一种尾气处理滤桶的制作方法

本实用新型涉及电池片产品、半导体制造业尾气处理技术领域，更具体的是涉及尾气处理滤桶技术领域。

背景技术：

电池片产品、半导体制造过程中会产生大量的尾气，尾气处理是一个必要步骤，传统尾气处理滤桶只采用普通的滤网只可过滤一般的大颗粒物，处理不了其他杂质，导致其余粉尘都会进入真空泵腔体内导致真空泵寿命大大缩短，所以急需设计一款可以改造真空泵寿命的滤桶，提高真空泵寿命改善目前情况。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于：为了解决现有尾气处理滤筒只能过滤大颗粒物，导致其余粉尘都会进入真空泵腔体内导致真空泵寿命缩短的技术问题，本实用新型提供一种尾气处理滤桶。

本实用新型为了实现上述目的具体采用以下技术方案：

一种尾气处理滤桶，包括筒体和设置在筒体上的封盖，封盖上设置有进气口和出气口，所述筒体内并排设置有相互连通的一级冷却集尘机构和二级滤芯集尘机构，所述一级冷却集尘机构的进气端与进气口连通，二级滤芯集尘机构的出气端与出气口连通。

优选地，所述一级冷却集尘机构包括冷却外筒和套设在冷却外筒内部的冷却内筒，冷却外筒和冷却内筒顶部均与封盖密封连接，冷却外筒底部密封，冷却内筒底部开口与冷却外筒内部空间连通，进气口与冷却内筒内部连通，所述外筒侧壁上端开设有与二级滤芯集尘机构连通的连接管，所述冷却外筒和冷却内筒内部均设置有冷却机构。

优选地，所述冷却外筒和冷却内筒的轴心线重合。

更优地，所述冷却外筒内部的冷却机构为螺旋方式设置在冷却外筒内壁上的外冷却盘管，冷却内筒内部的冷却机构为螺旋方式设置在冷却内筒内壁上的内冷却盘管，内冷却盘管与外冷却盘管连通，所述进气口上设置有与内冷却盘管入口连通的进水管，封盖上设有与外冷却盘管出口连通的出水管。

更优地，进水管与出水管通过循环管道连通，循环管道上设置有循环泵。

更优地，所述二级滤芯集尘机构包括安装在筒体内的密封套和竖直设置在密封套内的过滤筒，过滤筒顶部与出气口连通，密封套侧壁顶部开设有与连接管连通的开口，过滤筒上均布有若干过滤孔。

更优地，所述密封套和过滤筒为圆筒状，密封套与过滤筒的轴心线重合。

本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型结构简单，工作时尾气从进气口进入到一级冷却集尘机构内进行冷却沉降，由于一级冷却集尘机构为套设的两级冷却筒体，进入一级冷却集尘机构的尾气首先从上到下进入到冷却内筒，在从冷却内筒底部进入到冷却外筒内，冷却外筒内的尾气从下到上进冷却后从冷却外筒侧壁顶部进入到二级滤芯集尘机构内过滤，满足要求的尾气进入到正空泵腔体，由于增加了尾气冷却机构，从而使尾气不容易卡泵提高真空泵寿命。

2、一级冷却集尘机构主要起到一个给尾气降温作用，让多余尾气尽快沉淀在二级滤芯集尘机构内，避免进入真空泵腔体内。

3、进水管与出水管通过循环管道连通，循环管道上设置有循环泵，形成一个循环作用，使冷却水一直循环流动起到一个一直降温的作用。

4、冷却外筒和冷却内筒的轴心线重合，使尾气冷却效果均匀，密封套与过滤筒的轴心线重合，这样的设置可以使尾气沉降更快速。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是图1没有尾气流向的结构示意图；

附图标记：1-,2-冷却外筒，3-冷却内筒，4-外冷却盘管，5-筒体，6-封盖，7-进水管，8-进气口，9-出水管，10-出气口，11-连接管，12-过滤筒，13-密封套，14-内冷却盘管。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型实施方式的描述中，需要说明的是，术语“内”、“外”、“上”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

实施例1

如图1到2所示，本实施例提供一种尾气处理滤桶，包括筒体5和设置在筒体5上的封盖6，封盖6上设置有进气口8和出气口10，所述筒体5内并排设置有相互连通的一级冷却集尘机构和二级滤芯集尘机构，所述一级冷却集尘机构的进气端与进气口8连通，二级滤芯集尘机构的出气端与出气口10连通。

所述一级冷却集尘机构包括冷却外筒2和套设在冷却外筒2内部的冷却内筒3，冷却外筒2和冷却内筒3顶部均与封盖6密封连接，冷却外筒2底部密封，冷却内筒3底部开口与冷却外筒2内部空间连通，进气口8与冷却内筒3内部连通，所述外筒2侧壁上端开设有与二级滤芯集尘机构连通的连接管11，所述冷却外筒2和冷却内筒3内部均设置有冷却机构。

本实用新型结构简单，工作时尾气从进气口进入到一级冷却集尘机构内进行冷却沉降，由于一级冷却集尘机构为套设的两级冷却筒体，进入一级冷却集尘机构的尾气首先从上到下进入到冷却内筒，在从冷却内筒底部进入到冷却外筒内，冷却外筒内的尾气从下到上进冷却后从冷却外筒侧壁顶部进入到二级滤芯集尘机构内过滤，满足要求的尾气进入到正空泵腔体，由于增加了尾气冷却机构，从而使尾气不容易卡泵提高真空泵寿命。

一级冷却集尘机构主要起到一个给尾气降温作用，让多余尾气尽快沉淀在二级滤芯集尘机构内，避免进入真空泵腔体内。

实施例2

本实施例是在实施例1的基础上做进一步的优化，具体是：

所述冷却外筒2和冷却内筒3的轴心线重合。

所述冷却外筒2内部的冷却机构为螺旋方式设置在冷却外筒2内壁上的外冷却盘管4，冷却内筒3内部的冷却机构为螺旋方式设置在冷却内筒3内壁上的内冷却盘管14，内冷却盘管14与外冷却盘管4连通，所述进气口8上设置有与内冷却盘管14入口连通的进水管7，封盖6上设有与外冷却盘管4出口连通的出水管9。

进水管7与出水管9通过循环管道连通，循环管道上设置有循环泵，形成一个循环作用，使冷却水一直循环流动起到一个一直降温的作用。

所述二级滤芯集尘机构包括安装在筒体5内的密封套13和竖直设置在密封套13内的过滤筒12，过滤筒12顶部与出气口10连通，密封套13侧壁顶部开设有与连接管11连通的开口，过滤筒12上均布有若干过滤孔。

所述密封套13和过滤筒12为圆筒状，密封套13与过滤筒12的轴心线重合。

冷却外筒和冷却内筒的轴心线重合，使尾气冷却效果均匀，密封套与过滤筒的轴心线重合，这样的设置可以使尾气沉降更快速。