药液存储槽的制作方法

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种药液存储槽。

背景技术：

化工药液在工业生产中使用广泛，通常使用药液存储槽对化工药液进行储存。由于一些化工药液中含有难溶解的颗粒物，因此，在化工药液的储存过程中，难溶解的颗粒物会沉积在药液存储槽的底部并形成沉淀物，进而需要对药液存储槽进行定期清洗，费时费力。同时，由于难溶解的颗粒物在重力作用下沉积在药液存储槽的底部，导致该种物质在化工药液中不同液层的浓度不同，影响使用。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提出一种药液存储槽，其可保证药液浓度和降低清洗成本。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

提供的一种药液存储槽，包括外壳、循环管道和搅拌装置，所述外壳具有用于容纳药液的容纳腔，所述循环管道的第一端设置于所述外壳靠近其顶部的一侧，所述循环管道的第二端设置于所述外壳靠近其底部的一侧，并使所述药液能够通过所述循环管道从所述容纳腔的底部流至所述容纳腔的顶部，所述搅拌装置设置于所述容纳腔的底部，所述搅拌装置用于搅拌位于所述容纳腔底部的所述药液。

作为药液存储槽的一种优选方案，所述搅拌装置为旋桨式搅拌器，所述旋桨式搅拌器到所述外壳顶部的距离大于所述循环管道的第二端到所述外壳顶部的距离。

作为药液存储槽的一种优选方案，所述搅拌装置为涡轮式搅拌器，所述涡轮式搅拌器的扇叶与所述循环管道的第二端位于同一水平面上。

作为药液存储槽的一种优选方案，所述循环管道的第一端位于所述药液的液面下侧。

作为药液存储槽的一种优选方案，所述循环管道的第一端设置有软管，所述软管活动设置于所述容纳腔的腔壁上，并使所述软管的出口端能够沿竖直方向运动。

作为药液存储槽的一种优选方案，所述循环管道上设置有水泵，所述水泵的进口端与所述循环管道的第二端连通，所述水泵的出口端与所述循环管道的第一端连通。

作为药液存储槽的一种优选方案，还包括控制器，所述水泵和所述搅拌装置均与所述控制器电连接。

作为药液存储槽的一种优选方案，所述容纳腔的底面与水平面呈夹角设置。

作为药液存储槽的一种优选方案，还包括排放管道，所述排放管道设置于所述外壳的底部。

作为药液存储槽的一种优选方案，所述容纳腔的横截面呈圆形。

本实用新型相比于现有技术的有益效果：

本实用新型的药液存储槽，通过设置循环管道和搅拌装置，容纳腔的底部的药液通过循环管道向容纳腔的顶部流动，促进药液混合均匀以及避免药液中的颗粒物沉积在底板上。搅拌装置对位于容纳腔底部的药液进行搅动，使颗粒物漂浮在药液中，进一步避免颗粒物沉积在底板上，具有保证药液浓度和降低清洗成本的特点。

附图说明

图1为实施例一的药液存储槽的剖视图。

图2为实施例四的药液存储槽的剖视图。

图中：

1、外壳；10、容纳腔；11、侧壁；12、底板；13、排放管道；14、进液口；15、出液口；16、支撑杆；2、搅拌装置；3、循环管道；30、水泵；31、软管；4、液面。

具体实施方式

参考下面结合附图详细描述的实施例，本实用新型的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本实用新型不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本实用新型的公开并且使本领域技术人员充分地了解本实用新型的范围，并且本实用新型仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。

