一种通信半导体加工设备的制作方法

文档序号:25220148发布日期:2021-05-28 14:21阅读:58来源:国知局
一种通信半导体加工设备的制作方法

本发明涉及通信领域,更具体的说是一种通信半导体加工设备。



背景技术:

通信半导体加工设备是通信领域一种常用的设备,但是一般的通信半导体加工设备功能比较单一。



技术实现要素:

本发明的目的是提供一种通信半导体加工设备,可以实现对硅粉的制备。

本发明的目的通过以下技术方案来实现:

一种通信半导体加工设备,包括粉碎组件、研磨组件、驱动组件,所述粉碎组件与研磨组件相连接,研磨组件与驱动组件相连接。

作为本技术方案的进一步优化,本发明一种通信半导体加工设备,所述粉碎组件包括外框、内端驱动盘、粉碎杆、内端固定盘、驱动盘一、驱动盘二、驱动盘三、中端驱动直齿、矩形滑槽、倾斜滑槽,内端固定盘固定连接在外框中端的中侧,内端驱动盘与内端固定盘相接触,内端驱动盘与外框转动连接,矩形滑槽设置有多个,多个矩形滑槽均匀设置在内端固定盘上,倾斜滑槽设置有多个,多个倾斜滑槽均匀设置在内端驱动盘上,粉碎杆与倾斜滑槽固定连接,粉碎杆与矩形滑槽滑动连接,粉碎杆与驱动盘一固定连接,驱动盘一与驱动盘二滑动连接,驱动盘三与驱动盘二滑动连接,驱动盘二的上端面均设置有矩形滑轨a,驱动盘二的下端面均设置有矩形滑轨b,矩形滑轨a与矩形滑轨b垂直设置,驱动盘一上设置有与矩形滑轨a相适配的矩形滑槽a,驱动盘三上设置有与矩形滑轨b相适配的矩形滑槽b,驱动盘三与外框转动连接,中端驱动直齿与驱动盘三啮合传动,中端驱动直齿与外框转动连接。

作为本技术方案的进一步优化,本发明一种通信半导体加工设备,所述倾斜滑槽和矩形滑槽具体设置有四个,矩形滑槽沿着内端固定盘的径向设置,倾斜滑槽与内端驱动盘的径向交叉。

作为本技术方案的进一步优化,本发明一种通信半导体加工设备,所述研磨组件包括研磨外框、内端齿圈、内端驱动直齿a、张紧皮带、张紧带轮一、传动带轮一、张紧带轮二、中端转轴、驱动锥齿一、驱动锥齿二、驱动锥齿轴一、内端卡槽二、研磨杆、研磨杆推簧、张紧滑子三、内端卡杆二、内端卡杆推簧二、张紧滑子一、张紧滑子推簧一、张紧滑子二、张紧滑子推簧二,内端齿圈与研磨外框固定连接,内端驱动直齿a与内端齿圈啮合传动,内端驱动直齿a与中端转轴转动连接,张紧皮带连接在内端驱动直齿a、张紧带轮一、传动带轮一、张紧带轮二之间,驱动锥齿一固定连接在中端转轴的中端,驱动锥齿二固定连接在驱动锥齿轴一的一端,驱动锥齿二与驱动锥齿一啮合传动,驱动锥齿轴一的另一端转动连接在研磨外框上,传动带轮一与张紧滑子三转动连接,张紧滑子三与中端转轴滑动连接,内端卡槽二设置在中端转轴内端,内端卡杆二与张紧滑子三滑动连接,内端卡杆二与内端卡槽二配合连接,内端卡杆推簧二设置在内端卡杆二与张紧滑子三之间,内端卡杆二与张紧滑子三滑动连接,研磨杆推簧设置在内端卡杆二与张紧滑子三之间,研磨杆与张紧滑子三滑动连接,研磨杆推簧设置在研磨杆与张紧滑子三之间,张紧带轮一与张紧滑子一转动连接,张紧带轮二与张紧滑子二转动连接,张紧滑子一、张紧滑子二均与中端转轴滑动连接,张紧滑子推簧一设置在张紧滑子一、中端转轴之间,张紧滑子推簧二设置在张紧滑子二、中端转轴之间,外框与研磨外框固定连接,中端驱动直齿与中端转轴固定连接。

