示性实施例中，所述裂缝部分可以延长成与所述螺纹槽部分的所述第一螺纹槽部分及所述螺纹槽部分的所述第二螺纹槽部分实质上垂直。
[0013]
在例示性实施例中，所述调节螺母的所述第二螺纹部分可具有比所述第一螺纹部分的螺距实质上小的螺距。
[0014]
在例示性实施例中，所述固定螺栓的所述连接部分能够接触于所述螺纹槽部分的所述第二螺纹槽部分的入口。
[0015]
在部分例示性实施例中，所述间隙调整部分可以向所述本体部分的长度方向配置。
[0016]
在例示性实施例中，所述固定螺栓的所述连接部分能够调整所述吐出部分的间隙。该情况下，所述固定螺栓的所述连接部分可具有比所述裂缝部分的宽度方向的长度实质上短的长度。
[0017]
在例示性实施例中，所述间隙调整部分能够利用所述调节螺母的所述第一螺纹部分的螺距及所述调节螺母的所述第二螺纹部分的螺距之间的螺距差调整所述吐出部分的间隙。
[0018]
在例示性实施例中，随着所述固定螺栓的前方移动及后方移动能够控制所述吐出部分的间隙。
[0019]
根据本发明的另一方面提供一种狭缝喷嘴。所述狭缝喷嘴可以实质上对应于基板的宽度方向的长度，包括具有用于药液流动的流路的本体部分、用于向所述基板上吐出通过所述本体部分的流路流动的所述药液的吐出部分以及用于调整所述吐出部分的间隙的多个间隙调整部分。各个所述间隙调整部分可以包括：具有从所述本体部分的一侧向所述本体部分的内侧延长的第一螺纹槽部分及从所述本体部分的内部向所述吐出部分延长，并与所述第一螺纹槽部分连通的第二螺纹槽部分的螺纹槽部分、位于所述第一螺纹槽部分及所述第二螺纹槽部分之间，延长成与所述第一螺纹槽部分及所述第二螺纹槽部分垂直的裂缝部分、具有结合于所述第一螺纹槽部分且具有第一螺距的第一螺纹部分及具有比所述第一螺距小的第二螺距的第二螺纹部分的调节螺母以及具有结合于所述第二螺纹槽部分的第一连结部分、接触于所述第二螺纹槽部分的入口的连接部分及结合于所述第二螺纹部分的第二连结部分的固定螺栓。
[0020]
在部分例示性实施例中，所述多个间隙调整部分可以沿着所述狭缝喷嘴的长度方向配置成实质上相隔一定的间隔。
[0021]
在部分例示性实施例中，各个所述间隙调整部分能够利用所述调节螺母的第一螺纹部分的第一螺距及所述调节螺母的第二螺纹部分的第二螺距之间的螺距差调整所述吐出部分的间隙。
[0022]
在例示性实施例中，随着所述固定螺栓向前方移动及后方移动能够调整所述吐出部分的间隙。
[0023]
在例示性实施例中，所述固定螺栓的所述第一连结部分可以具有比所述螺纹槽部分的所述第二螺纹槽部分的深度实质上短的长度。
[0024]
根据本发明的另一方面提供一种药液涂覆装置。所述药液涂覆装置可以包括用于浮起基板的浮起工作台、用于在所述浮起工作台上部移送所述基板的移送部件及用于向所述基板上吐出药液的狭缝喷嘴。所述狭缝喷嘴可以包括：实质上对应于所述基板宽度方向
的长度，且具有用于所述药液流动的流路的本体部分、用于向所述基板上吐出通过所述本体部分的流路流动的所述药液的吐出部分以及用于调整所述吐出部分的间隙的多个间隙调整部分。各个所述间隙调整部分可以包括从所述本体部分的一侧向所述本体部分的内侧延长的第一螺纹槽部分及从所述本体部分的内部向所述吐出部分延长，并与所述第一螺纹槽部分连通的第二螺纹槽部分的螺纹槽部分、位于所述第一螺纹槽部分及所述第二螺纹槽部分之间，延长成与所述第一螺纹槽部分及所述第二螺纹槽部分垂直的裂缝部分、具有结合于所述第一螺纹槽部分且具有第一螺距的第一螺纹部分及具有比所述第一螺距小的第二螺距的第二螺纹部分的调节螺母以及具有结合于所述第二螺纹槽部分的第一连结部分、接触于所述第二螺纹槽部分的入口的连接部分及结合于所述第二螺纹部分的第二连结部分的固定螺栓。
[0025]
在部分例示性实施例中，所述多个间隙调整部分能够沿着所述狭缝喷嘴的长度方向配置成实质上相隔一定的间隔。
[0026]
在部分例示性实施例中，各个所述间隙调整部分能够利用所述调节螺母的第一螺纹部分的第一螺距及所述调节螺母的第二螺纹部分的第二螺距之间的螺距差调整所述吐出部分的间隙。