以下，参照附图来详细描述本实用新型。

实施例一

参照图1所示，提供一种药液存储槽，包括外壳1、循环管道3和搅拌装置2。其中，外壳1为金属材料制成的罐状容器，外壳1具有用于容纳药液的容纳腔10，外壳1的材料应具有良好的抗腐蚀性和抗压强度，以满足药液的储存要求。外壳1包括呈圆筒状的侧壁11和位于外壳1的底部的底板12，侧壁11和底板12围设形成容纳腔10，容纳腔10的横截面呈圆形。循环管道3上设置有水泵30，水泵30的进口端与循环管道3的第二端连通，水泵30的出口端与循环管道3的第一端连通。循环管道3的第一端和第二端均设置于外壳1的侧壁11上，且循环管道3的第一端位于靠近外壳1的顶部的一侧，循环管道3的第二端位于靠近外壳1的底部的一侧。侧壁11上开设有进液口14和出液口15，循环管道3的第一端通过进液口14与容纳腔10连通，循环管道3的第二端通过出液口15与容纳腔10连通。水泵30驱动容纳腔10底部的药液通过循环管道3向容纳腔10的顶部流动，实现药液在容纳腔10的顶部和底部循环流动，有利于使位于顶部和底部的药液相互融合，避免出现药液在不同液层中浓度不同的问题。药液中的颗粒物在药液储存过程中会在重力作用下向容纳腔10的底部运动，通过循环管道3使位于容纳腔10底部的药液流向容纳腔10的顶部，可避免颗粒物在底板12上沉积，进而避免药液中的颗粒物含量降低，以及减少对底板12的清洗工作。搅拌装置2设置于容纳腔10的底部，搅拌装置2安装在底板12上，搅拌装置2用于对位于容纳腔10的底部的药液进行搅动，以使药液中的颗粒物漂浮在药液中，避免颗粒物沉积在底板12上。

具体地，药液存储槽还包括控制器，水泵30和搅拌装置2均与控制器电连接。控制器用于控制水泵30和搅拌装置2的启停以及输出功率。控制器可根据药液中颗粒物的含量、颗粒物的大小以及颗粒物的沉积速率控制水泵30和搅拌装置2的输出功率，节约能源。

具体地，循环管道3的第一端位于药液的液面4的下侧。可以理解的是，循环管道3的第一端为循环管道3的出口端，循环管道3的第一端与侧壁11上的进液口14连接，循环管道3内的药液从进液口14流至容纳腔10内。将循环管道3的第一端设于液面4的下侧，可避免药液从循环管道3流出时激起波浪和引起噪音，以及避免液面4上发生药液飞溅。

具体地，药液存储槽还包括排放管道13，排放管道13设置于外壳1的底部。本实施例中，排放管道13用于排放容纳腔10内的药液，排放管道13通过排液口与容纳腔10连通，排液口位于容纳腔10的底部，以使排放药液时利于排尽。

实施例二

参照图1所示，搅拌装置2为旋桨式搅拌器，旋桨式搅拌器包括驱动电机、连接轴和扇叶，驱动电机设置于底板12背离容纳腔10的一侧面，连接轴用于传递动力，连接轴的一端与驱动电机连接，连接轴的另一端穿过底板12并延伸至容纳腔10内，扇叶安装在连接轴位于容纳腔10内的一端。底板12为圆形板，连接轴与底板12同轴设置，以使旋桨式搅拌器位于底板12的中部。扇叶与底板12间隔，以避免扇叶转动时与底板12干涉。旋桨式搅拌器转动时，由于被扇叶驱动的药液的流向与连接轴方向平行，扇叶可驱动附近区域的药液从靠近底板12的一侧向容纳腔10的顶部流动，避免药液中的颗粒物在底板12上沉积。旋桨式搅拌器到外壳1的顶部的距离大于循环管道3的第二端到外壳1的顶部的距离，循环管道3的第二端通过出液口15与容纳腔10连通，即旋桨式搅拌器在侧壁11上的正投影位于出液口15的下方。位于容纳腔10底部的药液被扇叶驱动向上流动，部分药液通过位于扇叶上方的出液口15进入循环管道3，实现药液循环流动。由于药液中的颗粒物很难通过扇叶的驱动从底部运动至顶部，因此，可通过扇叶的驱动使颗粒物在扇叶的上方区域漂浮，再通过位于扇叶上方的出液口15进入循环管道3，进而流至容纳腔10的顶部。该结构可进一步保证药液在容纳腔10内的循环流动，避免颗粒物沉积。

