一种具有余热回收的环保用废气处理装置的制作方法

1.本发明是一种具有余热回收的环保用废气处理装置，属于废气处理技术领域。


背景技术：

2.废气处理柜用于处理半导体器件、材料等生长工艺设备所产生的工艺废气和副产物废气。高温燃烧室、吸收水箱和喷淋塔是废气处理柜中的主要设备，半导体器件、材料等生长工艺设备所产生的工艺废气和副产物废气在高温燃烧室内燃烧完毕后，流向喷淋塔中，吸收水箱内的吸收液喷淋在喷淋塔中，从而起到吸收固态颗粒以及液态气体，但固态颗粒容易附着在高温燃烧室、吸收水箱和喷淋塔三者相连的管道内壁上，长时间积聚容易导致管道通风横截面缩小，影响废气的处理，需要停机拆卸清理，处理费时费力。


技术实现要素：

3.针对现有技术存在的不足，本发明目的是提供一种具有余热回收的环保用废气处理装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：一种具有余热回收的环保用废气处理装置，包括吸收水箱、安装在吸收水箱上侧的高温燃烧室和喷淋塔，所述吸收水箱与高温燃烧室之间安装有第一三通管，所述吸收水箱与喷淋塔之间安装有第二三通管，所述第一三通管与第二三通管之间安装有水平布置的空心管，所述空心管内设有向第一三通管方向倾斜的弧形板，所述弧形板靠近第二三通管的一端安装有与空心管固定连接的第一支撑环，所述弧形板靠近第一三通管的一端安装有与空心管固定连接的第二支撑环，所述第一支撑环与第二支撑环之间安装有沿空心管长度方向布置的支撑杆，所述支撑杆上均匀安装有可调整位置的吊杆，所述吊杆下端转动连接有轴杆，所述轴杆外表面呈环形等距安装有三个弧形状的挡风板，所述挡风板远离轴杆的一端安装有与弧形板内表面相接触的可拆卸毛刷。
5.具体地，所述高温燃烧室上表面安装有废气进管、氧气进管和氮气进管，所述高温燃烧室上表面安装有若干个加热棒，所述加热棒下端延伸至高温燃烧室内。
6.具体地，所述吸收水箱一侧面下部位置通过连接管连接有循环水泵进液端，所述循环水泵出水端安装有输水管，所述喷淋塔内从上至下安装有三个第一喷淋管，所述第一喷淋管延伸至喷淋塔外侧的一端与输水管相连相通，所述高温燃烧室内安装有第二喷淋管，所述第二喷淋管延伸至高温燃烧室外侧的一端与输水管相连相通。
7.具体地，所述高温燃烧室下端外表面套设有遮挡筒，所述遮挡筒通过若干个栓锁夹与高温燃烧室固定连接。
8.具体地，所述高温燃烧室上套设有储水套，所述储水套外表面下部位置安装有与自来水管相连接的进水管，所述储水套外表面上部位置安装有与热水收集容器相连接的出水管。
9.具体地，所述第一支撑环、第二支撑环外表面均开设有两个插槽，所述空心管内表
面两侧均固定有两个与插槽相配合的插块，所述插块安插在插槽内。
10.具体地，所述吊杆上端固定连接有筒套，所述筒套套设在支撑杆上，所述筒套外表面上部位置开设有螺纹孔，所述螺纹孔内啮合有用于限制筒套位置的夹紧螺栓，所述筒套内表面固定有限位块，所述支撑杆外表面开设有沿支撑杆长度方向布置的限位槽，所述限位块滑动安装在限位槽内。
11.具体地，所述挡风板远离轴杆的一端固定连接有第一连接条，所述毛刷上固定连接有与第一连接条相配合的第二连接条，所述第二连接条通过螺栓与第一连接条固定连接。
12.具体地，所述弧形板远离第二支撑环的一端外表面下部位置固定连接有挡液板，所述挡液板与第一支撑环固定连接。
13.本发明的有益效果：
14.1、本发明的一种具有余热回收的环保用废气处理装置，在空心管内安装倾斜状的弧形板，并将弧形板上的第一支撑环和第二支撑环安装在空心管内，完成弧形板的安装，当混合有固态颗粒的液体滴落在弧形板上时，混合有固态颗粒的液体沿着弧形板流向第一三通管并流入吸收水箱内，防止混合有固态颗粒的液体残留在空心管内。
15.2、本发明的一种具有余热回收的环保用废气处理装置，当被燃烧处理后的废气通过空心管流向喷淋塔内时，挡风板受气流影响转动，挡风板带动毛刷转动，进而毛刷实现对弧形板内壁的刷洗，便于松动少量附着在弧形板内表面的固态颗粒，从而实现防固态颗粒堆积在弧形板内的作用，有利于保持通风横截面大小的不变，减少拆卸处理次数。
附图说明
