一种水气分离加快真空排气速度的设备的制作方法

[0001]
本实用新型属于真空生产制造领域，涉及一种通过水气分离来加快真空排气速度的设备。


背景技术：

[0002]
目前真空镀膜设备制造行业内，因为设备所在环境湿度差异造成同一设备在不同地域生产效率、产品质量不一致。而设备抽速慢是因为设备所处环境中的空气中湿度太大，空气中的水汽无法快速抽离造成真空泵的效率降低，传统真空泵受水汽影响较大。


技术实现要素：

[0003]
为了解决上述存在的不足之处及缺点，本实用新型专利提出了一种水气分离加快真空排气速度的设备。
[0004]
一种水气分离加快真空排气速度的装置，超低温冷冻机位于真空腔体外，进行超低温制冷，所产生的制冷剂由冷却管道进口管路输送至冷却盘管内。冷却盘管固定于冷却室防护罩内，冷却盘管设有至少一层盘管，盘管一端与冷却管道进口管路固定连接，冷却盘管的另一端口与冷却管道出口管路固定连接，冷却管道出口管路远离冷却盘管的一端固定连接位于真空腔体外的超低温冷冻机，经冷却盘管后的制冷剂由冷却管道出口管路循环回超低温冷冻机内。冷却室防护罩位于真空腔体内，防护罩的底座固定于真空腔体内，防护罩顶端固定连接气缸，气缸位于真空腔体外，防护罩顶端与底座可分离。
[0005]
优选的，冷却盘管为蛇形往复盘管依次由下向上堆叠形状。
[0006]
优选的，冷却盘管堆叠时彼此无交叉。
[0007]
优选的，冷却盘管靠近底座的下端口固定连接冷却管道进口管路，冷却盘管远离底座的上端口固定连接冷却管道出口管路。
[0008]
优选的，冷却盘管固定在所述底座上。
[0009]
优选的，气缸拉动冷却室防护罩的顶端向上移动，远离底座，至完全露出冷却盘管。
[0010]
优选的，气缸拉动所述冷却室防护罩的顶端向下移动，靠近底座，完全罩住冷却盘管。
[0011]
本实用新型所达到的有益效果是：1、设计了水气分离的装置，提高了真空腔体快速抽真空的效率；2、单门循环周期缩短了20%，并且提高了生产周期的稳定性；3、解决了由于真空不足造成的产品色差问题，避免了3%的废品率；4、设计的水气分离装置为瞬间冷却系统，对制程时间无明显负效应。
附图说明
[0012]
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
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图1是本实用新型的示意图；
[0014]
图中：1、冷却室防护罩；11、底座；2、冷却盘管；3、冷却管道进口管路；31、冷却管道出口管路；4、超低温冷冻机；5、气缸；6、真空腔体。
具体实施方式
[0015]
下面将结合附图对本实用新型的技 术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0016]
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
[0017]
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0018]
此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
[0019]
实施例1
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一种水气分离加快真空排气速度的设备，包括冷却室防护罩1、底座11、冷却盘管2、冷却管道进口管路3、冷却管道出口管路31、超低温冷冻机4、气缸5。由超低温冷冻机4进行超低温制冷，将制冷剂通过冷却管道进口管路3输送到冷却盘管2中，再由冷却管道出口管路31输送回超低温冷冻机4内，制冷剂在冷却盘管2内循环制冷，为实现瞬间提高水气吸附在冷却盘管上的功能，本案使用的是蛇形由下向上盘管的排布，按热力学规律冷却盘管彼此之间无交叉，盘管最底端连接冷却管道进口管路3，最上端靠近冷却室防护罩顶端的冷却盘管连接冷却管道出口管路31，以满足最优冷却效果。当真空腔室的真空泵启动时，由气缸5打开冷却室防护罩1，防护罩远离底座11，冷却盘管完全露出在真空腔体内，此时真空腔体6内空气中的水汽被快速吸附在冷却盘管2上，达到水气分离的目的，然后由真空泵将气体排出，增加了腔体内负压的快速实现，进而实现了加快真空排气速度的目的。当抽真空结束，气缸5将冷却室防护罩1落回底座11上。本方案能够瞬间实现水汽分离的功能，因此对抽真空的制程无明显负效应，并且因水汽分离，真空泵的抽气速率变快，由传统的单门循环周期在30~35分钟加快至单门循环周期在25~30分钟，单门周期至少缩短5分钟，关键的，因为新增的水汽分离装置，解决了受季节环境湿度变化导致的生产周期不稳定问题，并且解决了生产过程中因设备真空度不足造成的产品色差问题。
[0021]
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征
进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。