实施例三

参照图1所示，搅拌装置2为涡轮式搅拌器，涡轮式搅拌器包括驱动电机、连接轴和扇叶，驱动电机设置于底板12背离容纳腔10的一侧面，连接轴用于传递动力，连接轴的一端与驱动电机连接，连接轴的另一端穿过底板12并延伸至容纳腔10内，扇叶安装在连接轴位于容纳腔10内的一端。底板12为圆形板，连接轴与底板12同轴设置，以使涡轮式搅拌器位于底板12的中部。扇叶与底板12间隔，以避免扇叶转动时与底板12干涉。涡轮式搅拌器转动时，由于被扇叶驱动的药液的流向与连接轴方向垂直，扇叶可驱动附近区域的药液从扇叶的中部位置向扇叶的周部位置流动，即扇叶附近区域的药液从容纳腔10的中部向侧壁11流动，促使颗粒物在药液中漂浮，避免在底板12上沉积。涡轮式搅拌器的扇叶与循环管道3的第二端位于同一水平面上，即出液口15位于扇叶的周部位置。药液被扇叶驱动向其周部流动，部分药液通过位于扇叶周部位置的出液口15进入循环管道3，实现药液循环流动。该结构可保证药液在容纳腔10内的循环流动，避免颗粒物沉积。

实施例四

参照图2所示，循环管道3的第一端设置有软管31，软管31活动设置于容纳腔10的腔壁上，并使软管31的出口端能够沿竖直方向运动。本实施例中，循环管道3的第一端穿过开设于侧壁11上的进液口14并延伸至容纳腔10内，循环管道3与进液口14之间密封连接，循环管道3的第二端与开设于侧壁11上的出液口15连接，实现容纳腔10底部的药液通过循环管道3向容纳腔10的顶部流动。循环管道3的第一端连接有软管31，侧壁11靠近容纳腔10的一侧面设置有支撑杆16，支撑杆16沿竖直方向设置，软管31的出口端通过滑块与支撑杆16活动连接，以使软管31的出口端能够沿支撑杆16的长度方向运动。在使用药液时，药液的液面4会随着用量的增加而下降，该结构可以使软管31的出口端沿竖直方向运动，以保证软管31的出口端保持在液面4以下。

实施例五

参照图2所示，容纳腔10的底面与水平面呈夹角设置。本实施例中，侧壁11沿竖直方向设置，底板12与水平方向呈夹角设置，以使容器腔的底面倾斜，即底板12的第一端到液面4的距离小于底板12的第二端到液面4的距离。排放管道13安装在位于底板12的第二端的位置，排放管道13与容纳腔10连通，该结构利于排放药液时排尽。

当然，本实施例中还可以将搅拌装置2与底板12平行设置，即搅拌装置2的连接轴与底板12垂直。该结构使搅拌装置2倾斜设置在容纳腔10内，搅拌时，由于药液的流动方向不对称，可避免药液呈现旋涡状。

本实施例的技术效果为：通过设置循环管道3和搅拌装置2，容纳腔10的底部的药液通过循环管道3向容纳腔10的顶部流动，促进药液混合均匀以及避免药液中的颗粒物沉积在底板12上。搅拌装置2对位于容纳腔10底部的药液进行搅动，使颗粒物漂浮在药液中，进一步避免颗粒物沉积在底板12上，具有保证药液浓度和降低清洗成本的特点。

尽管上面已经参考附图描述了本实用新型的实施例，但是本实用新型不限于以上实施例，而是可以以各种形式制造，并且本领域技术人员将理解，在不改变本实用新型的技术精神或基本特征的情况下，可以以其他特定形式来实施本实用新型。因此，应该理解，上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。