涂布装置的制作方法

1.本发明涉及一种涂布装置，上述涂布装置将涂布液从涂布液供给装置经过涂布液供给管供给到涂布用喷嘴的涂布液收容部内，并且将使该涂布液收容部内的涂布液排出的涂布用喷嘴的前端部的狭缝状排出口配置于被涂布体的上方，使上述被涂布体与涂布用喷嘴相对地移动，从而使上述涂布液收容部内的涂布液经过上述狭缝状排出口涂布到被涂布体的表面。特别地具有如下特征：如上所述，在使被涂布体与涂布用喷嘴相对地移动而经过设置于涂布用喷嘴的前端部的狭缝状排出口来将涂布液涂布到被涂布体的表面时，能够迅速地开始和停止涂布，并且能够将涂布液以均匀的厚度简单地涂布到被涂布体的表面，从而不会在被涂布体的表面上产生涂布液的厚度不均匀等。


背景技术：

2.以往，利用涂布装置将涂布液涂布到被涂布体的表面，作为这样的涂布装置，如专利文献1所示，广泛地使用如下的涂布装置：将涂布液从涂布液供给装置经过涂布液供给管供给到涂布用喷嘴，并且以使该涂布用喷嘴的前端部的狭缝状排出口与被涂布体相对的方式将涂布用喷嘴配置于被涂布体的上方，并将涂布液从上述涂布液供给装置经过涂布液供给管以规定的压力供给到涂布用喷嘴，在使该涂布液从狭缝状排出口排出到被涂布体的表面的同时，使涂布用喷嘴在被涂布体的上方沿涂布方向移动，从而将涂布液涂布到被涂布体的表面。
3.在此，如上所述，在将涂布液从涂布液供给装置以规定的压力供给到涂布用喷嘴，并将该涂布液从狭缝状排出口排出到被涂布体的表面的情况下，当将涂布液从涂布液供给装置经过涂布液供给管供给到涂布液收容部时，由于产生配管压损(压力损失)等，无法迅速地将规定量的涂布液从狭缝状排出口排出到被涂布体的表面，从开始涂布时起直至涂布到被涂布体的表面的涂布液的膜厚逐渐地增加至涂布到被涂布体的表面的涂布液的膜厚成为恒定为止需要规定的时间，并且在停止向被涂布体的表面涂布涂布液时，即使在对施加于从涂布液供给装置供给到涂布用喷嘴的涂布液的压力减压而使涂布液无法从涂布用喷嘴排出的情况下，直到无法从涂布用喷嘴排出涂布液为止也需要时间，涂布到被涂布体的表面的涂布液的膜厚会逐渐地减少，从而在涂布开始时和停止时，无法将涂布液以均匀的厚度涂布到被涂布体的表面。
4.另外，在如上所述的涂布装置中，为了将涂布液以成为均匀厚度的方式涂布到被涂布体的表面，需要在涂布开始时和涂布停止前对涂布用喷嘴在被涂布体的上方沿涂布方向移动的速度进行微妙地调节，从而很难将涂布液以成为均匀厚度的方式涂布到被涂布体的表面。
5.另外，以往，如专利文献2所示，提出了如下的技术方案：在涂布用喷嘴的前端部的狭缝状排出口的下方设置通过气缸来移动以对上述狭缝状排出口进行开闭的滑门构件，并且利用该滑门构件来关闭狭缝状排出口，从而防止涂布液中的挥发性的溶剂挥发。
6.在此，在这样利用气缸使滑门构件在狭缝状排出口的下方沿水平方向移动来关闭
狭缝状排出口的结构中，在将涂布液以规定的压力供给到供给涂布用喷嘴并使该涂布液从狭缝状排出口排出到涂布体的表面的情况下，涂布液会对设置于狭缝状排出口的下方的滑门构件施加较大的压力，板状的滑门构件和气缸杆被涂布液挤压而弯曲，从而存在涂布用喷嘴中的涂布液从狭缝状排出口与滑门构件之间漏出的问题。现有技术文献专利文献
7.专利文献1：日本专利特许第4344381号公报专利文献2：日本专利特开2000-280454号公报


技术实现要素：

