夹紧装置的制作方法

1.本发明涉及夹紧装置，更详细地说，涉及坚固地固定过滤器组件的外壳和头的结合以防止化学制剂泄漏的同时能够更加容易进行固定及解除固定的夹紧装置。


背景技术：

2.通常，制造半导体、半导体装置、lcd、oled的公司、制药公司及油漆公司等，使用有害化学物质的所有公司正在使用各种种类的化学制剂，而且安全供应这种化学制剂的方式也正在变得多种多样。
3.这种化学制剂会经过化学制剂过滤器进行供应，以根据制造工艺的特性以杂质最少化的高纯度状态使用。
4.所述化学制剂过滤器根据种类其形状及更换方法也有所不同，而且根据化学制剂的种类及所需的高纯度状态保持标准有各种更换周期。
5.在更换化学制剂过滤器时，将过滤器组件的外壳和头分开更换滤芯之后将外壳重新结合于头，在此利用夹紧装置夹紧所述外壳和所述头的结合部，进而坚固地结合外壳和头，以防止过滤器组件内部的化学制剂及烟雾(fume)泄漏。
6.现有技术的夹紧装置通过如下的方式构成：在外壳的下端结合环形外壳夹具，并且在头的上端结合环形头夹具，之后结合所述外壳夹具和所述头夹具。
7.此时，所述外壳夹具和所述头夹具通常是沿着所述外壳夹具和所述头夹具的环形结合面在多个位置螺丝结合。
8.根据现有技术，为使所述外壳夹具和所述头夹具均匀结合，在所述多个位置螺丝结合时，需要均匀调节螺丝紧固程度，为此要求相当长的时间和复杂的过程。
9.另外，为了解除所述外壳夹具和所述头夹具的结合，存在需要逐个拧开所述多个位置的螺丝结合的麻烦。
10.作为用于固定化学制剂过滤器的装置，公开了韩国公开专利第10-2003-0043124号(公开日：2003.06.02.)。


技术实现要素：

11.本发明是为了解决上述的整体问题而提出的，其目的在于提供一种夹紧装置，在更换化学制剂过滤器时坚固地固定过滤器组件的外壳和头，以防止化学制剂泄漏的同时能够更加容易进行固定及解除固定。
12.用于达到上述目的的本发明的夹紧装置包括：第一夹具，结合于过滤器组件的过滤器头和过滤器外壳中的任意一个的外侧；第二夹具，结合于所述过滤器头和所述过滤器外壳中的另一个的外侧；及第三夹具，对所述第一夹具或者所述第二夹具的背面施力，向所述第一夹具和所述第二夹具相互接近的结合方向进行加压。
13.根据本发明的夹紧装置，在更换化学制剂过滤器时坚固地固定过滤器组件的外壳和头，以防止化学制剂泄漏的同时能够更加容易进行固定及解除固定。
14.另外，在夹紧装置配置有观察窗，能够从视觉上确认过滤器组件的外壳和头的结合面，进而可防止因为外壳和头的结合不良而出现化学制剂泄漏。
附图说明
15.图1是示出本发明的夹紧装置被解除夹紧且分开过滤器组件的过滤器外壳和过滤器头的状态的立体图。
16.图2是示出在本发明的夹紧装置结合过滤器组件并夹紧的状态的立体图。
17.图3是示出在本发明的夹紧装置结合过滤器组件并解除夹紧的状态的图。
18.图4是示出在本发明的夹紧装置结合过滤器组件并夹紧的状态的图。
19.图5是详细示出结合本发明的第一夹具的过滤器头和结合第二夹具的过滤器外壳相互结合的状态的垂直剖面图。
20.图6是示出本发明的第一夹具和第二夹具的立体图。
21.图7是示出本发明的第一夹具和第二夹具以上下方向接触的状态的立体图。
22.图8是示出在本发明的夹紧解除步骤的第三夹具的侧视图。
23.图9是示出本发明的首次夹紧步骤的第三夹具的侧视图。
24.图10是示出本发明的二次夹紧步骤的第三夹具的侧视图。
25.图11是示出本发明的第三夹具的立体图。
26.附图标记说明
27.1：化学制剂过滤器自动更换装置
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2：过滤器组件
28.3：外壳驱动部
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10：滤芯
29.20：过滤器外壳
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30：过滤器头
30.100：第一夹具
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110：插入端部
31.200：第二夹具
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201：第二夹具的背面