16.通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
17.图1为本发明一种具有余热回收的环保用废气处理装置的结构示意图；
18.图2为本发明一种具有余热回收的环保用废气处理装置中循环水泵与吸收水箱的装配示意图；
19.图3为本发明一种具有余热回收的环保用废气处理装置中弧形板、挡风板、支撑杆和空心管的装配示意图；
20.图4为图3中a处放大图；
21.图5为本发明一种具有余热回收的环保用废气处理装置中空心管的右视图；
22.图6为本发明一种具有余热回收的环保用废气处理装置中第二支撑环的立体图；
23.图7为本发明一种具有余热回收的环保用废气处理装置中筒套的剖面图；
24.图8为本发明一种具有余热回收的环保用废气处理装置中支撑杆的立体图；
25.图中：1、吸收水箱，2、第一三通管，3、遮挡筒，4、栓锁夹，5、进水管，6、储水套，7、出水管，8、废气进管，9、加热棒，10、氧气进管，11、氮气进管，12、喷淋塔，13、第一喷淋管，14、输水管，15、第二喷淋管，16、第二三通管，17、空心管，18、连接管，19、循环水泵，20、弧形板，21、挡液板，22、第一支撑环，23、支撑杆，24、第二支撑环，25、轴杆，26、吊杆，27、筒套，28、夹紧螺栓，29、挡风板，30、第一连接条，31、第二连接条，32、毛刷，33、插块，34、插槽，35、螺纹孔，36、限位条，37、限位槽，38、高温燃烧室。
具体实施方式
26.为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
27.请参阅图1至图8，本发明提供一种技术方案：一种具有余热回收的环保用废气处理装置，包括吸收水箱1、安装在吸收水箱1上侧的高温燃烧室38和喷淋塔12，吸收水箱1与高温燃烧室38之间安装有第一三通管2，吸收水箱1与喷淋塔12之间安装有第二三通管16，第一三通管2与第二三通管16之间安装有水平布置的空心管17，空心管17、第一三通管2和第二三通管16实现吸收水箱1、高温燃烧室38和喷淋塔12的相连相通。
28.空心管17内设有向第一三通管2方向倾斜的弧形板20，弧形板20靠近第二三通管16的一端安装有与空心管17固定连接的第一支撑环22，弧形板20靠近第一三通管2的一端安装有与空心管17固定连接的第二支撑环24，在空心管17内安装倾斜状的弧形板20，并将弧形板20上的第一支撑环22和第二支撑环24安装在空心管17内，完成弧形板20的安装，当混合有固态颗粒的液体滴落在弧形板20上时，混合有固态颗粒的液体沿着弧形板20流向第一三通管2并流入吸收水箱1内，防止混合有固态颗粒的液体残留在空心管17内。
29.第一支撑环22与第二支撑环24之间安装有沿空心管17长度方向布置的支撑杆23，支撑杆23上均匀安装有可调整位置的吊杆26，支撑杆23为吊杆26提供安装载体。
30.吊杆26下端转动连接有轴杆25，轴杆25外表面呈环形等距安装有三个弧形状的挡风板29，轴杆25为挡风板29提供安装载体。
31.挡风板29远离轴杆25的一端安装有与弧形板20内表面相接触的可拆卸毛刷32，当被燃烧处理后的废气通过空心管17流向喷淋塔12内时，挡风板29受气流影响转动，挡风板29带动毛刷32转动，进而毛刷32实现对弧形板20内壁的刷洗，便于松动少量附着在弧形板20内表面的固态颗粒，从而实现防固态颗粒堆积在弧形板20内的作用，有利于保持通风横截面大小的不变，减少拆卸处理次数。
32.作为本发明的一个实施例：高温燃烧室38上表面安装有废气进管8、氧气进管10和氮气进管11，高温燃烧室38上表面安装有若干个加热棒9，加热棒9下端延伸至高温燃烧室38内，同时将废气、氮气、氧气经废气进管8、氮气进管11、氧气进管10通入高温燃烧室38内，易燃性气体会在高温燃烧室38内进行燃烧，燃烧完毕的气体通入循环喷淋溶液，会将燃烧完毕的气体进行吸收，固态颗粒以及液态气体经喷淋后进入吸收水箱1，加热棒9实现对高温燃烧室38进行加热。