8.本发明的技术问题在于解决涂布装置中的如上所述的问题，上述涂布装置构成为将涂布液从涂布液供给装置经过涂布液供给管供给到涂布用喷嘴的涂布液收容部内，并且将使该涂布液收容部内的涂布液排出的涂布用喷嘴的前端部的狭缝状排出口配置于被涂布体的上方，使上述被涂布体与涂布用喷嘴相对地移动，从而使上述涂布液收容部内的涂布液经过上述狭缝状排出口涂布到被涂布体的表面。
9.即，本发明的目的在于，如上所述，在使被涂布体与涂布用喷嘴相对地移动并经过设置于涂布用喷嘴的狭缝状排出口来将涂布液涂布到被涂布体的表面时，能够迅速地开始和停止涂布，并且能够将涂布液以均匀的厚度简单地涂布到被涂布体的表面，从而不会在被涂布体的表面上产生涂布液的厚度不均匀等。
10.为了解决如上所述的技术问题，本发明提供一种涂布装置，上述涂布装置将涂布液从涂布液供给装置经过涂布液供给管供给到涂布用喷嘴的涂布液收容部内，并且将使该涂布液收容部内的涂布液排出的涂布用喷嘴的前端部的狭缝状排出口配置于被涂布体的上方，使上述被涂布体与涂布用喷嘴相对地移动，从而使上述涂布液收容部内的涂布液经过上述狭缝状排出口涂布到被涂布体的表面，其特征是，设置在上述涂布液收容部内旋转来使涂布液收容部与上述狭缝状排出口之间开闭的滑门构件，使上述滑门构件旋转来使涂布液收容部与狭缝状排出口之间开闭。
11.而且，由于这样将滑门构件设置在涂布用喷嘴的涂布液收容部内，因此，即使对涂布液施加较大的压力，也不会如专利文献2那样使滑门构件弯曲而使涂布液漏出，另外，仅通过使上述滑门构件在涂布液收容部内稍微旋转，就能够在整个宽度范围内同时一瞬间迅速地对宽度较大的狭缝状排出口进行开闭。
12.而且，由于能够使以上述方式设置在涂布液收容部内的滑门构件稍微旋转来使宽度较大的狭缝状排出口在整个宽度范围内迅速地开闭，因此，能够迅速地进行涂布的开始和停止，从而不会像以往那样从开始涂布时起直至涂布到被涂布体表面的涂布液的膜厚逐渐地增加到涂布液的膜厚变为恒定为止需要时间、或者在停止涂布时起直至涂布液的膜厚逐渐地减少到涂布液的排出停止为止需要时间。
13.另外，在本发明的涂布装置中，如上所述，设置在涂布液收容部内旋转来使涂布液收容部与狭缝状排出口之间开闭的滑门构件，并且设置对施加于涂布液收容部内的涂布液的压力进行调节的压力调节单元，若在利用压力调节单元将施加于收容在涂布液收容部内的涂布液的压力保持为恒定压力的状态下，使滑门构件旋转来使涂布液收容部与狭缝状排
出口之间开闭，则在使滑门构件旋转来使涂布液收容部与狭缝状排出口之间开口的情况下，收容在涂布液收容部内的涂布液以恒定的压力经过狭缝状排出口供给到涂布体的表面，涂布液以恒定的厚度涂布于相对地移动的被涂布体的表面，并且在使滑门构件旋转来使涂布液收容部与狭缝状排出口之间封闭的情况下，在将施加于收容在涂布液收容部内的涂布液的压力保持为恒定压力的状态下，使涂布液经过狭缝状排出口向被涂布体的表面的供给迅速地停止。
14.另外，在本发明的涂布装置中，作为上述压力调节单元，能够设置气体供给调节单元或涂布液供给调节单元，上述气体供给调节单元在将涂布液供给到上述涂布液收容部内的状态下将气体供给到涂布液收容部内，并且以使施加于上述涂布液收容部内的涂布液的压力成为恒定压力的方式进行调节，上述涂布液供给调节单元在将涂布液从上述涂布液供给装置经过涂布液供给管供给并填充到涂布液收容部内时，以使施加于收容在涂布液收容部内的涂布液的压力成为恒定压力的方式对涂布液的供给进行调节。
