多工位点胶机的上下料传送机构及具有其的多工位点胶机的制作方法

1.本实用新型属于点胶技术领域，具体涉及一种多工位点胶机的上下料传送机构及具有其的多工位点胶机。


背景技术：

2.随着经济技术的飞速发展，市场对半导体需求的不断增加，晶圆是制造半导体芯片的基本材料，而半导体芯片生产过程中，对晶圆点胶是必不可少的步骤，然而，传统的人工胶枪点胶方法，生产效率低，胶水的流速不均匀，极易导致出胶量过多，生产质量不过关。
3.现有的自动化点胶机多是采用多个机械手进行取料、将物料送至加工单元，点胶加工完毕后，将物料取出后出料。现有的点胶机通常采用多个机械手协作，占用空间大，能耗高。并且现有的上下料机构不能够灵将物料输送至任一位置，灵活性较差。


技术实现要素：

4.本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。
5.为此，本实用新型提出一种多工位点胶机的上下料传送机构，该多工位点胶机的上下料传送机构具有准确高效地上下料，方便维修，省时高效等优点。
6.本实用新型还提出一种多工位点胶机，该多工位点胶机具有结构紧凑，点胶效率高等优点。
7.根据本实用新型第一方面实施例的多工位点胶机的上下料传送机构，设于多工位点胶机的上下料机体内以驱动活动件活动，所述上下料传送机构包括：侧板，所述侧板沿所述上下料机体的长度方向延伸地设于所述上下料机体内，所述侧板的一侧形成为安装面；输送轨，所述输送轨沿所述上下料机体的长度方向延伸地设于所述安装面，所述活动件可活动地设于所述输送轨；上下料驱动件，所述上下料驱动件设于所述安装面，所述上下料驱动件与所述活动件相连以驱动所述活动件活动。
8.根据本实用新型实施例多工位点胶机的上下料传送机构，设于多工位点胶机的上下料机体内以驱动活动件活动，通过将侧板、输送轨和上下料驱动件相结合，保证了活动件可以在输送轨上做往复运动，从而可以实现将物料输送到任一指定工位的效果。
9.根据本实用新型一个实施例，所述上下料机体形成为开口向下的匚形，所述上下料机体的每个支脚上分别设有料口，所述侧板设在两个所述支脚之间且所述侧板的两端分别与两个所述支脚相连。
10.根据本实用新型一个实施例，所述侧板形成为长条形，所述侧板设于所述上下料机体的底部且与所述两个支脚的下部相连。
11.根据本实用新型一个实施例，所述侧板上设有检修口。
12.根据本实用新型一个实施例，所述输送轨形成为长条形，所述输送轨上设有连通所述上下料驱动件和所述活动件上的取料件柔性电缆。
13.根据本实用新型一个实施例，所述上下料驱动件形成为设在所述安装面上的电
机。
14.根据本实用新型一个实施例，所述上下料驱动件形成为沿所述侧板的长度方向延伸的直线电机。
15.根据本实用新型一个实施例，多工位点胶机的上下料传送机构还包括：支撑板，所述支撑板设于所述侧板下方以支撑所述侧板，所述支撑板的两端分别与两个所述支脚的下端相连。
16.根据本实用新型第二方面实施例的一种多工位点胶机，包括所述多工位点胶机的上下料传送机构。
17.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
18.本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
19.图1是根据本实用新型实施例的多工位点胶机的上下料传送机构的局部结构示意图；
20.图2是根据本实用新型实施例的多工位点胶机的上下料传送机构的多工位点胶机结构示意图；
21.图3是根据本实用新型实施例的多工位点胶机的上下料传送机构的结构示意图。
22.附图标记：
23.多工位点胶机1000；
24.料口112；支脚114；侧板115；安装面116；检修口117；输送轨118；
25.活动件120；取料件柔性电缆121；支撑板122；
26.上下料传送机构150。
具体实施方式
27.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
28.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
29.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地
连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
30.如图1至图3所示，根据本实用新型实施例多工位点胶机1000的上下料传送机构150，设于多工位点胶机1000的上下料机体内以驱动活动件120活动，上下料传送机构150包括：侧板115、输送轨118和上下料驱动件。
31.具体而言，侧板115沿上下料机体的长度方向延伸地设于上下料机体内，侧板115的一侧形成为安装面116，输送轨118沿上下料机体的长度方向延伸地设于安装面116，活动件 120可活动地设于输送轨118，上下料驱动件设于安装面116，上下料驱动件与活动件120 相连以驱动活动件120活动。
