一种半导体生产用自动弹出滤网的自提醒套筒的制作方法

文档序号:23895714发布日期:2021-02-09 12:13阅读:来源:国知局
技术总结
本发明涉及半导体生产技术领域,且公开了一种半导体生产用自动弹出滤网的自提醒套筒,包括套筒主体,所述套筒主体的左右两侧均固定连接有固定件,固定件的内侧固定连接有滤风管,滤风管的中部活动连接有滤网,滤网的左右两侧均固定连接有风动管,风动管的内侧活动连接有挡风板。该半导体生产用自动弹出滤网的自提醒套筒,通过气压挤压空气弹簧运动,进而使空气弹簧挤压挤压块运动,从而使连杆在活动导轨的配合下开始向顶部移动,进而使滤网被弹出,空气弹簧挤压挤压块运动,也会使催动仓内部产生气流,从而使风动球和发声机构在气流的配合下发声,进而使滤网可以自动弹出并及时提醒,进而提高了更换的工作效率。进而提高了更换的工作效率。进而提高了更换的工作效率。


技术研发人员:何文胜
受保护的技术使用者:何文胜
技术研发日:2020.11.05
技术公布日:2021/2/8

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