15.在此，在如上所述地设置了在将涂布液供给到上述涂布液收容部内的状态下将气体供给到涂布液收容部内，并以使施加于涂布液收容部内的涂布液的压力成为恒定压力的方式进行调节的气体供给调节单元作为压力调节单元的情况下，能够容易地以使施加于涂布液收容部内的涂布液的压力成为恒定压力的方式进行调节，并且在使涂布液从涂布液供给装置经过涂布液供给管供给到涂布液收容部内时，即使气泡会与涂布液一起供给到涂布液收容部内，气泡也会在涂布液收容部内浮起而与涂布液分离并与供给到涂布液收容部内的气体处于一起，从而防止气泡经过狭缝状排出口供给到被涂布体的表面。
16.另外，在本发明的涂布装置中，作为上述滑门构件，使用在于涂布液收容部内旋转的棒状体的外周部设置沿着上述棒状体的轴向延伸得比上述狭缝状排出口长的引导切口部的构件，使该滑门构件旋转并将上述引导切口部引导至上述狭缝状排出口的位置而使上述涂布液收容部与狭缝状排出口之间连通，从而使涂布液收容部内的涂布液从引导切口部经过狭缝状排出口涂布到被涂布体的表面。
17.这样，能够在狭缝状排出口的宽度方向上迅速地开始和停止涂料的排出这两者。
18.在本发明的涂布装置中，如上所述，设置在涂布液收容部内旋转来使涂布液收容部与狭缝状排出口之间开闭的滑门构件，并且设置对施加于涂布液收容部内的涂布液的压力进行调节的压力调节单元，在利用压力调节单元将施加于收容在涂布液收容部内的涂布液的压力保持为恒定压力的状态下，使滑门构件旋转来使涂布液收容部与狭缝状排出口之间开闭，因此，在使滑门构件旋转而使涂布液收容部与狭缝状排出口之间开口的情况下，收容在涂布液收容部内的涂布液以恒定的压力经过狭缝状排出口迅速地供给到被涂布体的表面，涂布液以恒定厚度涂布到相对地移动的被涂布体的表面，并且在使滑门构件旋转来将涂布液收容部与狭缝状排出口之间封闭的情况下，在将施加于收容在涂布液收容部内的涂布液的压力保持为恒定压力的状态下，使涂布液经过狭缝状排出口向被涂布体的表面的供给迅速地停止。
19.其结果是，在本发明的涂布装置中，在使被涂布体与涂布用喷嘴相对地移动来将涂布液收容部内的涂布液经过狭缝状排出口涂布到被涂布体的表面时，在如上所述地利用压力调节单元将施加于收容在涂布液收容部内的涂布液的压力保持为恒定压力的状态下，仅通过使滑门构件旋转来使涂布液收容部与狭缝状排出口之间开闭，就能够将收容在涂布
液收容部内的涂布液以恒定的压力经过狭缝状排出口迅速地供给到被涂布体的表面、或者使该供给停止，从而从开始涂布时起直至涂布液的膜厚变为恒定为止不再需要时间、或者从停止涂布时起直至涂布液的排出停止为止不再需要时间，由此，能够将涂布液以均匀的厚度简单地涂布到被涂布体的表面，从而不会在被涂布体的表面上产生涂布液的厚度不均匀等。符号说明10：涂布用喷嘴11：涂布液收容部12：狭缝状排出口13：滑门构件13a：引导切口部20：涂布液供给装置21：涂布液供给管22：涂布液供给阀22a：第一涂布液供给阀22b：第二涂布液供给阀30：气体供给装置31：供给/排气管31a：供给侧管31b：排气侧管32：气体供给调节阀33：排气阀34：排气用管35：排气用阀40：注射泵41：气缸p：涂布液w：被涂布体
附图说明
20.图1是表示在本发明实施方式1的涂布装置中，在利用设置于涂布用喷嘴的涂布液收容部内的滑门构件来关闭涂布用喷嘴的前端部的狭缝状排出口的状态下，将涂布液从涂布液供给装置经过涂布液供给管供给到涂布液收容部内的状态下的狭缝状排出口的长边方向的示意剖面说明图。图2是表示在上述实施方式1的涂布装置中，在利用设置于涂布用喷嘴的涂布液收容部内的滑门构件来关闭涂布用喷嘴的前端部的狭缝状排出口的状态下，将涂布液从涂布液供给装置经过涂布液供给管供给到涂布液收容部内的状态下的与狭缝状排出口的长边方向交叉的方向的示意剖面说明图。图3是表示在上述实施方式1的涂布装置中，在将涂布液从涂布液供给装置经过涂
