一种氯硅烷废气雾化处理装置的制作方法

本发明属于氯硅烷废气处理技术领域，具体涉及一种氯硅烷废气处理装置。

背景技术：

亚硅尾气处理系统主要处理硅烷气(二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅等含有氢气、氮气)，处理后的尾气成分中主要是氮气，通过水喷淋处理后，硅烷气水解成二氧化硅、氯化氢，当处理量较大(例如利用多达20组淋洗塔)时，若是单塔进气阀门没控制好，气量大会导致尾气处理不充分，例如二氧化硅会随着氮气排到大气，看见白色烟雾。再有，氯化氢气体也会随机排到大气，影响空气。为了全天候、全程达到100％合格，急需对亚硅尾气处理系统进行装置技改工作。

技术实现要素：

本发明针对现有技术的缺陷提供了一种氯硅烷废气处理装置。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

一种氯硅烷废气雾化处理装置，包括氯硅烷净化装置，所述氯硅烷净化装置的输入端连接有雾化装置，所述雾化装置的输入端连接有氯硅烷废气收集装置的输出端或直接与废气输出端相连接，所述氯硅烷废气进入所述雾化装置后，所述氯硅烷废气被水雾分子充分网捕，所述氯硅烷废气与所述水雾一同进入所述氯硅烷净化装置，被网捕的氯硅烷废气在所述氯硅烷净化装置中被充分净化。

进一步地，所述雾化装置包括雾化箱，所述雾化箱的底部固定有多组超声波雾化器，所述超声波雾化器与控制单元相电连接。

进一步地，当所述超声波雾化器为内置水槽式时，所述水槽的药液输入端连接有药液箱；当所述超声波雾化器为浸入雾化箱的药液内时，所述雾化箱的药液输入端连接有药液箱，所述药液箱输入的药液漫过所述超声波雾化器。

进一步地，所述药液漫过所述超声波雾化器1-10cm。

进一步地，还包括与所述控制单元相电连接的液位传感器，所述液位传感器的输入端与药液箱内部的污水净化装置的输出端相连接，所述污水净化装置的输入端与废液搜集装置的输出端相连接，所述废液搜集装置固定在所述氯硅烷净化装置的底部，所述污水净化装置内含有抽水电机。

进一步地，所述雾化装置包括雾化箱，位于雾化箱底部的旋转电机，所述旋转电机的电机轴穿过雾化箱后连接有旋转箱，所述旋转箱的底部固定有水平的雾化板，所述雾化板与喷管的出口相对，所述喷管的入口连接有空气压缩机；所述旋转箱的顶部设置有多块带开孔的喷雾板；所述喷管还连接有药液管的一端，所述药液管的另一端连接有供液装置。

进一步地，所述旋转箱的底部固定有多个鼓风装置；所述供液装置为药液箱，所述药液管的另一端与药液箱内部的污水净化装置的输出端相连接，所述污水净化装置的输入端与废液搜集装置的输出端相连接，所述废液搜集装置固定在所述氯硅烷净化装置的底部，所述污水净化装置内含有抽水电机。

进一步地，所述喷雾板为2-5块，相邻两块所述喷雾板的开孔交错设置。

进一步地，所述氯硅烷废气收集装置包括抽气电机，所述抽气电机通过管路与氯硅烷净化装置的废气排出部相连接；所述氯硅烷净化装置为喷淋塔、活性炭吸附装置、光催化装置、催化燃烧装置的一种。

进一步地，所述药液箱输出的药液为水或能够与氯化氢反应的无污染药液，反应生成固体颗粒及水。

与现有技术相比，本发明至少具有以下优点：

采用普通喷淋塔处理废气，喷淋雾化效果差，废气与水分子接触几率低，利用对人体及动物绝无伤害的电子高频震荡超声波(振荡频率为1.7mhz或2.4mhz，超过人的听觉范围)，通过陶瓷雾化片的高频谐振，将液态水分子结构打散而产生自然飘逸的水雾或利用喷射雾化技术产生水雾，再通过风扇或鼓风装置把雾从雾化装置底部吹向喷淋塔烟囱。使烟囱中形成致密水雾现象，增加水分子分散度，增加废气中污染物和水分子接触概率，提高水分子网捕作用。随着混合了水雾的烟气上升过程中和喷淋水接触，水雾被迅速凝结，形成含污染物的液滴落下收集，被清洗过的尾气排入大气，废气中水溶性污染物含量都得到消减。

本发明的网捕污物的水雾还可以与他过滤装置接触，扩大接触或反应面积，提高污物过滤效率。

本发明能实现废水的循环利用和废气的循环过滤。

附图说明

图1为本发明所述氯硅烷废气雾化处理装置的结构示意图；

图2为图1中s区域的结构图的俯视放大图(对应实施例1)；

图3为图1中s区域的结构图的侧视放大图(对应实施例1)；

图4为图1中s区域的雾化装置的结构图的侧视放大图(对应实施例2)。

附图标记：1、喷淋塔；2、废气输出端；3、氯硅烷废气收集装置的输出端；4、抽气电机；5、雾化箱；6、超声波雾化器；7、药液箱、8、液位传感器；9、污水净化装置；10、废液搜集装置；11、旋转电机；12、旋转箱；13、雾化板；14、喷管；15、空气压缩机；16、喷雾板；17、药液管；18、开孔；19、鼓风装置；20、出液口。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步详述，以下实施例只是描述性的，不是限定性的，不能以此限定本发明的保护范围。