32.210：插入端部
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220：凸缘部
33.300：第三夹具
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310：缸体
34.311：缸体主体
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312：推杆
35.320：固定臂
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321：固定部
36.322：缸体支撑部
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330：第一按压部件
37.331：第一按压部件的背面
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332：第一按压部
38.340：第二按压部件
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342：第二按压部
39.350：连接部件
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360：手把
40.s1：第一旋转轴
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s2：第二旋转轴
41.s3：第三旋转轴
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s4：第四旋转轴
42.s5：第五旋转轴
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s6：第六旋转轴
43.w：观察窗
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d1：第一按压长度
44.d2：第二按压长度
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d：连接长度
具体实施方式
45.以下，参照附图详细说明本发明的夹紧装置。
46.参照图1至图11，本发明的一实施例的夹紧装置1包括：第一夹具100，结合于过滤器组件2的过滤器头30和过滤器外壳20中的任意一个的外侧；第二夹具200，结合于所述过滤器头30和所述过滤器外壳20中的另一个的外侧；第三夹具300，对所述第一夹具100的背面(未示出)和所述第二夹具200的背面201中的至少一个施力，向所述第一夹具100和所述第二夹具200相互接近的结合方向进行加压。
47.所述第一夹具100和所述第二夹具200在所述过滤器头30和所述过滤器外壳20结合的情况下相互接近，在所述过滤器头30和所述过滤器外壳20分开的情况下相互远离。
48.所述夹紧装置1是用于保持所述过滤器头30和所述过滤器外壳20的结合并防止分开的，所述结合方向可以是为了实现所述过滤器头30和所述过滤器外壳20之间的结合并保持该结合而施加压力的方向。
49.优选为，所述结合方向可以是对于所述过滤器头30和所述过滤器外壳20接触并结合的结合面m从所述过滤器头30侧和所述过滤器外壳20侧两侧以垂直方向施力的方向。
50.举一示例，如图所示，在所述过滤器头30位于下侧并且所述过滤器外壳20位于上侧来相互结合的情况下，将所述过滤器头30推向上侧的方向和将所述过滤器外壳20向下侧下压的方向分别可以是所述结合方向。
51.所述背面为在所述第一夹具100和所述第二夹具200中相互面对的面对面的相反面；所述第一夹具100的背面为与所述第二夹具200的面对面相互面对的所述第一夹具100的面对面的相反面；所述第二夹具200的背面201为与所述第一夹具100的面对面相互面对的所述第二夹具200的面对面的相反面。
52.举一示例，如图所示，在所述第一夹具100位于下侧并且所述第二夹具200位于上侧来相互接近的情况下，所述第二夹具200的上面为所述背面201。
53.所述第三夹具300可配置成为了对所述第一夹具100的背面施力而配置的第一夹具按压用夹具，也可配置成为了对所述第二夹具200背面201施力而配置的第二夹具按压用夹具。