布液供给管供给到涂布液收容部内之后，向涂布液收容部内供给气体来对施加于涂布液收容部内的涂布液的压力进行调节的状态下的与狭缝状排出口的长边方向交叉的方向的示意剖面说明图。图4(a)～图4(d)是表示上述实施方式1的涂布装置的以下工序的示意剖面说明图：在向被供给了规定量的涂布液的涂布液收容部内供给气体来对施加于涂布液收容部内的涂布液的压力进行调节的状态下，将涂布用喷嘴配置在被涂布体的上方，使滑门构件旋转而使涂布液收容部与狭缝状排出口之间开口，从狭缝状排出口向被涂布体的上方供给涂布液来向被涂布体的表面涂布涂布液，此时，在利用气体供给调节单元以使施加于涂布液收容部内的涂布液的压力成为恒定压力的方式进行调节的同时，使被涂布体在涂布用喷嘴的下方移动，从而将涂布液收容部内的涂布液从狭缝状排出口涂布到被涂布体的表面。图5的(a)是表示本发明的实施方式2的涂布装置在利用设置在涂布用喷嘴的涂布液收容部内的滑门构件将涂布用喷嘴的前端部的狭缝状排出口关闭的状态下，将涂布液从涂布液供给装置经过涂布液供给管供给到涂布液收容部内的状态下的与狭缝状排出口的长边方向交叉的方向的示意剖面说明图，图 5的(b)是表示本发明的实施方式2的涂布装置在涂布液收容部内填充涂布液，并以使施加于收容在涂布液收容部内的涂布液的压力成为恒定压力的方式对涂布液的供给进行调节的状态下的与狭缝状喷出口的长边方向交叉的方向的示意剖面说明图。图6的(a)～(d)是表示上述实施方式2的涂布装置的以下工序的示意剖面说明图：在将涂布液填充到涂布液收容部内并以使施加于填充到涂布液收容部内的涂布液的压力成为规定压力的方式进行调节的状态下，将涂布用喷嘴配置在被涂布体的上方，并且在使用注射泵以使施加于涂布液收容部内的涂布液的压力成为恒定压力的方式进行调节的同时，使被涂布体在涂布用喷嘴的下方移动，从而使涂布液收容部内的涂布液经过狭缝状排出口涂布到被涂布体的表面。图7的(a)～(d)是表示在本发明实施方式的涂布装置中，在滑门构件上设置引导切口部时，将设置于滑门构件的引导切口部的形状改变后的滑门构件的示意展开图。图8的(a)～(h)是表示在本发明实施方式的涂布装置中，使用图7 的(a)～(d)所示的引导切口部的形状改变后的滑门构件来将涂布液涂布到被涂布体的示例，并且是表示对上述滑门构件的旋转进行控制来将涂布液涂布到被涂布体的状态下的示意俯视图。
具体实施方式
21.以下，基于附图对本发明实施方式的涂布装置进行具体说明。此外，本发明的涂布装置并不限定于下述实施方式所示的结构，能够在不改变发明思想的范围内进行适当改变来实施。
22.(实施方式1)在实施方式1的涂布装置中，如图1～图4(a)～图4(d)所示，在涂布用喷嘴10的内部设置收容涂布液p的涂布液收容部11，并且在前端部设置将收容在上述涂布液收容部11内的涂布液p排出的狭缝状排出口12，还设置滑门构件13，上述滑门构件13在上述涂布液收容部11内旋转来使涂布液收容部11与狭缝状排出口12之间开闭。
23.在此，作为上述滑门构件13，使用如下构件：在于上述涂布液收容部11 内旋转的
棒状体的外周部设置引导切口部13a，上述引导切口部13a沿棒状体的轴向延伸得比上述狭缝状喷出口12长。