[0027]
技术效果
[0028]
根据本发明的例示性实施例，能够利用所述狭缝喷嘴的间隙调整部分调整所述吐出部分的间隙，能够防止或最小化所述吐出部分的间隙的变形，因此所述药液能够从所述狭缝喷嘴均匀吐出至整个所述基板上。因此，能够利用所述药液涂覆装置在整个所述基板上准确形成所需细微图案，能够提高具有这种细微图案的最近的显示装置的可信度。
[0029]
但，本发明的效果不限于上述效果，可在不超出本发明的思想及领域的范围内进行多种扩张。
附图说明
[0030]
图1是用于说明本发明的例示性实施例的狭缝喷嘴的简要立体图；
[0031]
图2是用于说明包含于图1的狭缝喷嘴的间隙调整部分的扩大图1的a部分的剖面图；
[0032]
图3是用于说明包含于图2的间隙调整部分的固定螺栓的放大剖面图；
[0033]
图4是用于说明利用图2的间隙调整部分调整吐出部分的间隙时施加的荷重的放大剖面图；
[0034]
图5是用于说明利用现有的间隙调整部分调整吐出部分的间隙时施加的荷重的放大剖面图；
[0035]
图6是显示通过图4的间隙调整部分及图5的间隙调整部分产生的吐出部分的间隙的变位量的图表；
[0036]
图7是用于说明本发明的例示性实施例的药液涂覆装置的简要剖面图。
具体实施方式
[0037]
以下说明本发明的例示性实施例，但本发明可实施多种变更，可以具有多种形态，本说明书对实施例进行详细说明。但这并非旨在将本发明限定于特定的公开形态，应该理
解为包括本发明的思想及技术范围内的所有变更、等同物及替代物。在说明各附图时对类似的构成要素使用了类似的附图标记。第一、第二等术语可用于说明多种构成要素，但所述构成要素不得受限于所述术语。所述术语只是用于区分一个构成要素与其他构成要素。本申请中使用的术语只是用于说明特定实施例，目的并非限定本发明。单数的表现形式在文中无其他明确说明的情况下还包括复数的表现形式。应该将本申请中所述的“包括”、“构成”、“形成”等术语理解为存在说明书上记载的特征、数字、步骤、动作、构成要素、部件或其组合，而不应理解为预先排除一个或多个其他特征、数字、步骤、动作、构成要素、部件或其组合的存在或附加可能性。
[0038]
若无另行定义，包括技术或科学术语在内的此处使用的所有术语具有与本发明所属技术领域的普通技术人员通常理解相同的意思。通常使用的词典中定义过的术语应解释为与相关技术的文章脉络的意思相一致的意思，本申请中没有明确定义的情况下不得解释为理想或过度形式性的意思。
[0039]
以下参见附图说明本发明的例示性实施例。
[0040]
图1是用于说明本发明的例示性实施例的狭缝喷嘴的简要立体图。
[0041]
参见图1，根据例示性实施例的狭缝喷嘴100可适用于在制造有机发光显示装置之类的显示装置时用于向基板上提供药液或流体。例如，所述狭缝喷嘴100可以在执行照片蚀刻工艺以在基板上形成所需图案时，用于向所述基板上供应光刻胶之类的流体或显影液之类的药液的工艺。
[0042]
在例示性实施例中，所述狭缝喷嘴100可以包括本体部分11、吐出部分15及间隙调整部分17。
[0043]
所述流体或所述药液可以沿着作为与所述基板被移送的移送方向实质上垂直的方向的所述基板的宽度方向，以扫描方式从所述狭缝喷嘴100提供至所述基板上。因此，所述狭缝喷嘴100的本体部分11可以沿所述基板的宽度方向实质上对应于所述基板的长度。
[0044]
所述本体部分11的内部可以包括提供至所述基板上的所述流体或所述药液能够流动的流路13。该情况下，所述本体部分11的流路13可以连接于能够向所述本体部分11的内部供应所述流体或所述药液的药液供应部件(未示出)。
[0045]
在例示性实施例中，所述本体部分11可具有两个部分，例如，第一本体部分及第二本体部分相互结合的构成。在此，可利用结合部件19结合所述第一本体部分及所述第二本体部分形成所述本体部分11。例如，所述结合部件19可以包括螺钉、铆钉等。
[0046]