54.另外，所述夹紧装置1也可构成为所述第一夹具按压用第三夹具和所述第二夹具按压用第三夹具全部包括。
55.另外，所述第三夹具300能够以结合于所述第一夹具100或者所述第二夹具200的方式配置，也可被与所述第一夹具100及所述第二夹具200分开配置在外部的支撑部件(未示出)支撑。
56.在所述第三夹具300结合于所述第一夹具100的情况下，可配置成接触于所述第二夹具200的背面201向所述第一夹具100和所述第二夹具200相互接近的结合方向进行加压。
57.另外，在所述第三夹具300结合于所述第二夹具200的情况下，可配置成接触于所述第一夹具100的背面(未示出)向所述第一夹具100和所述第二夹具200相互接近的结合方向进行加压。
58.所述过滤器组件2是为了过滤化学制剂以供应于化学制剂所需处而配置。
59.在所述过滤器组件2内部容纳用于过滤化学制剂所含的异物的滤芯10，在所述过滤器外壳20的开放的一侧结合所述过滤器头30。
60.所述过滤器外壳20和所述过滤器头30能够以上下方向结合。在附图示出了设置成使所述过滤器外壳20位于上部并且使所述过滤器头30位于下部的情况。
61.另外，虽未在附图示出，但是可也与上述相反地设置，即，使所述过滤器外壳20位于下部，使所述过滤器头30位于上部。
62.在图1示出了解除所述夹紧装置1的夹紧且分开所述过滤器外壳20和所述过滤器头30的状态的立体图；在图2示出了结合所述过滤器外壳20和所述过滤器头30并且所述夹紧装置1处于夹紧状态的立体图。
63.所述过滤器组件2在更换所述滤芯10时解除所述夹紧装置1的夹紧，之后分开所述过滤器外壳20和所述过滤器头30，在更换完所述滤芯10之后重新结合所述过滤器外壳20和所述过滤器头30，之后被所述夹紧装置1夹紧。
64.为此，可配置有外壳驱动部3，所述外壳驱动部3移动所述过滤器外壳20从所述过滤器头30分开后重新结合于所述过滤器头30。
65.如图所示，在所述过滤器外壳20位于上部并且所述过滤器头30位于下部的情况下，所述外壳驱动部3支撑所述过滤器外壳20向上侧移动，从所述过滤器头30分开所述过滤器外壳20，之后向下侧移动，进而将所述过滤器外壳20结合于所述过滤器头30。
66.另外，虽未在附图示出，但是在所述过滤器外壳20位于下部并且所述过滤器头30位于上部的情况下，所述外壳驱动部3支撑所述过滤器外壳20向下侧移动，从所述过滤器头30分开所述过滤器外壳20，之后向上侧移动，进而所述过滤器外壳20结合于所述过滤器头30。
67.图3和图4示出了结合所述过滤器外壳20和所述过滤器头30的所述过滤器组件2的垂直方向剖面图。
68.在图3示出了通过所述夹紧装置1解除所述过滤器组件2的夹紧的状态；在图4示出了通过所述夹紧装置1夹紧所述过滤器组件2的状态。在图5示出了分别结合所述第一夹具100和所述第二夹具200的过滤器组件的过滤器外壳和过滤器头相互结合的状态。
69.在所述过滤器头30形成有多个连接部，所述多个连接部用于流进从化学制剂供应部(未示出)供应的化学制剂、排放通过所述滤芯10的化学制剂以供应至工艺装置、排放残留于所述滤芯10和过滤器外壳20内侧面之间的空间12的化学制剂、排放残留于所述滤芯10内部空间11的化学制剂。
70.另外，在所述过滤器头30形成有头主体38，在所述头主体38上端形成有插入结合所述滤芯10的一侧端部的滤芯插入部。
71.所述过滤器外壳20由外壳主体21、外壳凸缘22及连接部23构成，所述外壳主体21形成有在内部以长度方向容纳所述滤芯10的空间，所述外壳凸缘22从所述外壳主体21的一侧向外侧凸出以与所述头主体38的滤芯插入部的上端面紧贴，所述连接部23形成在所述外壳主体21的另一侧端部以流进或者排放氮气。
72.在所述头主体38的滤芯插入部和外壳主体21一侧端部相互面对的面之间配置有用于保持气密的o型圈40。
73.在更换所述滤芯10时，所述过滤器组件2经过如下的过程：首先解除所述夹紧装置1的夹紧，并且通过所述外壳驱动部3的驱动从所述过滤器头30分开所述过滤器外壳20，在所述滤芯10更换完之后通过所述外壳驱动部3的驱动所述过滤器外壳20结合于所述过滤器头30，并且被所述夹紧装置1夹紧。
74.以下，参照图5至图11说明本发明的夹紧装置1。
