一种气体吸附除杂设备的制作方法

本实用新型涉及除杂设备技术领域，尤其涉及一种气体吸附除杂设备。

背景技术：

高纯度多晶硅广泛应用于电子信息产业和半导体集成电路产业，但国内目前行业的多晶硅纯度仍然达不到半导体集成电路的要求，高纯度多晶硅中的主要杂质硼和磷的含量明显高于国外行业的杂质含量；第三代改良西门子法是目前生产多晶硅的主流技术；该技术以三氯氢硅和氢气为原料，在高温环境下获得多晶硅；在此过程中，杂质氯化硼和氯化磷，在氢气气氛下也以单质b和p的形式沉积在多晶硅上，降低了多晶硅的纯度；三氯氢硅在还原反应过程中，随着氢气不断循环，使硼和磷随循环氢气一起进入还原炉，从而对多晶硅产品纯度和质量产生危害的影响。

现行业内一般通过变压吸附技术进行氢气除杂，该吸附工艺通过活性炭进行吸附，有一定除杂提纯效果，这时需要用到气体吸附除杂设备，除杂效率高，结构简单。

经检索，申请号为201821506544.5公布的一种气体吸附除杂设备的专利，主要由活性炭吸附段、树脂吸附段等主要部件组成，待吸附净化的氢气依次经过活性炭吸附段和树脂吸附段，所述活性炭吸附段用于去除遇冷液化的液态三氯氢硅及固体颗粒物杂质，所述树脂吸附段用于去除氢气中混杂的阳离子和阴离子，所述树脂吸附段中的两性离子交换树脂颗粒可在洗涤后重新使用，具有重复利用率高的优点；

对于上述专利仍有以下缺陷：1.树脂吸附段内部的树脂颗粒使用一段时间后，需要倾倒出来进行反复清洗，重新循环利用，但是，当树脂颗粒需要清洗时，需要将整个树脂吸附颗粒拆卸下来，拆卸时首先将法兰拆卸下来，然后对丝网压板进行拆卸，而且丝网压板与法兰均为螺栓固定的方式，拆卸的过程比较麻烦，不仅浪费大量的时间和精力，而且增加了大量的劳动力，降低了使用的便利性，从而降低了工作效率；

2.上述专利的活性炭板为固定安装的，气体主要集中在活性炭板的中心进行吸附除杂，气体不能均布在活性炭板的各个角落，出现分布不均匀的情况，而且活性炭板中部的吸附材料的吸附能力下降，需要经常更换活性炭板，从而增加了资源成本，造成了资源的浪费，为此我们提出一种气体吸附除杂设备。

技术实现要素：

根据以上技术问题，本实用新型提供一种气体吸附除杂设备，包括筒体、进气管道、出气管道、取样管道、阀门、流量控制阀，其特征在于包括活性炭吸附结构、树脂吸附结构，所述筒体的顶部开设有进气口，进气口与进气管道连接，所述进气管道的侧壁上开设有取样口，取样口与取样管道连接，所述进气管道上安装有流量控制阀，所述筒体的底部开设有出气口，出气口与出气管道连接，所述出气管道的侧壁上开设有取样口，取样口与取样管道连接，所述取样管道上安装有阀门，所述筒体的内部分别安装有活性炭吸附结构和树脂吸附结构，所述树脂吸附结构安装在活性炭吸附结构的下侧；

所述树脂吸附结构由安装板、安装孔、固定孔、存储管、透气孔、上固定件、下锁紧件、凹槽、磁吸件组成，所述筒体的内侧壁开设有卡扣，卡扣中安装有安装板，所述安装板上分别开设有安装孔和固定孔，所述安装孔的数量为n，n≥2，所述固定孔的数量为j，j≥2，所述固定孔开设有在安装孔的左右两侧，所述安装孔中安装有存储管，所述存储管为“沙漏结构”，所述存储管的侧壁开设有透气孔，所述透气孔的数量为m，m≥2，所述安装板的顶部安装有上固定件，所述安装板的底部通过支撑板安装有下锁紧件，所述存储管通过上固定件、下锁紧件与安装板进行固定，所述安装孔的内侧壁开设有凹槽，所述凹槽中安装有磁吸件；