一种氯硅烷废气雾化处理装置，包括氯硅烷净化装置，所述氯硅烷净化装置的输入端连接有雾化装置，所述雾化装置的输入端连接有氯硅烷废气收集装置的输出端3(输出废气排出部没有完全排完的废气)或直接与废气输出端2(输出外部直接供应的废气)相连接，所述氯硅烷废气进入所述雾化装置后，所述氯硅烷废气被水雾分子充分网捕，所述氯硅烷废气与所述水雾一同进入所述氯硅烷净化装置，被网捕的氯硅烷废气在所述氯硅烷净化装置中被充分净化。

所述氯硅烷废气收集装置包括抽气电机4，所述抽气电机4通过管路与氯硅烷净化装置的废气排出部相连接，用于将废气排出部没有完全排完的废气不断循环过滤。

所述氯硅烷净化装置为喷淋塔1、活性炭吸附装置、光催化装置、催化燃烧装置的一种。下两个实施例均以喷淋塔1为例。

实施例1

所述雾化装置包括雾化箱5，所述雾化箱5的底部固定有多组超声波雾化器6，所述超声波雾化器6与控制单元相电连接，所述超声波雾化器的下部还固定有鼓风装置例如风扇(未示出)。当所述超声波雾化器6为内置水槽式时，所述水槽(未示出)的药液输入端连接有药液箱7；当所述超声波雾化器6为浸入雾化箱5的药液内时，所述雾化箱5的药液输入端连接有药液箱7，所述药液箱7输入的药液漫过所述超声波雾化器6。

附图1-3以浸入式超声波雾化器6为例，所述药液漫过所述超声波雾化器6为1-10cm。还包括与所述控制单元(未示出)相电连接的液位传感器8，所述液位传感器8的输入端与药液箱7内部的污水净化装置9的输出端相连接，所述污水净化装置9的输入端与废液搜集装置10的输出端相连接，所述废液搜集装置10固定在所述喷淋塔1的底部，所述污水净化装置9内含有抽水电机(未示出)。

利用对人体及动物绝无伤害的电子高频震荡超声波(振荡频率为1.7mhz或2.4mhz，超过人的听觉范围)，通过陶瓷雾化片的高频谐振，将液态水分子结构打散而产生自然飘逸的水雾或利用喷射雾化技术产生水雾，再通过风扇或鼓风装置把雾从雾化装置底部吹向喷淋塔烟囱，提高水分子网捕作用。由液位传感器8检测漫过超声波雾化器6的水位，当水位不够时，液位传感器8向控制单元发信号，控制单元控制污水净化装置9向药液箱7加液，污水净化装置9用于过滤废液搜集装置10中的废液，实现药液循环利用。

实施例2

所述雾化装置包括雾化箱5，位于雾化箱5底部的旋转电机11，所述旋转电机11的电机轴穿过雾化箱5后连接有旋转箱12，所述旋转箱12的底部固定有水平的雾化板13，所述雾化板13与喷管14的出口相对，所述喷管14的入口连接有空气压缩机15；所述旋转箱12的顶部设置有多块带开孔的喷雾板16；所述喷管14还连接有药液管17的一端，所述药液管17的另一端连接有供液装置例如例1的药液箱7。所述旋转箱12的底部固定有4个鼓风装置19。所述喷雾板16为2块，相邻两块所述喷雾板16的开孔18交错设置。另外，所述旋转箱12的底部还设有出液口20，用于药液流出后经废液搜集装置10搜集。

所述药液管17的另一端与药液箱7内部的污水净化装置9的输出端相连接，所述污水净化装置9的输入端与废液搜集装置10的输出端相连接，所述废液搜集装置10分别固定在所述喷淋塔1及雾化箱5的底部，所述污水净化装置9内含有抽水电机。

本例工作原理如下：压缩空气带动药液冲击喷雾板16形成水雾，水雾在旋转箱12的旋转下形成向上的涡流，通过鼓风装置19的带动，从喷雾板16的开孔源源不断喷出，在雾化箱5内形成水雾环境，充分捕捉废气，喷雾板16的开孔18交错设置还起到阻挡少部分飞溅较高的药液的作用，并且可根据水飞溅的情况设置多个喷雾板16。鼓风有利于废气与水雾混合。上述旋转电机11、空气压缩机15由控制装置控制。

上述两个实施例除雾化装置结构不同以外，其他部位均相同。两个实施例中药液箱7输出的药液均为水或能够与氯化氢反应的无污染药液。采用与氯化氢反应的无污染药液能够提高水雾捕捉氯化氢的过滤效率。根据废气中氯化氢含量，药液例如可选低浓度氢氧化钠等。

以上，仅为本发明较佳的具体实施方式，但发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。