N型parylene真空涂覆设备的制作方法

本实用新型涉及真空涂覆技术领域，具体为n型parylene真空涂覆设备。

背景技术：

派瑞林涂层是一种高分子热可塑性聚合体，由单体对二甲苯在真空状态下均匀分布在被涂装物的缝隙和表层然后聚合。运用气相沉积的处理技术，可以于物体表面均匀形成薄膜。沉积过程主要为真空条件下以120c将固态粉末末状的对二甲苯的二聚物加热汽化，再以650摄氏度将气态的对二甲苯的二聚物裂解为对二甲苯的活性单体，最后气态活性单体在室温下沉积并聚合成聚对二甲苯的薄膜。但是在二甲苯的活性单体进入至常温沉积室进行沉积时其进入方向得不到很好的控制，常温沉积室的温度较低因此在输送的过程中与常温沉积室的内壁接触后容易沉积，使得需要镀膜的装置上镀膜速度慢不均匀，因此急需要一种装置来解决上述问题，使得的活性单体进入至常温沉积室的方向得到控制可以充分的落入至需要镀膜的物体上。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供n型parylene真空涂覆设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：n型parylene真空涂覆设备，包括角度调节装置，所述角度调节装置中安装有角度盘，所述角度盘的内部转动安装有转动盘，所述转动盘的一端固定连接有指示杆，所述转动盘的外端面固定安装有转动杆，所述转动杆的前端固定安装有旋拧手轮，所述角度盘远离旋拧手轮的端面固定安装有固定盘，所述固定盘上均匀开设有固定安装孔，所述固定盘的中部贯穿转动安装有连接杆，所述连接杆上对称固定安装有固定板，所述固定板的两端均对称螺纹转动插接有紧固螺栓，所述固定板之间固定安装有隔挡板，所述隔挡板的底部安装有支撑底板，所述支撑底板的内部卡接有电加热板，所述支撑底板的上端面固定安装有密封板。

优选的，所述连接杆远离固定板的一端与转动盘固定连接。

优选的，所述密封板、电加热板和支撑底板的边缘均开设有螺纹固定孔，且所述紧固螺栓螺纹转动插接在螺纹固定孔的内部。

优选的，所述密封板和支撑底板的外端面均设为光滑状。

优选的，所述指示杆的前端指示在角度盘上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型通过固定盘上开设的固定安装孔进行固定安装，并且使得安装后的隔挡板位于常温沉积室的内部入口处，从而通过外力转动旋拧手轮使得转动杆和转动盘转动，从而带动连接杆和隔挡板的转动和角度调节，通过隔挡板可以对进入至常温沉积室的气态活性单体进行隔挡，并且改变气态活性单体的输送路径，使得活性单体可以充分的落在需要镀膜的物件上，并且在通过转动旋拧手轮控制隔挡板的转动和角度改变时通过观察指示杆指示在角度盘上的位置即可准确的对隔挡板的角度和位置进行控制，使得隔挡板具有很好的隔挡效果，并且隔挡板中密封板和支撑底板内部安装了电加热板，通过电加热板可以对密封板和支撑底板加热，从而使得在利用隔挡板对气态活性单体进行隔挡时遇到温度较高的隔挡板时不会在隔挡板的外端面进行沉积镀膜，只有落在温度较低需要镀膜的物件的外表面上才会进行均匀的镀膜，因此隔挡板在改变气态活性单体的输送角度放置与常温沉积室的内壁接触时也不会对气态的活性单体镀膜进行影响，并且通过外部控制装置可以控制电加热板对隔挡板整体的加热温度。