所述存储管由上盛放盒、下盛放盒、安装环、凸块、磁吸件组成，所述上盛放盒与下盛放盒的连接处分别安装有安装环，所述上盛放盒的安装环的外侧壁开设有螺纹，所述下盛放盒的安装环的内侧壁开设有与上盛放盒的安装环的外侧壁相反螺纹，所述上盛放盒与下盛放盒通过安装环上的螺纹进行连接，所述上盛放盒的外侧壁开设有凸块，所述凸块的内部安装有磁吸件，所述凸块与安装孔中的凹槽配合使用；

所述上固定件由固定板、螺纹杆、磁吸件组成，所述固定板的左右两端分别安装有螺纹杆，所述螺纹杆的内部安装有磁吸件，所述螺纹杆安装在固定孔中，所述固定孔的内侧壁开设有与螺纹杆相匹配的纹路；

所述下锁紧件由套筒、弹簧、联动板、贴板、橡胶垫、转轴、拉杆、拉环、安装座、限位钩、钩槽、磁吸件组成，所述套筒的内部安装有弹簧，所述弹簧的顶部安装有联动板，所述联动板为“t型”结构，所述联动板与贴板连接，所述贴板的顶部安装有橡胶垫，所述橡胶垫与下盛放盒的外侧壁接触，所述贴板的左右两端分别安装有转轴，所述转轴上安装有拉杆，所述拉杆的底部安装有拉环，所述拉杆与拉环为一体结构，所述拉环的内部安装有磁吸件，所述套筒的左右外侧壁分别安装有安装座，所述安装座上安装有限位钩，所述限位钩为“u型”结构，所述限位钩与拉环均为硬性材质，所述限位钩的侧壁上开设有钩槽，所述钩槽中安装有磁吸件，所述钩槽与拉环配合使用；

所述磁吸件为磁铁；

所述透气孔的直径为0.5mm-1mm；

所述活性炭吸附结构由电机、转动杆、活性炭板组成，所述转动杆安装在筒体的内侧壁上，所述转动杆的左端与电机的输出轴连接，所述电机安装在筒体的外侧壁上，所述电机与外界电源连接，所述转动杆的侧壁上通过螺栓安装有活性炭板，所述活性炭板的数量为q,q≥2，所述活性炭板内部呈折线型结构。

本实用新型的有益效果为：本实用新型增加了存储管、上固定件、下锁紧件，存储管中用于存放树脂颗粒，实现了对存储管的快速安装与拆卸，使得存储管内部的树脂颗粒达到反复清洗，循环利用的功效，拆卸更加简单，节省大量的时间、精力、劳动力，提高了使用的便利性，提高了工作效率，当需要拆卸时，首先调节下侧的下锁紧件，通过拉动拉杆，拉动的同时拉环一起进行移动，而且拉杆的拉动带动联动板向套筒的内部压缩弹簧，移动到指定位置，将拉环与限位钩连接，此时，拉环与钩槽在磁吸件的作用下相互吸引，实现了快速固定，这时候橡胶垫以及贴板向远离下盛放盒的方向移动，在这时候旋拧下下盛放盒，然后将螺纹杆从固定孔中拔出，将上盛放腔从安装孔中拔出，安装孔与螺纹杆通过磁吸件实现快速安装与固定，提高了使用的便利性；

本实用新型增加了电机、转动杆、活性炭板，实现了气体均匀分布，避免了气体主要集中在活性炭板的中心进行吸附除杂，气体不能均布在活性炭板的各个角落，活性炭板中部的吸附材料的吸附能力下降，需要经常更换活性炭板的情况发生，从而节省了资源成本，不会造成了资源的浪费，电机带动转动杆转动，从而带动活性炭板一起转动，使得气体均布在活性炭板的各个角落，转动的同时实现了快速吸附除杂的功效，而且活性炭板呈折线型结构，能够增大气体与活性炭板接触的面积。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型树脂吸附结构的示意图；