作为本技术方案的进一步优化,本发明一种通信半导体加工设备,所述驱动组件包括驱动底板、支架一、离合输出轴、离合板一、离合板二、离合推簧、离合棱形滑杆、支架二、输入电机,支架一、支架二均与驱动底板固定连接,离合输出轴一端与支架一转动连接,离合输出轴另一端与离合板一固定连接,离合板一与离合板二配合连接,离合棱形滑杆一端与离合板二固定连接,离合棱形滑杆另一端与支架二转动连接,离合推簧设置在离合板二和支架二之间,输入电机的输出轴与离合棱形滑杆固定连接,驱动底板与研磨外框固定连接,离合输出轴与驱动锥齿轴一固定连接。

本发明一种通信半导体加工设备的有益效果为:

本发明一种通信半导体加工设备,将制作半导体用的粗制硅棒放置在外框中,同时使得中端驱动直齿转动,进而通过中端驱动直齿带动着驱动盘三转动,进而通过驱动盘三带动着驱动盘二转动,进而通过驱动盘二带动着驱动盘一转动,进而通过驱动盘一带动着粉碎杆转动,通过粉碎杆与制作半导体用的粗制硅棒的接触,进而实现对制作半导体用的粗制硅棒的粉碎。

附图说明

下面结合附图和具体实施方法对本发明做进一步详细的说明。

图1是本发明的整体结构示意图一;

图2是本发明的整体结构示意图二;

图3是本发明的粉碎组件1结构示意图一;

图4是本发明的粉碎组件1结构示意图二;

图5是本发明的研磨组件2结构示意图一;

图6是本发明的研磨组件2结构示意图二;

图7是本发明的研磨组件2结构示意图三;

图8是本发明的研磨组件2结构示意图四;

图9是本发明的驱动组件3结构示意图一;

图10是本发明的驱动组件3结构示意图二。

图中:粉碎组件1;外框1-1;内端驱动盘1-2;粉碎杆1-3;内端固定盘1-4;驱动盘一1-5;驱动盘二1-6;驱动盘三1-7;中端驱动直齿1-8;矩形滑槽1-9;倾斜滑槽1-10;研磨组件2;研磨外框2-1;内端齿圈2-2;内端驱动直齿a2-3;张紧皮带2-4;张紧带轮一2-5;传动带轮一2-6;张紧带轮二2-7;中端转轴2-8;驱动锥齿一2-9;驱动锥齿二2-10;驱动锥齿轴一2-11;内端卡槽二2-12;研磨杆2-13;研磨杆推簧2-14;张紧滑子三2-15;内端卡杆二2-16;内端卡杆推簧二2-17;张紧滑子一2-18;张紧滑子推簧一2-19;张紧滑子二2-20;张紧滑子推簧二2-21;驱动组件3;驱动底板3-1;支架一3-2;离合输出轴3-3;离合板一3-4;离合板二3-5;离合推簧3-6;离合棱形滑杆3-7;支架二3-8;输入电机3-9。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步详细说明。

本装置中所述的固定连接是指通过焊接、螺纹固定等方式进行固定,结合不同的使用环境,使用不同的固定方式;所述的转动连接是指通过将轴承烘装在轴上,轴或轴孔上设置有弹簧挡圈槽,通过将弹性挡圈卡在挡圈槽内实现轴承的轴向固定,实现转动;所述的滑动连接是指通过滑块在滑槽或导轨内的滑动进行连接,滑槽或导轨一般为阶梯状,防止滑块在滑槽或导轨内发生脱落;所述的铰接是指通过在铰链、销轴和短轴等连接零件上进行活动的连接方式;所需密封处均是通过密封圈或o形圈实现密封。

具体实施方式一:

下面结合图1-10说明本实施方式,一种通信半导体加工设备,包括粉碎组件1、研磨组件2、驱动组件3,所述粉碎组件1与研磨组件2相连接,研磨组件2与驱动组件3相连接。

具体实施方式二:

