负性光刻胶生产用搅拌溶解装置的制作方法

1.本实用新型涉及负性光刻胶技术领域，具体为负性光刻胶生产用搅拌溶解装置。


背景技术：

2.负性光刻胶又称光致抗蚀剂，是一种由感光树脂、增感剂(见光谱增感染料)和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体，感光树脂经光照后，在曝光区能很快地发生光固化反应，使得这种材料的物理性能，特别是溶解性、亲合性等发生明显变化。经适当的溶剂处理，溶去可溶性部分，得到所需图像(见图光致抗蚀剂成像制版过程)。光刻胶广泛用于印刷电路和集成电路的制造以及印刷制版等过程。光刻胶的技术复杂，品种较多。根据其化学反应机理和显影原理，可分负性胶和正性胶两类。光照后形成不可溶物质的是负性胶；反之，对某些溶剂是不可溶的，经光照后变成可溶物质的即为正性胶。利用这种性能，将光刻胶作涂层，就能在硅片表面刻蚀所需的电路图形。基于感光树脂的化学结构，光刻胶可以分为三种类型。
①
光聚合型，采用烯类单体，在光作用下生成自由基，自由基再进一步引发单体聚合，最后生成聚合物，具有形成正像的特点。
②
光分解型，采用含有叠氮醌类化合物的材料，经光照后,会发生光分解反应,由油溶性变为水溶性，可以制成正性胶。
③
光交联型，采用聚乙烯醇月桂酸酯等作为光敏材料,在光的作用下,其分子中的双键被打开，并使链与链之间发生交联，形成一种不溶性的网状结构，而起到抗蚀作用，这是一种典型的负性光刻胶。柯达公司的产品kpr胶即属此类。感光树脂在用近紫外光辐照成像时，光的波长会限制分辨率(见感光材料)的提高。为进一步提高分辨率以满足超大规模集成电路工艺的要求，必须采用波长更短的辐射作为光源。由此产生电子束、x射线和深紫外 (<250nm)刻蚀技术和相应的电子束刻蚀胶，x射线刻蚀胶和深紫外线刻蚀胶，光刻胶在接受一定波长的光或者射线时,会相应的发生一种光化学反应或者激励作用。光化学反应中的光吸收是在化学键合中起作用的处于原子最外层的电子由基态转入激励态时引起的。对于有机物，基态与激励态的能量差为 3～6ev，相当于该能量差的光(即波长为0.2～0.4μm的光)被有机物强烈吸收，使在化学键合中起作用的电子转入激励态。化学键合在受到这种激励时，或者分离或者改变键合对象，发生化学变化。电子束、x射线及离子束(即被加速的粒子)注入物质后，因与物质具有的电子相互作用，能量逐渐消失。电子束失去的能量转移到物质的电子中，因此生成激励状态的电子或二次电子或离子。这些电子或离子均可诱发光刻胶的化学反应。
3.现有的负性光刻胶生产用搅拌溶解装置，在使用过程中，由于在搅拌混合过程中，混合溶液中的物质具备移动粘性，随着搅拌混合的操作过程中，部分混合溶液粘附在箱体内壁上，在混合搅拌完毕并完成液体抽出后，仍然有部分粘附在箱体内壁上，抽出效果较差，残留混合溶液清洁不便，使用效果不佳。