图3为本实用新型限位钩的示意图；

图4为本实用新型限位钩与拉环的安装示意图；

图5为本实用新型拉环的示意图；

图6为本实用新型上盛放盒的结构示意图；

图7为本实用新型下盛放盒的结构示意图；

图8为本实用新型上固定件的结构示意图；

图9为本实用新型安装板上开设有安装孔的结构示意图；

图10为本实用新型安装孔的侧壁设置有凸块的示意图；

图11为本实用新型活性炭板内部结构示意图；

图12为本实用新型活性炭板与转动杆的侧视图。

如图，安装板-1、安装孔-2、存储管-3、上盛放盒3-1、下盛放盒3-2、安装环3-3、凸块3-4、磁吸件3-5、透气孔4、上固定件5、固定板5-1、螺纹杆5-2、下锁紧件6、套筒6-1、弹簧6-2、联动板6-3、贴板6-4、橡胶垫6-5、转轴6-6、拉杆6-7、拉环6-8、安装座6-9、限位钩6-10、钩槽6-11、凹槽7、电机-8、转动杆-9、活性炭板-10、筒体-11、进气管道-12、出气管道-13、取样管道-14、阀门-15、流量控制阀-16、固定孔-17。

具体实施方式

实施例1

本实用新型提供一种气体吸附除杂设备，包括筒体11、进气管道12、出气管道13、取样管道14、阀门15、流量控制阀16，其特征在于包括活性炭吸附结构、树脂吸附结构，筒体11的顶部开设有进气口，进气口与进气管道12连接，进气管道12的侧壁上开设有取样口，取样口与取样管道14连接，进气管道12上安装有流量控制阀16，筒体11的底部开设有出气口，出气口与出气管道13连接，出气管道13的侧壁上开设有取样口，取样口与取样管道14连接，取样管道14上安装有阀门15，筒体11的内部分别安装有活性炭吸附结构和树脂吸附结构，树脂吸附结构安装在活性炭吸附结构的下侧；

树脂吸附结构由安装板1、安装孔2、固定孔17、存储管3、透气孔4、上固定件5、下锁紧件6、凹槽7、磁吸件3-5组成，筒体11的内侧壁开设有卡扣，卡扣中安装有安装板1，安装板1上分别开设有安装孔2和固定孔17，安装孔2的数量为n，n≥2，固定孔17的数量为j，j≥2，固定孔17开设有在安装孔2的左右两侧，安装孔2中安装有存储管3，存储管3为“沙漏结构”，存储管3的侧壁开设有透气孔4，透气孔4的数量为m，m≥2，安装板1的顶部安装有上固定件5，安装板1的底部通过支撑板安装有下锁紧件6，存储管3通过上固定件5、下锁紧件6与安装板1进行固定，安装孔2的内侧壁开设有凹槽7，凹槽7中安装有磁吸件3-5；

存储管3由上盛放盒3-1、下盛放盒3-2、安装环3-3、凸块3-4、磁吸件3-5组成，上盛放盒3-1与下盛放盒3-2的连接处分别安装有安装环3-3，上盛放盒3-1的安装环3-3的外侧壁开设有螺纹，下盛放盒3-2的安装环3-3的内侧壁开设有与上盛放盒3-1的安装环3-3的外侧壁相反螺纹，上盛放盒3-1与下盛放盒3-2通过安装环3-3上的螺纹进行连接，上盛放盒3-1的外侧壁开设有凸块3-4，凸块3-4的内部安装有磁吸件3-5，凸块3-4与安装孔2中的凹槽7配合使用；

上固定件5由固定板5-1、螺纹杆5-2、磁吸件3-5组成，固定板5-1的左右两端分别安装有螺纹杆5-2，螺纹杆5-2的内部安装有磁吸件3-5，螺纹杆5-2安装在固定孔17中，固定孔17的内侧壁开设有与螺纹杆5-2相匹配的纹路；