33.作为本发明的一个实施例：吸收水箱1一侧面下部位置通过连接管18连接有循环水泵19进液端，循环水泵19出水端安装有输水管14，喷淋塔12内从上至下安装有三个第一喷淋管13，第一喷淋管13延伸至喷淋塔12外侧的一端与输水管14相连相通，高温燃烧室38内安装有第二喷淋管15，第二喷淋管15延伸至高温燃烧室38外侧的一端与输水管14相连相通，循环水泵19将吸收溶液从吸收水箱1内抽出后传送到高温燃烧室38下部和喷淋塔12内，形成多级溶液吸收，能够非常有效的将废气燃烧后的副产物以及废气中的气体酸性或碱性气体吸收掉，安全高效的达到废气吸收的作用。
34.作为本发明的一个实施例：高温燃烧室38下端外表面套设有遮挡筒3，遮挡筒3通过若干个栓锁夹4与高温燃烧室38固定连接，利用栓锁夹4连接遮挡筒3和高温燃烧室38，便于遮挡筒3的拆装，遮挡筒3起到遮挡的作用，防人员直接与高温燃烧室38接触而发生烫伤
事故。
35.作为本发明的一个实施例：高温燃烧室38上套设有储水套6，储水套6外表面下部位置安装有与自来水管相连接的进水管5，储水套6外表面上部位置安装有与热水收集容器相连接的出水管7，自来水通过进水管5进入储水套6内吸收高温燃烧室38扩散处的热量形成热水，热水通过出水管7流入热水收集容器内进行储存，实现余热利用的目的。
36.作为本发明的一个实施例：第一支撑环22、第二支撑环24外表面均开设有两个插槽34，空心管17内表面两侧均固定有两个与插槽34相配合的插块33，插块33安插在插槽34内，将第一支撑环22、第二支撑环24安装在空心管17内时，使插块33安插在插槽34内，从而提高第一支撑环22，第二支撑环24与空心管17连接的稳定性。
37.作为本发明的一个实施例：吊杆26上端固定连接有筒套27，筒套27套设在支撑杆23上，筒套27外表面上部位置开设有螺纹孔35，螺纹孔35内啮合有用于限制筒套27位置的夹紧螺栓28，筒套27内表面固定有限位块，支撑杆23外表面开设有沿支撑杆23长度方向布置的限位槽37，限位块滑动安装在限位槽37内，沿着支撑杆23套在筒套27的位置，使相邻两个吊杆26之间的间距满足需要，随后拧动螺纹孔35内的夹紧螺栓28，实现对筒套27位置的便捷调整，即达到便捷调整毛刷32与弧形板20相对位置的目的。
38.作为本发明的一个实施例：挡风板29远离轴杆25的一端固定连接有第一连接条30，毛刷32上固定连接有与第一连接条30相配合的第二连接条31，第二连接条31通过螺栓与第一连接条30固定连接，利用螺栓连接第一连接条30和第二连接条31，完成毛刷32与挡风板29的固定连接，便于毛刷32与挡风板29的拆装。
39.作为本发明的一个实施例：弧形板20远离第二支撑环24的一端外表面下部位置固定连接有挡液板21，挡液板21与第一支撑环22固定连接，利用挡液板21封堵弧形板20与第一支撑环22下侧的空隙，便于使混合有固态颗粒的液体通过第二三通管16流入吸收水箱1内。
40.具体实施方式：在空心管17内安装倾斜状的弧形板20，并将弧形板20上的第一支撑环22和第二支撑环24安装在空心管17内，完成弧形板20的安装，当混合有固态颗粒的液体滴落在弧形板20上时，混合有固态颗粒的液体沿着弧形板20流向第一三通管2并流入吸收水箱1内，防止混合有固态颗粒的液体残留在空心管17内。
41.当被燃烧处理后的废气通过空心管17流向喷淋塔12内时，挡风板29受气流影响转动，挡风板29带动毛刷32转动，进而毛刷32实现对弧形板20内壁的刷洗，便于松动少量附着在弧形板20内表面的固态颗粒，从而实现防固态颗粒堆积在弧形板20内的作用，有利于保持通风横截面大小的不变，减少拆卸处理次数。
42.以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点,对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。
43.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当
将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。