24.然后，在使上述滑门构件13在涂布液收容部11内旋转而未将滑门构件13 的引导切口部13a引导至狭缝状排出口12的位置的状态下，利用滑门构件13 将涂布液收容部11与狭缝状排出口12之间封闭，从而使收容在涂布液收容部11内的涂布液p不被引导至狭缝状排出口12，另一方面，在引导切口部13a 被引导至狭缝状排出口12的位置的状态下，涂布液收容部11与狭缝状排出口 12之间经由引导切口部13a连通，从而使收容在涂布液收容部11内的涂布液 p经过引导切口部13a被引导至狭缝状排出口12。
25.另外，在该实施方式1的涂布装置中，在从涂布液供给装置20对上述涂布用喷嘴10的涂布液收容部11供给涂布液p的涂布液供给管21上设置涂布液供给阀22，从涂布液供给装置20的上方对涂布液p施加压力来使该涂布液供给阀22开闭，从而进行涂布液p向涂布液收容部11的供给或停止，并且设置向涂布液收容部11内进行气体的供给、排气的供给/排气管31，在该供给/ 排气管31的供给侧管31a设置作为气体供给调节单元的对从气体供给装置30 供给到上述涂布液收容部11的气体进行调节的气体供给调节阀32，另一方面，在供给/排气管31的排气侧管31b中设置排气阀33，经过该排气阀33对涂布液收容部11内的气体进行排气。
26.而且，在该实施方式1的涂布装置中，在向涂布用喷嘴10的涂布液收容部11内供给涂布液p的情况下，如图1和图2所示，在利用上述滑门构件13 关闭涂布用喷嘴10的前端部的狭缝状排出口12的状态下，打开设置于涂布液供给管21的上述涂布液供给阀22，从而从涂布液供给装置20经过涂布液供给管21向涂布液收容部11内供给规定量的涂布液p，并且打开设置于上述排气侧管31b的排气阀33，利用该排气侧管31b使涂布液收容部11内的气体排气 (放气)，另一方面，关闭设置于上述供给侧管31a的气体供给调节阀32，从而不从气体供给装置30向涂布液收容部11供给气体。此外，对于图中所示的涂布液供给阀22、气体供给调节阀32、排气阀33的开闭，用空白表示打开的状态，用涂黑表示关闭的状态。
27.另外，在如上所述向涂布用喷嘴10的涂布液收容部11内供给规定量的涂布液p之后，如图3所示，在利用上述滑门构件13关闭上述涂布用喷嘴10的前端部的狭缝状排出口12的状态下，关闭设置于涂布液供给管21中的上述涂布液供给阀22，从而不从涂布液供给装置20向涂布液收容部11供给涂布液p，并且关闭设置于上述排气侧管31b的排气阀33，从而不对涂布液收容部11内的气体进行排气，另一方面，打开设置于上述供给侧管31a的气体供给调节阀 32，使气体从气体供给装置30经过设置于供给侧管31a的气体供给调节阀32 供给到涂布液收容部11内，并且以使施加于涂布液收容部11内的涂布液p的压力成为规定压力的方式进行调节。
28.而且，在该实施方式1的涂布装置中，在从上述涂布用喷嘴10向被涂布体w的表面涂布涂布液p时，如上所述，利用滑门构件13关闭涂布用喷嘴10 的前端部的狭缝状排出口12，从气体供给装置30经由气体供给调节阀32向涂布液收容部11内供给气体，在将施加于涂布液收容部11内的涂布液p的压力调节为规定压力的状态下，如图4(a)所示，将该涂布用喷嘴10引导至开始从狭缝状排出口12向被涂布体w的表面涂布涂布液p的位置。
29.接着，如图4(b)所示，使上述滑门构件13在涂布液收容部11内迅速地旋转，而将滑门构件13中的引导切口部13a引导至狭缝状排出口12的位置，利用引导切口部13a使涂布液
收容部11与狭缝状排出口12之间连通，并且以恒定压力将收容在涂布液收容部11内的涂布液p从上述引导切口13a经过狭缝状排出口12供给到被涂布体w的表面。