75.在以下的说明中，举例说明如下的结构：所述第一夹具100结合于所述过滤器头30，所述第二夹具200结合于所述过滤器外壳20，所述过滤器外壳20从所述过滤器头30的上侧结合形成上下方向的结合方向，所述第三夹具300结合于所述第一夹具100并接触于所述第二夹具200的背面201以下侧方向进行加压。
76.参照图5至图7，说明所述第一夹具100和所述第二夹具200。
77.在图6分别示出了所述第一夹具100和所述第二夹具200；在图7示出了所述第一夹具100和所述第二夹具200接触的状态。
78.所述第一夹具100和所述第二夹具200可分别结合于所述过滤器头30和所述过滤器外壳20相互结合的端部。
79.所述第一夹具100和所述第二夹具200的内侧面分别形成为与所述过滤器头30和所述过滤器外壳20的外侧面匹配的形状，进而可实现分别紧贴结合于所述过滤器头30和所述过滤器外壳20。
80.所述第一夹具100和所述第二夹具200可配置成包围所述过滤器外壳20和所述过滤器头30周围的环形状。
81.在所述环形状的第一夹具100可形成有插入端部110，以配置用于向所述第一夹具100的内侧插入所述过滤器头30的空间。
82.所述第一夹具100的插入端部110可由向环形状的半径方向外侧凸出的相互面对的一对凸缘构成，根据螺丝结合于所述一对凸缘拧紧所述第一夹具100，进而可构成为紧贴于所述过滤器头30的结构。
83.另外，在所述环形状的第二夹具200可形成有插入端部210，以配置用于向第二夹具200的内侧插入所述过滤器外壳20的空间。
84.所述第二夹具200的插入端部210可与所述第一夹具100的插入端部110形成相同的结构。
85.如图5所示，所述第一夹具100和所述第二夹具200可构成为在夹紧时使以相互面对的方向形成的面对面(未示出)逐渐相互接近，进而相互接触。
86.另外，虽未在附图示出，但是即便在夹紧时由所述第三夹具300进行加压，所述第一夹具100和所述第二夹具200之间的间隔也可保持预定间距或者相互不同间距的状态。
87.在所述第一夹具100和所述第二夹具200夹紧时相互紧贴与否可根据所述第一夹具100和所述第二夹具200分别结合于所述过滤器头30和所述过滤器外壳20的位置而有所不同。
88.在所述第一夹具100和所述第二夹具200相互接触的情况下，形成为所述第一夹具100和所述第二夹具200的面对面相互匹配的形状，进而可使所述第一夹具100和所述第二夹具200通过所述面对面相互紧贴。
89.在所述第一夹具100可具有结合所述第三夹具300的固定部321的至少一个第三夹具结合部101。
90.在所述第三夹具结合部101可形成有用于与所述固定部321结合的结合结构101。
91.所述结合结构101包括插入所述固定部321的结合凸起321a-1的结合槽101-1，并且还可包括用于螺丝结合的螺丝孔101-2。
92.所述第三夹具结合部101为沿着所述环形状的第一夹具100的周围间隔预定间距
地设置为多个，据此沿着所述第一夹具100的周围间隔预定间距地可结合多个所述第三夹具300。
93.举一示例，在所述第一夹具100的彼此相向的方向配置有所述第三夹具结合部101，可结合一对第三夹具300。
94.所述多个第三夹具300沿着所述第二夹具200的周围间隔预定间距地接触于所述第二夹具200的背面201，进而以所述第一夹具100和所述第二夹具200的结合方向进行加压。
95.据此，可均匀夹紧所述过滤器组件2的周围，因此提高所述过滤器头30和所述过滤器外壳20的结合稳定性，并且可防止化学制剂泄漏。
96.在所述第二夹具200可配置有与所述第三夹具300接触的凸缘部220。
97.所述凸缘部220可构成为从环形状的第二夹具200的主体向外侧凸出的形状。
98.据此，所述第三夹具300接触于所述凸缘部220的背面201能够以向所述第一夹具100和所述第二夹具200的结合方向施力。
99.所述凸缘部220可配置在与所述第一夹具100的所述第三夹具结合部101相对应的位置，并且沿着所述环形状的第二夹具200的周围间隔预定间距地可配置有多个。
100.在所述第一夹具100和所述第二夹具200可配置有观察窗w。
101.所述观察窗w是用于从视觉上确认所述过滤器外壳20和所述过滤器头30的结合，形成在能够从视觉上确认所述过滤器外壳20和所述过滤器头30接触而结合的结合部m的位置。