所述吐出部分15能够向所述基板上供应通过所述本体部分11的流路13流动的所述药液。所述吐出部分15可位于所述本体部分11的端部以实质上与所述基板面对。所述吐出部分15能够从所述本体部分11的端部吐出。例如，所述吐出部分15可以具有从所述本体部分11的端部吐出的实质上尖锐的结构使得与所述基板实质面对。
[0047]
利用所述狭缝喷嘴100向所述基板上提供所述药液的工艺中，所述药液未能均匀地吐出至整个所述基板上的情况下，所述基板上可能不会准确形成所需图案。因此，所述药液需要从所述狭缝喷嘴100沿着所述狭缝喷嘴100的长度方向均匀地吐出到整个所述基板上。为此，所述狭缝喷嘴100的间隙调整部分17能够调整所述吐出部分15的间隙。在部分例示性实施例中，所述狭缝喷嘴100可以包括能够沿着所述狭缝喷嘴100的长度方向配置成实质上相隔一定间隔的多个间隙调整部分17。该情况下，所述间隙调整部分17能够以一定的
间隔均匀地调整所述吐出部分15的间隙。
[0048]
以下，参见附图说明包含于根据例示性实施例的狭缝喷嘴100的间隙调整部分17。
[0049]
图2是为了说明包含于所述狭缝喷嘴100的间隙调整部分17而放大图1的
‘
a’部分的剖面图。图3是用于说明包含于图2的间隙调整部分17的固定螺栓35的放大剖面图。
[0050]
参见图2及图3，各个所述间隙调整部分17可以具备螺纹槽部分21、裂缝部分(cleavage portion)27、调节螺母29及所述固定螺栓35。
[0051]
所述螺纹槽部分21可以具有朝向所述吐出部分15的槽结构。在此，所述螺纹槽部分21的侧部可以形成有螺纹槽。例如，所述螺纹槽部分21可以实质上不与所述吐出部分15接触。
[0052]
所述螺纹槽部分21可以从所述本体部分11的一侧向所述本体部分11的内部延长。该情况下，所述螺纹槽部分21可以从所述本体部分11的一侧向所述本体部分11的内部倾斜。例如，所述螺纹槽部分21可以从所述本体部分11的右侧向所述本体部分11的内部以预定倾斜角延长。可选地，所述螺纹槽部分21可以从所述本体部分11的左侧向所述本体部分11的内部以所述预定倾斜角延长。
[0053]
在例示性实施例中，所述螺纹槽部分21可以包括第一螺纹槽部分23及第二螺纹槽部分25。所述第一螺纹槽部分23和所述第二螺纹槽部分25可以相互连通。
[0054]
如图2所例示，所述第一螺纹槽部分23能够从所述本体部分11的一侧向所述本体部分11的内部延长，所述第二螺纹槽部分25能够从所述本体部分11的内部朝向所述吐出部分15延长。也就是说，所述第一螺纹槽部分23能够以所述预定倾斜角从所述本体部分11的一侧向所述本体部分11的内部倾斜，所述第二螺纹槽部分25能够以所述预定倾斜角从所述本体部分11的内部向所述吐出部分15倾斜。
[0055]
所述第一螺纹槽部分23可以具有第一直径，所述第二螺纹槽部分25可以具有实质上不同于所述第一直径的第二直径。例如，所述第一螺纹槽部分23的第一直径可以实质上大于所述第二螺纹槽部分25的第二直径。即，所述螺纹槽部分21可以由从所述本体部分11的一侧向所述本体部分11的内部延长的具有相对大的第一直径的所述第一螺纹槽部分23及从所述本体部分11的内部向所述吐出部分15延长的具有相对小的第二直径的所述第二螺纹槽部分25构成。
[0056]
所述裂缝部分27可以位于所述第一螺纹槽部分23与所述第二螺纹槽部分25之间。所述裂缝部分27可以从所述本体部分11的一侧向所述本体部分11的内部延长。例如，所述裂缝部分27可以具有从所述本体部分11的一侧朝向所述本体部分11的内部的槽结构。
[0057]
在例示性实施例中，所述裂缝部分27可以沿着实质上垂直于所述螺纹槽部分21的方向延长。例如，所述螺纹槽部分21可以从所述本体部分11的左侧或右侧向所述本体部分11的内部延长，因此所述裂缝部分27可以沿着实质上垂直于所述螺纹槽部分21的方向从所述本体部分11的上侧或下侧向所述本体部分11的内部延长。因此，所述裂缝部分27能够在所述第一螺纹槽部分23及所述第二螺纹槽部分25之间沿着实质上垂直于所述第一螺纹槽部分23及所述第二螺纹槽部分25的方向延长。