32.换言之，多工位点胶机1000的上下料传送机构150设于多工位点胶机1000的上下料机体内部，上下料传送机构150由侧板115、输送轨118和上下料驱动件组成。其中，侧板115 位于上下料机体内并且沿上下料机体的长度方向延伸，侧板115的一侧形成为安装面116，输送轨118沿上下料机体的长度方向延伸地设于安装面116。输送轨118上设有活动件120，活动件120通过上下料驱动件驱动可在输送轨118上做往复运动，上下料驱动件可设于安装面116上。
33.由此，根据本实用新型实施例多工位点胶机1000的上下料传送机构150，设于多工位点胶机1000的上下料机体内以驱动活动件120活动，通过将侧板115、输送轨118和上下料驱动件相结合，保证了活动件120可以在输送轨118上做往复运动，从而可以实现将物料输送到指定工位的效果。
34.根据本实用新型的一个实施例，上下料机体形成为开口向下的匚形，上下料机体的每个支脚114上分别设有料口112，侧板115设在两个支脚114之间且侧板115的两端分别与两个支脚114相连。也就是说，通过将上下料机体设置为开口向下的匚形，使得多工位点胶机 1000整体结构更加紧凑，空间得到更完善地利用。并且，在上下料机体的每个支脚114上分别设有料口112，更便于上下料机构的送料与取料，不仅节省整体的空间更节省输送物料的时间，提高整体加工效率。侧板115设在两个支脚114之间且侧板115的两端分别与两个支脚114相连，可以起到很好地支撑作用。
35.在本实用新型的一些具体实施方式中，侧板115形成为长条形，侧板115设于上下料机体的底部且与两个支脚114的下部相连。通过将侧板115设计为长条形，并设于上下料机体的底部且与两个支脚114的下部相连，可以使上下料机构整体结构更加稳固、紧凑，并且便于上下料驱动件的安装与拆卸。
36.根据本实用新型的一个实施例，侧板115上设有检修口117。也就是说，由于机器长期工作会出现一些故障甚至老化，为了后期维修的方便，可以选择在侧板115上设计检修口 117，维修人员可以通过检修口117进行维修、更换零部件，不仅可以节约时间，而且不会破坏整体结构。
37.可选地，输送轨118形成为长条形，输送轨118上设有连通上下料驱动件和活动件120 上的取料件柔性电缆121。上下料驱动件和取料件之间由柔性电缆121相连，柔性电缆121 设于长条形输送轨118上，上下料驱动件驱动活动件120在输送轨118上来回往复运动，便于取料件输送晶圆到指定工位。
38.根据本实用新型的一个实施例，上下料驱动件形成为设在安装面116上的电机。也就是说，上下料驱动件可以为电机，电机可以平稳地为活动件120持续提供动力源，从而驱动活动件120并带动其上方的取料件输送晶圆，最终使得上下料机构起到上下料的作用。
39.可选地，上下料驱动件形成为沿侧板115的长度方向延伸的直线电机。上下料驱动件可以为直线电机并沿侧板115的长度方向延伸，直线电机结构简单，运动惯量减少，动态响应性能和定位精度大大提高。同时也提高了可靠性，节约了成本，使制造和维护更加简便。
40.优选地，多工位点胶机1000的上下料传送机构150还包括：支撑板122，支撑板122 设于侧板115下方以支撑侧板115，支撑板122的两端分别与两个支脚114的下端相连。通过在侧板115下方设置支撑板122，并且支撑板122的两端分别与两个支脚114的下端相连，从而可以起到对上下料机体的支撑作用，保证了结构的稳定性。
41.总而言之，根据本实用新型实施例中的多工位点胶机1000的上下料传送机构150及具有其的多工位点胶机1000，通过将侧板115、输送轨118和上下料驱动件相结合，在上下料机体两端设有料口112，活动件120可在两端料口112之间往复活动，从而多工位点胶机1000的上下料机构及具有其的多工位点胶机1000能够实现准确高效地上下料，将晶圆输送到指定工位完成相应的操作。并且通过在侧板115设有检修口117，更加便于后续的机械维修，节省时间，提高工作效率。
42.根据本实用新型实施例的多工位点胶机1000包括根据上述任一实施例的多工位点胶机 1000的上下料传送机构150，由于根据本实用新型实施例的多工位点胶机1000的上下料传送机构150具有上述技术效果，因此，根据本实用新型实施例的多工位点胶机1000也具有相应的技术效果，即能够高效输送晶圆，准确上下料，便于维修。
43.根据本实用新型实施例的多工位点胶机1000的其他结构和操作对于本领域技术人员而言都是可以理解并且容易实现的，因此不再详细描述。
44.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
45.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。