附图说明

图1为本实用新型的主体结构示意图；

图2为本实用新型的角度调节装置结构示意图；

图3为本实用新型的角度调节装置侧视图；

图4为本实用新型的隔挡板拆分示意图。

图中：1-隔挡板、2-角度调节装置、3-转动盘、4-指示杆、5-角度盘、6-转动杆、7-旋拧手轮、8-固定安装孔、9-固定盘、10-固定板、11-连接杆、12-紧固螺栓、13-密封板、14-电加热板、15-支撑底板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供的一种实施例：n型parylene真空涂覆设备，包括角度调节装置2，角度调节装置2中安装有角度盘5，角度盘5的内部转动安装有转动盘3，转动盘3的一端固定连接有指示杆4，转动盘3的外端面固定安装有转动杆6，转动杆6的前端固定安装有旋拧手轮7，角度盘5远离旋拧手轮7的端面固定安装有固定盘9，固定盘9上均匀开设有固定安装孔8，固定盘9的中部贯穿转动安装有连接杆11，连接杆11上对称固定安装有固定板10，固定板10的两端均对称螺纹转动插接有紧固螺栓12，固定板10之间固定安装有隔挡板1，隔挡板1的底部安装有支撑底板15，支撑底板15的内部卡接有电加热板14，支撑底板15的上端面固定安装有密封板13。

连接杆11远离固定板10的一端与转动盘3固定连接，密封板13、电加热板14和支撑底板15的边缘均开设有螺纹固定孔，且紧固螺栓12螺纹转动插接在螺纹固定孔的内部，密封板13和支撑底板15的外端面均设为光滑状，指示杆4的前端指示在角度盘5上，通过固定盘9上开设的固定安装孔8进行固定安装，并且使得安装后的隔挡板1位于常温沉积室的内部入口处，从而通过外力转动旋拧手轮7使得转动杆6和转动盘3转动，从而带动连接杆11和隔挡板1的转动和角度调节，通过隔挡板1可以对进入至常温沉积室的气态活性单体进行隔挡，并且改变气态活性单体的输送路径，使得活性单体可以充分的落在需要镀膜的物件上，并且在通过转动旋拧手轮7控制隔挡板1的转动和角度改变时通过观察指示杆4指示在角度盘5上的位置即可准确的对隔挡板1的角度和位置进行控制，使得隔挡板1具有很好的隔挡效果，并且隔挡板1中密封板13和支撑底板15内部安装了电加热板14，通过电加热板14可以对密封板13和支撑底板15加热，从而使得在利用隔挡板1对气态活性单体进行隔挡时遇到温度较高的隔挡板1时不会在隔挡板1的外端面进行沉积镀膜，只有落在温度较低需要镀膜的物件的外表面上才会进行均匀的镀膜，因此隔挡板1在改变气态活性单体的输送角度放置与常温沉积室的内壁接触时也不会对气态的活性单体镀膜进行影响，并且通过外部控制装置可以控制电加热板14对隔挡板1整体的加热温度。

工作原理：通过固定盘9上开设的固定安装孔8进行固定安装，并且使得安装后的隔挡板1位于常温沉积室的内部入口处，从而通过外力转动旋拧手轮7使得转动杆6和转动盘3转动，从而带动连接杆11和隔挡板1的转动和角度调节，通过隔挡板1可以对进入至常温沉积室的气态活性单体进行隔挡，并且改变气态活性单体的输送路径，使得活性单体可以充分的落在需要镀膜的物件上，并且在通过转动旋拧手轮7控制隔挡板1的转动和角度改变时通过观察指示杆4指示在角度盘5上的位置即可准确的对隔挡板1的角度和位置进行控制，使得隔挡板1具有很好的隔挡效果，并且隔挡板1中密封板13和支撑底板15内部安装了电加热板14，通过电加热板14可以对密封板13和支撑底板15加热，从而使得在利用隔挡板1对气态活性单体进行隔挡时遇到温度较高的隔挡板1时不会在隔挡板1的外端面进行沉积镀膜，只有落在温度较低需要镀膜的物件的外表面上才会进行均匀的镀膜，因此隔挡板1在改变气态活性单体的输送角度放置与常温沉积室的内壁接触时也不会对气态的活性单体镀膜进行影响，并且通过外部控制装置可以控制电加热板14对隔挡板1整体的加热温度，本实用新型使用过程中可以通过改变隔挡板1的角度控制和调节来控制气态活性单体的输送方向，有效的避免了活性单体与常温沉积室的内壁接触沉积，从而使得需要镀膜的物件外表面镀膜均匀快速。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。