[0058]
所述调节螺母29可以结合于所述第一螺纹槽部分23。在例示性实施例中，所述调节螺母29可以包括能够结合于所述第一螺纹槽部分23的第一螺纹部分31。所述调节螺母29可以具有所述固定螺栓35能够插入到其内部的结构。为此，所述调节螺母29可以包括能够
结合于所述固定螺栓35的第二螺纹部分33。在此，所述第二螺纹部分33可以具有实质上比所述第一螺纹部分31的直径小的直径。
[0059]
在例示性实施例中，所述调节螺母29的第一螺纹部分31可以具有第一螺距，所述调节螺母29的第二螺纹部分33可以具有第二螺距。在此，所述第一螺纹部分31的第一螺距可以实质上大于所述第二螺纹部分33的第二螺距。
[0060]
如图3所例示，所述固定螺栓35可以包括第一连结部分37、连接部分41及第二连结部分39。在例示性实施例中，所述固定螺栓35的第一连结部分37及第二连结部分39可以分别具有螺纹形状，相反所述固定螺栓35的连接部分41可以具有实质上平坦的表面而非螺纹形状。也就是说，所述固定螺栓35不是整体的螺纹结构，而是可以具有包括上部螺纹结构部分(所述第二连结部分39)、实质上平坦的中央部分(所述连接部分41)及下部螺纹部分(所述第一连结部分37)的结构。
[0061]
所述固定螺栓35的第一连结部分37能够结合于所述第二螺纹槽部分25，所述固定螺栓35的所述第二连结部分39能够结合于所述调节螺母29的第二螺纹部分33。在此，所述第一连结部分37可以具有与第二连结部分39实质上相同的直径，所述螺纹槽部分21的第二螺纹槽部分25可以具有与所述调节螺母29的第二螺纹部分33实质上相同的直径。
[0062]
所述固定螺栓35的第一连结部分37结合于所述第二螺纹槽部分25，且所述固定螺栓35的第二连结部分39结合于所述调节螺母29的第二螺纹部分33的情况下，所述固定螺栓35的连接部分41能够邻接于所述裂缝部分27。例如，所述连接部分41能够接触于所述第二螺纹槽部分25的入口。
[0063]
在例示性实施例中，所述第一连结部分37结合于所述第二螺纹槽部分25的情况下，所述第一连结部分37能够从所述第二螺纹槽部分25的端部相隔预定间隔。为此，所述第一连结部分37可以具有比所述第二螺纹槽部分25的深度相对短的长度。
[0064]
所述固定螺栓35的连接部分41能够接触到所述第二螺纹槽部分25的入口使得所述固定螺栓35的连接部分41能够加压所述第二螺纹槽部分25的入口。在部分例示性实施例中，所述固定螺栓35的连接部分41能够调整所述吐出部分15的间隙。并且，所述固定螺栓35的连接部分41能够位于所述裂缝部分27，且能够接触到所述第二螺纹槽部分25的入口，因此所述固定螺栓35的连接部分41可以具有比所述裂缝部分27的宽度方向的长度实质上短的长度。
[0065]
在例示性实施例中，所述间隙调整部分17能够利用差动螺栓原理调整所述吐出部分15的间隙。例如，所述间隙调整部分17能够利用所述调节螺母29的第一螺纹部分31的第一螺距及所述调节螺母29的第二螺纹部分33的第二螺距之间的螺距差调节所述吐出部分15的间隙。该情况下，所述调节螺母29旋转的过程中，随着所述固定螺栓35的细微的向前方移动及细微的向后方移动，能够准确控制所述吐出部分15的间隙。并且，所述固定螺栓35的第一连结部分37可以具有比所述第二螺纹槽部分25的深度实质上短的长度，因此将所述第一连结部分37结合于所述第二螺纹槽部分25的情况下，所述第一连结部分37能够从所述第二螺纹槽部分25的端部相隔预定间隔。
[0066]
为了调整所述吐出部分15的间隙而通过所述固定螺栓35的移动施加预定扭矩的情况下，由所述扭矩引起的荷重点(load point)能够作用于所述第二螺纹槽部分25的入口附近，而非邻接于所述第二螺纹槽部分25的端部的所述吐出部分15附近。此时，压缩力而非
拉力能够作用于所述第二螺纹槽部分25的入口附近，因此能够防止或最小化所述吐出部分15的间隙变形。