下面结合图1-10说明本实施方式,本实施方式对实施方式一作进一步说明,所述粉碎组件1包括外框1-1、内端驱动盘1-2、粉碎杆1-3、内端固定盘1-4、驱动盘一1-5、驱动盘二1-6、驱动盘三1-7、中端驱动直齿1-8、矩形滑槽1-9、倾斜滑槽1-10,内端固定盘1-4固定连接在外框1-1中端的中侧,内端驱动盘1-2与内端固定盘1-4相接触,内端驱动盘1-2与外框1-1转动连接,矩形滑槽1-9设置有多个,多个矩形滑槽1-9均匀设置在内端固定盘1-4上,倾斜滑槽1-10设置有多个,多个倾斜滑槽1-10均匀设置在内端驱动盘1-2上,粉碎杆1-3与倾斜滑槽1-10固定连接,粉碎杆1-3与矩形滑槽1-9滑动连接,粉碎杆1-3与驱动盘一1-5固定连接,驱动盘一1-5与驱动盘二1-6滑动连接,驱动盘三1-7与驱动盘二1-6滑动连接,驱动盘二1-6的上端面均设置有矩形滑轨a,驱动盘二1-6的下端面均设置有矩形滑轨b,矩形滑轨a与矩形滑轨b垂直设置,驱动盘一1-5上设置有与矩形滑轨a相适配的矩形滑槽a,驱动盘三1-7上设置有与矩形滑轨b相适配的矩形滑槽b,驱动盘三1-7与外框1-1转动连接,中端驱动直齿1-8与驱动盘三1-7啮合传动,中端驱动直齿1-8与外框1-1转动连接;

将制作半导体用的粗制硅棒放置在外框1-1中,同时使得中端驱动直齿1-8转动,进而通过中端驱动直齿1-8带动着驱动盘三1-7转动,进而通过驱动盘三1-7带动着驱动盘二1-6转动,进而通过驱动盘二1-6带动着驱动盘一1-5转动,进而通过驱动盘一1-5带动着粉碎杆1-3转动,通过粉碎杆1-3与制作半导体用的粗制硅棒的接触,进而实现对制作半导体用的粗制硅棒的粉碎;同时,相对转动内端驱动盘1-2和内端固定盘1-4,通过倾斜滑槽1-10驱动着粉碎杆1-3滑动,使得粉碎杆1-3沿着矩形滑槽1-9滑动,进而使得多个粉碎杆1-3之间的间距发生变化,进而使得粉碎杆1-3对制作半导体用的粗制硅棒的粉碎程度发生变化。

具体实施方式三:

下面结合图1-10说明本实施方式,本实施方式对实施方式一作进一步说明,所述倾斜滑槽1-10和矩形滑槽1-9具体设置有四个,矩形滑槽1-9沿着内端固定盘1-4的径向设置,倾斜滑槽1-10与内端驱动盘1-2的径向交叉。

具体实施方式四:

下面结合图1-10说明本实施方式,本实施方式对实施方式一作进一步说明,所述研磨组件2包括研磨外框2-1、内端齿圈2-2、内端驱动直齿a2-3、张紧皮带2-4、张紧带轮一2-5、传动带轮一2-6、张紧带轮二2-7、中端转轴2-8、驱动锥齿一2-9、驱动锥齿二2-10、驱动锥齿轴一2-11、内端卡槽二2-12、研磨杆2-13、研磨杆推簧2-14、张紧滑子三2-15、内端卡杆二2-16、内端卡杆推簧二2-17、张紧滑子一2-18、张紧滑子推簧一2-19、张紧滑子二2-20、张紧滑子推簧二2-21,内端齿圈2-2与研磨外框2-1固定连接,内端驱动直齿a2-3与内端齿圈2-2啮合传动,内端驱动直齿a2-3与中端转轴2-8转动连接,张紧皮带2-4连接在内端驱动直齿a2-3、张紧带轮一2-5、传动带轮一2-6、张紧带轮二2-7之间,驱动锥齿一2-9固定连接在中端转轴2-8的中端,驱动锥齿二2-10固定连接在驱动锥齿轴一2-11的一端,驱动锥齿二2-10与驱动锥齿一2-9啮合传动,驱动锥齿轴一2-11的另一端转动连接在研磨外框2-1上,传动带轮一2-6与张紧滑子三2-15转动连接,张紧滑子三2-15与中端转轴2-8滑动连接,内端卡槽二2-12设置在中端转轴2-8内端,内端卡杆二2-16与张紧滑子三2-15滑动连接,内端卡杆二2-16与内端卡槽二2-12配合连接,内端卡杆推簧二2-17设置在内端卡杆二2-16与张紧滑子三2-15之间,内端卡杆二2-16与张紧滑子三2-15滑动连接,研磨杆推簧2-14设置在内端卡杆二2-16与张紧滑子三2-15之间,研磨杆2-13与张紧滑子三2-15滑动连接,研磨杆推簧2-14设置在研磨杆2-13与张紧滑子三2-15之间,张紧带轮一2-5与张紧滑子一2-18转动连接,张紧带轮二2-7与张紧滑子二2-20转动连接,张紧滑子一2-18、张紧滑子二2-20均与中端转轴2-8滑动连接,张紧滑子推簧一2-19设置在张紧滑子一2-18、中端转轴2-8之间,张紧滑子推簧二2-21设置在张紧滑子二2-20、中端转轴2-8之间,外框1-1与研磨外框2-1固定连接,中端驱动直齿1-8与中端转轴2-8固定连接。