下锁紧件6由套筒6-1、弹簧6-2、联动板6-3、贴板6-4、橡胶垫6-5、转轴6-6、拉杆6-7、拉环6-8、安装座6-9、限位钩6-10、钩槽6-11、磁吸件3-5组成，套筒6-1的内部安装有弹簧6-2，弹簧6-2的顶部安装有联动板6-3，联动板6-3为“t型”结构，联动板6-3与贴板6-4连接，贴板6-4的顶部安装有橡胶垫6-5，橡胶垫6-5与下盛放盒3-2的外侧壁接触，贴板6-4的左右两端分别安装有转轴6-6，转轴6-6上安装有拉杆6-7，拉杆6-7的底部安装有拉环6-8，拉杆6-7与拉环6-8为一体结构，拉环6-8的内部安装有磁吸件3-5，套筒6-1的左右外侧壁分别安装有安装座6-9，安装座6-9上安装有限位钩6-10，限位钩6-10为“u型”结构，限位钩6-10与拉环6-8均为硬性材质，限位钩6-10的侧壁上开设有钩槽6-11，钩槽6-11中安装有磁吸件3-5，钩槽6-11与拉环6-8配合使用；

磁吸件3-5为磁铁；

透气孔4的直径为0.5mm-1mm；

活性炭吸附结构由电机8、转动杆9、活性炭板10组成，转动杆9安装在筒体11的内侧壁上，转动杆9的左端与电机8的输出轴连接，电机8安装在筒体11的外侧壁上，电机8与外界电源连接，转动杆9的侧壁上通过螺栓安装有活性炭板10，活性炭板10的数量为q,q≥2，活性炭板10内部呈折线型结构。

实施例2

本实用新型的使用原理：首先打开外界电源，启动电机8，向进气管道12注入气体，气体到达活性炭板10吸附结构，通过电机8带动转动杆9转动，从而带动活性炭板10一起转动，使得气体均布在活性炭板10的各个角落，转动的同时实现了快速吸附除杂的功效，实现了气体均匀分布，避免了气体主要集中在活性炭板10的中心进行吸附除杂，气体不能均布在活性炭板10的各个角落，活性炭板10中部的吸附材料的吸附能力下降，需要经常更换活性炭板10的情况发生，从而节省了资源成本，不会造成了资源的浪费，然后穿过透气孔4进入存储管3中，此处的透气孔4的直径只有几毫米，孔径极小，树脂颗粒不会从存储管3中跑出，存储管3内部存储的树脂颗粒能够去除气体中混杂的阳离子和阴离子，获得的高纯度气体，树脂颗粒可在洗涤后重新使用；

存储管3的拆卸过程：首先调节下侧的下锁紧件6，通过拉动拉杆6-7，拉动的同时拉环6-8一起进行移动，而且拉杆6-7的拉动带动联动板6-3向套筒6-1的内部压缩弹簧6-2，移动到指定位置，将拉环6-8与限位钩6-10连接，此时，拉环6-8与钩槽6-11在磁吸件3-5的作用下相互吸引，实现了快速固定，这时候橡胶垫6-5以及贴板6-4向远离下盛放盒3-2的方向移动，在这时候旋拧下下盛放盒3-2，然后将螺纹杆5-2从固定孔17中拔出，将上盛放腔从安装孔2中拔出，这时，工作人员将存储管3中的树脂颗粒取出进行清洗，循环利用；

存储管3的安装过程：工作人员将清洗好的树脂颗粒装入存储管3中，首先将下盛放盒3-2安装在安装中并用下锁紧件6进行固定，通过拉动拉杆6-7，拉动的同时拉环6-8一起进行移动，而且拉杆6-7的拉动带动联动板6-3向套筒6-1的外部拉伸弹簧6-2，移动到指定位置，将拉环6-8与限位钩6-10连接，此时，拉环6-8与钩槽6-11在磁吸件3-5的作用下相互吸引，实现了快速固定，这时候橡胶垫6-5以及贴板6-4向靠近下盛放盒3-2的方向移动，当橡胶垫6-5与下盛放盒3-2的外侧壁接触时，实现了下盛放盒3-2的固定和安装，然后工作人员快速将上盛放盒3-1扣合在安装孔2中并且同时旋拧，当上盛放盒3-1的凸块3-4与安装孔2中的凹槽7接触并配合使用时，此刻即完成上盛放盒3-1与下盛放盒3-2的安装，在最后将螺纹杆5-2通过磁吸件3-5的吸力下插入至固定孔17中，即可完成存储管3的固定。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本实用新型提到的各个部件为现有领域常见技术，本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。