[0067]
如上所述，利用实质上以一定间隔沿着所述狭缝喷嘴100的长度方向配置的所述间隙调整部分17调整所述吐出部分15的间隙的情况下，能够防止或最小化所述吐出部分15的间隙的变形，因此能够从所述狭缝喷嘴100的吐出部分15向整个所述基板上均匀地吐出所述药液。
[0068]
图4是用于说明利用图2的间隙调整部分17调整所述吐出部分15的间隙时施加的荷重的放大剖面图。图5是用于说明利用现有的间隙调整部分51调整吐出部分的间隙时施加的荷重的放大剖面图。图6是显示通过图4的间隙调整部分17产生的吐出部分15的间隙的变位量及通过图5的间隙调整部分51产生的吐出部分的间隙的变位量的图表。在图4至图6中，确认了利用根据例示性实施例的间隙调整部分17调整所述吐出部分15的间隙时施加的荷重和利用所述现有的间隙调整部分51调整所述吐出部分的间隙时施加的荷重。
[0069]
参见图4确认到，利用根据例示性实施例的间隙调整部分17调整所述吐出部分15的间隙时施加的荷重产生于所述第二螺纹槽部分25的入口附近。
[0070]
参见图5确认到，利用所述现有的间隙调整部分51调整所述吐出部分的间隙时施加的荷重产生于邻接所述吐出部分的第二螺纹槽部分的端部附近。
[0071]
参见图6可知，曲线b表示利用根据例示性实施例的间隙调整部分17调整所述吐出部分15的间隙时的所述吐出部分15的间隙的变位量，曲线c表示利用现有的间隙调整部分51调整现有的吐出部分的间隙时的现有的吐出部分的间隙的变位量。如所述曲线b及所述曲线c所示，可见根据例示性实施例的所述吐出部分15的间隙的变位量与现有的吐出部分的间隙的变位量相比相当小。也就是说，利用根据例示性实施例的间隙调整部分17调整所述吐出部分15的间隙的情况下，如所述曲线b所示，能够防止或最小化所述吐出部分15的间隙的变形。其结果，能够从所述狭缝喷嘴100的吐出部分15向整个所述基板上均匀地供应所述药液。
[0072]
以下，参见附图说明具备根据例示性实施例的狭缝喷嘴的药液涂覆装置。
[0073]
图7是用于说明本发明的例示性实施例的药液涂覆装置的简要剖面图。
[0074]
参见图7，根据例示性实施例的药液涂覆装置700可以包括浮起工作台300、移送部件400及狭缝喷嘴100。在图7中，所述狭缝喷嘴100可以与参见图1至图3说明的狭缝喷嘴100实质上相同。
[0075]
能够在所述浮起工作台300的上部浮起基板200。例如，所述浮起工作台300能够向所述基板200的底面上提供空气，或者能够提供空气及真空。因此，所述基板200能够浮在所述浮起工作台300上部。在部分例示性实施例中，在所述基板200被移送的区域，所述浮起工作台300能够在所述基板200的底面只提供所述空气，在向所述基板200上供应药液的区域，所述浮起工作台300能够向所述基板200的底面同时提供所述空气及所述真空，因此能够精确调节所述浮起工作台300至所述基板200的距离。
[0076]
所述移送部件400能够沿着所述浮起工作台300移送在所述浮起工作台300的上部浮起的所述基板200。虽然未示出，所述移送部件400可以具备用于把持所述基板200的一侧或两侧的把持部件、用于沿着所述浮起工作台300引导所述把持部件的移动的引导部件以及用于驱动所述把持部件和所述引导部件的驱动部件。例如，所述把持部件把持所述基板
200的同时能够沿着所述引导部件移送所述基板200。
[0077]
如上所述，能够利用所述狭缝喷嘴100的间隙调整部分17调整所述吐出部分15的间隙，能够防止或最小化所述吐出部分15的间隙的变形，因此能够从所述狭缝喷嘴100向整个所述基板200上均匀地吐出所述药液。因此，能够利用所述药液涂覆装置700在整个所述基板200上准确形成所需细微图案，能够提高具备这种细微图案的oled、qled之类的最近的显示装置的可信度。
[0078]
以上说明了本发明的例示性实施例，但本技术领域的普通技术人员应理解可在不超出所附权利要求记载的本发明的思想及领域的范围内对本发明进行多种修改及变更。