具体实施方式五:

下面结合图1-10说明本实施方式,本实施方式对实施方式一作进一步说明,所述驱动组件3包括驱动底板3-1、支架一3-2、离合输出轴3-3、离合板一3-4、离合板二3-5、离合推簧3-6、离合棱形滑杆3-7、支架二3-8、输入电机3-9,支架一3-2、支架二3-8均与驱动底板3-1固定连接,离合输出轴3-3一端与支架一3-2转动连接,离合输出轴3-3另一端与离合板一3-4固定连接,离合板一3-4与离合板二3-5配合连接,离合棱形滑杆3-7一端与离合板二3-5固定连接,离合棱形滑杆3-7另一端与支架二3-8转动连接,离合推簧3-6设置在离合板二3-5和支架二3-8之间,输入电机3-9的输出轴与离合棱形滑杆3-7固定连接,驱动底板3-1与研磨外框2-1固定连接,离合输出轴3-3与驱动锥齿轴一2-11固定连接。

本发明的一种通信半导体加工设备,其工作原理为:

使用时,将制作半导体用的粗制硅棒放置在外框1-1中,同时使得中端驱动直齿1-8转动,进而通过中端驱动直齿1-8带动着驱动盘三1-7转动,进而通过驱动盘三1-7带动着驱动盘二1-6转动,进而通过驱动盘二1-6带动着驱动盘一1-5转动,进而通过驱动盘一1-5带动着粉碎杆1-3转动,通过粉碎杆1-3与制作半导体用的粗制硅棒的接触,进而实现对制作半导体用的粗制硅棒的粉碎;同时,相对转动内端驱动盘1-2和内端固定盘1-4,通过倾斜滑槽1-10驱动着粉碎杆1-3滑动,使得粉碎杆1-3沿着矩形滑槽1-9滑动,进而使得多个粉碎杆1-3之间的间距发生变化,进而使得粉碎杆1-3对制作半导体用的粗制硅棒的粉碎程度发生变化;使得驱动锥齿轴一2-11转动,进而通过驱动锥齿轴一2-11带动着驱动锥齿二2-10转动,进而通过驱动锥齿二2-10带动着驱动锥齿一2-9转动,进而通过驱动锥齿一2-9带动着中端转轴2-8转动,进而通过中端转轴2-8带动着内端驱动直齿a2-3运动,通过内端驱动直齿a2-3与内端齿圈2-2之间的啮合传动,带动着内端驱动直齿a2-3转动,进而通过内端驱动直齿a2-3带动着张紧皮带2-4运动,进而通过张紧皮带2-4带动着传动带轮一2-6转动,进而通过传动带轮一2-6带动着研磨杆2-13转动,进而通过研磨杆2-13与粉碎完成的制作半导体用的粗制硅棒的碎块的接触,进而实现对粗制硅棒的碎块的研磨,进而方便形成粗制硅棒粉末;同时,沿着中端转轴2-8滑动张紧滑子三2-15,进而通过张紧滑子三2-15改变研磨杆2-13的使用位置,进而使得研磨杆2-13与传动带轮一2-6之间发生相对滑动,进而压缩研磨杆推簧2-14,使得研磨杆推簧2-14的弹力增加,进而使得研磨杆2-13的正压力增加,进而使得对粗制硅棒的碎块的研磨程度发生变化,进而实现对形成粗制硅棒粉末的研磨情况的调节;同时,当中端转轴2-8转动的同时,进而通过中端转轴2-8带动着中端驱动直齿1-8转动;同时,启动输入电机3-9,进而通过输入电机3-9带动着离合棱形滑杆3-7转动,进而通过离合棱形滑杆3-7带动着离合板二3-5转动,进而通过离合板二3-5带动着离合板一3-4转动,进而通过离合板一3-4带动着离合板一3-4转动,进而通过离合板一3-4带动着驱动锥齿轴一2-11转动,进而方便进行动力输入。

当然,上述说明并非对本发明的限制,本发明也不仅限于上述举例,本技术领域的普通技术人员在本发明的实质范围内所做出的变化、改型、添加或替换,也属于本发明的保护范围。

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