技术特征：
1.一种冷壁反应器，包括冷壁反应器箱体（1）和成品收集箱（11），其特征在于，所述冷壁反应器箱体（1）的内部安装有石墨坩埚（6），所述石墨坩埚（6）内盛装有固体原料（2），所述冷壁反应器箱体（1）的侧壁上贯穿安装有固体原料进料管道（3）、气体原料进料管道（4）、等离子枪（5），所述固体原料进料管道（3）、气体原料进料管道（4）均延伸至石墨坩埚（6）内且位于上方，所述等离子枪（5）位于石墨坩埚（6）的上方，所述气体原料进料管道（4）内设有通入冷壁反应器箱体（1）内的气体原料，所述冷壁反应器箱体（1）的上端安装有反应器尾气出气口（10），所述冷壁反应器箱体（1）的底部安装有底部出料管道（9），所述底部出料管道（9）通过输送管（17）与收集箱进料管道（12）相连通，所述成品收集箱（11）上安装有收集箱进料管道（12），所述冷壁反应器箱体（1）上贯穿安装有顶部出料管道（7）和中部出料管道（8），所述顶部出料管道（7）、中部出料管道（8）均与收集箱进料管道（12）相连通，所述成品收集箱（11）的上端安装有收集箱尾气出气口（16），且所述成品收集箱（11）内安装有喷淋系统（14），所述成品收集箱（11）的内底部设有水槽（15），且所述成品收集箱（11）的底部安装有底部收集管道（13）。2.根据权利要求1所述的一种冷壁反应器，其特征在于，所述冷壁反应器箱体（1）的侧壁包括内层（21）、中间层（20）和外层（19），所述内层（21）的材质为刚玉、耐火砖，所述这中间层（20）的材质为保温棉，所述外层（19）的材质为不锈钢。3.根据权利要求1所述的一种冷壁反应器，其特征在于，所述固体材料（2）为导体、半导体，可以在石墨坩埚（6）中与石墨坩埚（6）连接形成电极。4.根据权利要求1所述的一种冷壁反应器，其特征在于，所述气体原料的包括氮气、氩气、氢气、氧气中一种或多种。5.根据权利要求1所述的一种冷壁反应器，其特征在于，所述顶部出料管道（7）、中部出料管道（8）、底部出料管道（9）和输送管（17）的外部均连接有伴热器，且所述顶部出料管道（7）、中部出料管道（8）、底部出料管道（9）外的伴热器单独控制，所述底部出料管道（9）和输送管（17）为同一伴热器。6.根据权利要求1所述的一种冷壁反应器，其特征在于，所述成品收集箱（11）为双层310s不锈钢，所述成品收集箱（11）的内部夹层设有冷却水循环系统。7.根据权利要求1所述的一种冷壁反应器，其特征在于，所述冷壁反应器箱体（1）内安装有支撑架（18），所述石墨坩埚（6）安装在支撑架（18）上，其所述石墨坩埚（6）的底部安装有电路。8.根据权利要求1所述的一种冷壁反应器，其特征在于，所述固体原料进料管道（3）内设有气封系统，且所述固体原料进料管道（3）为耐高温的310s不锈钢。9.根据权利要求1所述的一种冷壁反应器，其特征在于，所述等离子枪（5）的内部分为阴极和微型阳极，所述阴极材质为高熔点的金属合金，所述金属合金为钨钼合金、钨钍合金，所述等离子枪（5）内的阳极材料为石墨。
技术总结
本发明公开了一种冷壁反应器，包括冷壁反应器箱体和成品收集箱，所述冷壁反应器箱体的内部安装有石墨坩埚，所述石墨坩埚内盛装有固体原料，所述冷壁反应器箱体的侧壁上贯穿安装有固体原料进料管道、气体原料进料管道、等离子枪，所述固体原料进料管道、气体原料进料管道均延伸至石墨坩埚内且位于上方，所述等离子枪位于石墨坩埚的上方，所述气体原料进料管道内设有通入冷壁反应器箱体内的气体原料，所述冷壁反应器箱体的上端安装有反应器尾气出气口，所述冷壁反应器箱体的底部安装有底部出料管道，所述出料管道通过输送管与收集箱进料管道相连通。本发明节约了能耗、提高了反应温度，可以用于制备纳米硅、碳纳米管、石墨烯等新型纳米材料。纳米材料。纳米材料。
技术研发人员：赵德欣
受保护的技术使用者：青岛超晟纳米新材料科技有限公司
技术研发日：2021.09.02
技术公布日：2021/11/23