技术实现要素：

4.针对现有技术的不足，本实用新型提供了负性光刻胶生产用搅拌溶解装置，具备便于清洁粘附液体以及便于拆装搅拌机构的优点，解决了上述背景技术中提到的问题。
5.本实用新型提供如下技术方案：负性光刻胶生产用搅拌溶解装置，包括箱体，所述箱体的顶面设有盖板，所述盖板的顶面固定连接有电机座，所述电机座的顶面固定安装有电机，所述电机的输出轴固定连接有转轴，所述转轴的下端穿过盖板并延伸至箱体的内部，所述箱体内表面的底面固定连接有固定套，所述固定套的外表面活动套接有活动套，所述活动套的内表面固定套接有固定环，所述固定环的内侧面固定连接有卡块，所述卡块的外表面与转轴活动卡接，所述活动套的侧面固定连接有连接板，所述连接板的端面固定连接有清理杆，所述转轴的外表面固定连接有搅拌板。
6.优选的，所述转轴的底面开设有卡槽，所述卡槽的内表面与卡块活动卡接。
7.优选的，所述固定套的外表面固定套接有套环，所述活动套的内表面固定套接有卡环，所述卡环位于套环的外侧。
8.优选的，所述箱体的侧面固定连接有固定板，所述盖板的侧面固定连接有横板，所述横板的底面固定连接有套板，所述套板的内表面与固定板活动卡接，所述套板的底面螺纹套接有固定螺栓。
9.优选的，所述箱体的顶面开设环槽，所述环槽的内表面固定卡接有密封垫。
10.优选的，所述盖板的顶面固定连通有进料管，所述进料管的内表面活动套接有密封塞。
11.与现有技术对比，本实用新型具备以下有益效果：
12.1、该负性光刻胶生产用搅拌溶解装置，通过在箱体的底面固定安装固定套，并在固定套的外表面活动套接活动套，利用转轴旋转带动活动套旋转，实现活动套侧面上的连接板的转动，进而带动连接板端面上的清理杆的旋转，在混合搅拌过程中，清理杆始终沿着箱体内壁旋转，使得混合液体不会粘附在箱体内壁上，在混合液体抽出过程中保证充分抽出，避免残留，减小清洁难度，提高加工效率，使用效果好。
13.2、该负性光刻胶生产用搅拌溶解装置，通过在箱体的外表面固定连接有固定板，并在盖板的侧面固定连接横板，利用横板连接套板，使得套板与固定板套接，通过旋转固定螺栓实现盖板的固定，在进行拆卸时，旋出固定螺栓并旋转盖板，吊起盖板即可完成搅拌机构(由转轴、电机、搅拌板组成)，便于维修清洁搅拌板，延长使用寿命，使用效果好。
附图说明
14.图1为本实用新型结构示意图；
15.图2为本实用新型结构箱体的剖视图
16.图3为图2中a处的结构放大示意图；
17.图4为图2中b处的结构放大示意图；
18.图5为本实用新型结构固定套和活动套之间的爆炸示意图。
19.图中：1、箱体；2、盖板；3、电机座；4、电机；5、转轴；6、搅拌板； 7、固定套；8、活动套；9、固定环；10、卡块；11、卡槽；12、卡环；13、套环；14、连接板；15、清理杆；16、进料管；17、密封塞；18、固定板； 19、套板；20、横板；21、固定螺栓；22、环槽；23、密封垫。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行
清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.请参阅图1
‑
5，负性光刻胶生产用搅拌溶解装置，包括箱体1，箱体1的顶面设有盖板2，盖板2的顶面固定连接有电机座3，电机座3的顶面固定安装有电机4，电机4的输出轴固定连接有转轴5，转轴5的下端穿过盖板2并延伸至箱体1的内部，箱体1内表面的底面固定连接有固定套7，固定套7的外表面活动套接有活动套8，活动套8的内表面固定套接有固定环9，固定环 9的内侧面固定连接有卡块10，卡块10的外表面与转轴5活动卡接，活动套 8的侧面固定连接有连接板14，连接板14的端面固定连接有清理杆15，转轴 5的外表面固定连接有搅拌板6。
22.其中，转轴5的底面开设有卡槽11，卡槽11的内表面与卡块10活动卡接，利用卡块10和卡槽11的活动卡接，使得转轴5的转动能够带动固定环9 旋转，进而实现清理杆15的旋转。
23.其中，固定套7的外表面固定套接有套环13，活动套8的内表面固定套接有卡环12，卡环12位于套环13的外侧，卡环12的数量为两个，两个卡环分别位于套环13的上下两侧，保证活动套8的稳定旋转。
24.其中，箱体1的侧面固定连接有固定板18，盖板2的侧面固定连接有横板20，横板20的底面固定连接有套板19，套板19的内表面与固定板18活动卡接，套板19的底面螺纹套接有固定螺栓21，利用固定螺栓21实现对套板19的夹紧固定。
25.其中，箱体1的顶面开设环槽22，环槽22的内表面固定卡接有密封垫 23，利用环形的密封垫23，实现对箱体1顶面的密封。
26.其中，盖板2的顶面固定连通有进料管16，进料管16的内表面活动套接有密封塞17，打开密封塞17即可实现原料的注入或混合溶液的抽出，避免工作时进入灰尘。
27.工作原理：旋开密封塞17，向进料管16注入原料，启动电机4，使得电机4带动转轴5转动，转轴5转动时通过卡接的卡块10带动固定环9旋转，并使得固定套接在固定环9外表面上的活动套8旋转，进而使得活动套8侧面上的连接板14带动清理杆15旋转，清理杆15沿着箱体1内表面旋转，附着在箱体1内表面上的混合液体刮除；需要进行拆下时，旋出固定螺栓21，并旋转盖板2，使得套板19与固定板18脱离，利用吊装设备对盖板2进行吊出即可。
28.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
29.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。