30.这样，涂布液p利用滑门构件13经过狭缝状排出口12迅速地供给到被涂布体w的表面，不会像以往那样从开始涂布时起涂布到被涂布体w的表面的涂布液p的膜厚的量逐渐地增加，而是从开始涂布时起涂布液p就以均匀的厚度涂布到被涂布体w的整个表面。
31.而且，如图4(c)所示，利用上述气体供给调节阀32对从气体供给装置 30供给到涂布液收容部11内的气体的量进行调节，并在将施加于涂布液收容部11内的涂布液p的压力调节为恒定的规定压力的状态下，在使涂布液收容部11内的涂布液p以恒定的压力经过狭缝状排出口12供给到被涂布体w的表面的同时，使被涂布体w在涂布用喷嘴10的下方移动(或者，使涂布用喷嘴10在被涂布体w的上方移动)，从而在被涂布体w的表面涂布涂布液p。这样，涂布液p始终经过狭缝状排出口12以恒定的压力供给到被涂布体w的表面，从而在被涂布体w的表面以均匀的厚度涂布涂布液p。
32.这样，在使涂布液p经过狭缝状排出口12供给到被涂布体w的表面之后、停止涂布液p向被涂布体w的表面的涂布的情况下，如图4(d)所示，使上述滑门构件13迅速地旋转，使滑门构件13中的引导切口部13a远离狭缝状排出口12，并且利用滑门构件13将涂布液收容部11与狭缝状排出口12之间封闭，从而使收容在涂布液收容部11内的涂布液p不会被引导至狭缝状排出口 12。这样，以恒定的压力经过狭缝状排出口12供给到被涂布体w的表面的涂布液p不再利用滑门构件13迅速地经过狭缝状排出口12向被涂布体w的表面供给，从而不会像以往那样在涂布结束时涂布到被涂布体w的表面的涂布液p的膜厚逐渐地减少，而是涂布液p以均匀的厚度涂布到被涂布体w的整个表面。
33.(实施方式2)在实施方式2的涂布装置中，如图5和图6所示，也与上述实施方式1的涂布装置同样地，在涂布用喷嘴10的内部设置收容涂布液p的涂布液收容部 11，并且在前端部设置将收容在上述涂布液收容部11内的涂布液p排出的狭缝状排出口12，而且还设置滑门构件13，上述滑门构件13在上述涂布液收容部11内旋转来使涂布液收容部11与狭缝状排出口12之间开闭。
34.而且，在该实施方式2的涂布装置中，也与上述实施方式1同样地，在使滑门构件13在涂布液收容部11内旋转而未将滑门构件13的引导切口部13a 引导至狭缝状排出口12的位置的状态下，利用滑门构件13将涂布液收容部11 与狭缝状排出口12之间封闭，从而使收容在涂布液收容部11内的涂布液p不会被引导至狭缝状排出口12，另一方面，在引导切口部13a被引导至狭缝状排出口12的位置的状态下，涂布液收容部11与狭缝状排出口12之间经由引导切口部13a连通，从而使收容在涂布液收容部11内的涂布液p经过引导切口部13a被引导至狭缝状排出口12。
35.另外，在该实施方式2的涂布装置中，也与上述实施方式1同样地，在向涂布用喷嘴10的涂布液收容部11供给涂布液p时，从未图示的涂布液供给装置20经过涂布液供给管21向涂布用喷嘴10的涂布液收容部11供给涂布液p。
36.而且，在该实施方式2的涂布装置中，在从涂布液供给装置20经过涂布液供给管21向涂布用喷嘴10的涂布液收容部11供给涂布液p时，如图5和图6所示，在上述涂布液供给管21的中途的位置处设置以使施加于收容在涂布液收容部11内的涂布液p的压力成为恒定压
力的方式对涂布液p的供给进行调节的作为涂布液供给调节单元的注射泵40，经过设置于注射泵40的上游侧的涂布液供给管21的第一涂布液供给阀22a将涂布液p引导至注射泵40内，并且将引导至该注射泵40内的涂布液p经过设置于注射泵40的下游侧的涂布液供给管21的第二涂布液供给阀22b供给并填充到涂布液收容部11内。
37.另外，在该实施方式2的涂布装置中，在向涂布液收容部11内供给涂布液p的情况下，在使涂布液收容部11内的气体向外部排气的排气用管34上设置排气用阀35。
38.而且，在该实施方式2的涂布装置中，在向涂布用喷嘴10的涂布液收容部11内供给涂布液p的情况下，如图5的(a)所示，形成为利用上述滑门构件1关闭涂布用喷嘴10的前端部的狭缝状排出口12的状态，打开设置于涂布液供给管21的上述第一涂布液供给阀22a和第二涂布液供给阀22b，经过涂布液供给管21将涂布液p供给并填充到注射泵40内，这样，将供给到注射泵40内的涂布液p向涂布用喷嘴10的涂布液收容部11内供给，并且打开设置于上述排气用管34的排气用阀35，将被供给涂布液p的涂布液收容部11内的气体经过排气用管34进行排气(放气)。
39.另外，在这样向涂布用喷嘴10的涂布液收容部11内供给涂布液p来向涂布液收容部11内填充涂布液p之后，如图5的(b)所示，在将上述第一涂布液供给阀22a和排气用阀35关闭的状态下，利用上述注射泵40中的气缸41，将注射泵40内的涂布液p向送出至涂布液收容部11内的方向按压，从而使施加于涂布液收容部11内的涂布液p的压力成为规定压力。此外，对于图中所示的第一涂布液供给阀22a、第二涂布液供给阀22b、排气用阀35的开闭，用空白表示打开的状态，用涂黑表示关闭的状态。
40.而且，在该实施方式2的涂布装置中，在从上述涂布用喷嘴10向被涂布体w的表面涂布涂布液p时，如上所述，利用滑门构件13关闭涂布用喷嘴10 的前端部的狭缝状排出口12，并且利用注射泵40的气缸41将注射泵40内的涂布液p向送出至涂布液收容部11内的方向按压，在将施加于涂布液收容部 11内的涂布液p的压力调节为规定压力的状态下，如图6的(a)所示，将该涂布用喷嘴10引导至开始从狭缝状排出口12向被涂布体w的表面涂布涂布液p的位置。
41.接着，如图6的(b)所示，使上述滑门构件13在涂布液收容部11内迅速地旋转，将滑门构件13中的引导切口部13a引导至狭缝状排出口12的位置，利用引导切口部13a使涂布液收容部11与狭缝状排出口12之间连通，从而将收容在涂布液收容部11内的涂布液p以规定压力从上述引导切口13a经过狭缝状排出口12供给到被涂布体w的表面。
42.这样，涂布液p迅速地利用滑门构件13经过狭缝状排出口12供给到被涂布体w的表面，不会像以往那样从开始涂布时起涂布到被涂布体w的表面的涂布液p的膜厚的量逐渐地增加，而是从开始涂布时起涂布液p就以均匀的厚度涂布到被涂布体w的整个表面。
43.而且，如图6的(c)所示，在利用上述气缸41将注射泵40内的涂布液 p向送出至涂布液收容部11内的方向按压而将施加于涂布液收容部11内的涂布液p的压力调节为恒定的规定压力的状态下，在使涂布液收容部11内的涂布液p以恒定的压力经过狭缝状排出口12供给到被涂布体w的表面的同时，使被涂布体w在涂布用喷嘴10的下方移动(或者使涂布用喷嘴10在被涂布体w的上方移动)，从而将涂布液p涂布到被涂布体w的表面。这样，涂布液p以恒定的压力经过狭缝状排出口12供给到被涂布体w的表面，从而涂布液p以均匀的厚度涂布到被涂布体w的表面。
44.这样，在经过狭缝状排出口12向被涂布体w的表面涂布涂布液p之后，在停止向被涂布体w的表面涂布涂布液p的情况下，如图6的(d)所示，使上述滑门构件13迅速地旋转，使滑门构件13中的引导切口部13a远离狭缝状排出口12的位置，利用滑门构件13将涂布液收容部11与狭缝状排出口12之间封闭，从而使收容在涂布液收容部11内的涂布液p不会被引导至狭缝状排出口12。这样，以恒定的压力经过狭缝状排出口12供给到被涂布体w的表面的涂布液p不再利用滑门构件13迅速地经过狭缝状排出口12向被涂布体w 的表面供给，从而不会像以往那样在涂布结束时涂布到被涂布体w的表面的涂布液p的膜厚逐渐地减少，而是涂布液p以均匀的厚度涂布到被涂布体w 的整个表面。
45.而且，在注射泵40内的涂布液p的量减少的情况下，尽管未图示，但是关闭上述第二涂布液供给阀22b，另一方面，打开上述第一涂布液供给阀22a，使注射泵40中的气缸41向抽吸方向移动，再次使涂布液p从涂布液供给装置 20经过涂布液供给管21填充到注射泵40内。此外，在该实施方式的图中，示出了注射泵40内的涂布液p经过一次涂布就用完的情况，但是也能够使填充到注射泵40内的涂布液p的量增多来进行多次涂布，之后，如上所述，将涂布液p从涂布液供给装置20经过涂布液供给管21填充到注射泵40内。
46.另外，本发明中使用的滑门构件13不限于上述实施方式1、2所示的构件，能够将设置于上述滑门构件13的引导切口部13a的形状如图7的(a)～(d) 所示的滑门构件13的展开图那样设为各种形状。
47.例如，如图7的(a)所示，作为滑门构件13，使用设置有俯视呈四边形的较大的引导切口部13a的构件，在使被涂布体w与涂布用喷嘴10相对地移动而向被涂布体w的表面涂布涂布液p时，使滑门构件13开放一定时间，如图8的(a)所示，从上述引导切口部13a连续地向被涂布体w的表面供给涂布液p而在被涂布体w的表面上涂布成四边形，另外，使滑门构件13间断地开闭，如图8的(b)所示，从上述引导切口部13a间断地向被涂布体w的表面供给涂布液p而成为沿滑门构件13的轴向延伸的长条状，从而能够在被涂布体w的表面涂布多条涂布液p。
48.另外，如图7的(b)所示，作为滑门构件13，使用沿其轴向隔开所需间隔而设置多个呈四边形的引导切口部13a的构件，在使被涂布体w与涂布用喷嘴10相对地移动而向被涂布体w的表面涂布涂布液p时，使滑门构件13 开放一定时间，如图8的(c)所示，从各引导切口部13a连续地向被涂布体 w的表面供给涂布液p而涂布成多个纵条纹状，另外，使滑门构件13间断地开闭，如图8的(d)所示，从各引导切口部13a间断地向被涂布体w的表面供给涂布液p来将四边形的涂布液p涂布成格子状。
49.另外，如图7的(c)所示，作为滑门构件13，使用设置呈凹型状的引导切口部13a的构件，在使被涂布体w与涂布用喷嘴10相对地移动而向被涂布体w的表面涂布涂布液p时，能够使滑门构件13在适当的时刻开闭，如图8 的(e)所示，向被涂布体w的表面框状地涂布涂布液p、或者如图8的(f) 所示，以成为在框的内部设置横条纹的状态的方式向被涂布体w的表面涂布涂布液p。
50.另外，如图7的(d)所示，作为滑门构件13，使用设置梳齿状的引导切口部13a的构件，在使被涂布体w与涂布用喷嘴10相对地移动而向被涂布体 w的表面涂布涂布液p时，能够使滑门构件13在适当的时刻开闭，如图8的 (g)所示，以成为在框的内部设置纵条纹的状态的方式向被涂布体w的表面涂布涂布液p、或者如图8的(h)所示，从梳齿状的引导切口部
13a间断地向被涂布体w的表面供给涂布液p而在被涂布体w的表面排列呈四边形的多个非涂布部，从而能够将涂布液p涂布成格子状。