102.使用人员通过所述观察窗w可从视觉上确认所述过滤器外壳20和所述过滤器头30的结合面m并且可判断结合是否适当，因此可防止因为结合不良而出现化学制剂泄漏。
103.如图所示，所述观察窗w可形成在所述第一夹具100和所述第二夹具200的结合面，形成在所述第一夹具100和所述第二夹具200的窗口相互连接可形成一个观察窗w。
104.另外，虽未在附图示出，但是所述观察窗w也可个别配置在所述第一夹具100或者所述第二夹具200。
105.另外，所述观察窗w沿着所述过滤器外壳20和所述过滤器头30的结合部m的周围设置为多个，进而可确认所述过滤器外壳20和所述过滤器头30是否均匀紧贴。
106.参照图8至图11，说明所述第三夹具300。
107.在图8至图10示出了所述第三夹具300的侧视图；在图11示出了所述第三夹具300的立体图。
108.所述第三夹具300包括：缸体310，伸长或者收缩；固定臂320，固定在所述第一夹具100，以支撑所述缸体310；第一按压部件330，对所述第二夹具200的背面201施加压力；第二按压部件340，对所述第一按压部件330的背面331施加压力；连接部件350，连接所述固定臂320和所述缸体310。
109.所述缸体310包括：推杆312，通过缸体驱动部(未示出)的驱动进行往返运动；缸体主体311，支撑所述推杆312。
110.所述缸体310可配置成在与所述过滤器组件2相互面对的方向配置所述推杆312，在相反的方向配置所述缸体主体311，以使所述推杆312以接近或者远离所述过滤器组件2的方向进行往返运动。
111.所述固定臂320包括：固定部321，结合并固定于所述第一夹具100；缸体支撑部322，结合于所述固定部321。
112.在所述缸体支撑部322可旋转地连接所述缸体主体311。将连接所述缸体支撑部322和所述缸体主体311的连接部称为第一连接部，所述缸体主体311以配置在所述第一连接部的旋转轴(即，第一旋转轴s1)为中心在预定角度以内进行旋转。
113.在所述固定部321配置有用于在一侧与所述第三夹具连接部101结合的结合结构321a，并且在上部可旋转地分别连接所述第一按压部件330及所述连接部件350。
114.所述结合结构321a包括插入于所述结合槽101-1的结合凸起321a-1，并且包括配置在与所述螺丝孔101-2相对应的位置以进行螺丝结合的螺丝孔321a-2。
115.通过所述一对结合结构101、321a，所述结合凸起321a-1插入于所述结合槽101-1，通过所述一对螺丝孔101-2、321a-2螺丝结合，进而所述第三夹具300结合于所述第一夹具100可固定位置。
116.所述第一按压部件330可旋转地分别连接于所述固定部321及所述第二按压部件340。
117.将连接所述固定部321和所述第一按压部件330的连接部称为第二连接部，并且将连接所述第一按压部件330和所述第二按压部件340的连接部称为第三连接部。
118.所述第一按压部件330以配置在所述第二连接部的旋转轴(即，第二旋转轴s2)及配置在所述第三连接部的旋转轴(即，第三旋转轴s3)为中心在预定角度内进行旋转。
119.在所述第一按压部件330的一侧配置有第一按压部332，所述第一按压部332接触于所述第二夹具200的背面201向所述第一夹具100和所述第二夹具200的结合方向施加压力。
120.所述第一按压部332可形成为末端弯曲的形状。
121.根据如上所述的形状，所述第一按压部332的末端垂直接触于所述第二夹具200的背面201，进而能够更加有效施加垂直方向的压力，因此可提高所述第三夹具300的夹紧效果。
122.在此，所述固定部321与所述第一夹具100结合来固定位置，因此所述第二连接部始终形成在固定的位置。
123.据此，所述第一按压部件330能够以所述第二旋转轴s2为中旋转所述第三旋转轴s3及所述第一按压部332的形式工作。
124.在所述第一按压部件330中，所述第三连接部可形成在所述第一按压部332的背面331。
125.所述第一按压部332的背面331是指在所述第一按压部332中与所述第二夹具200的背面201接触的表面的相反面，是用于按压所述第一按压部332以对所述第二夹具200的背面201施加垂直方向的压力的作用点。
126.所述第二按压部件340为两端可旋转地分别连接于所述推杆312的末端及所述第一按压部件330。
127.将连接所述推杆312的末端和所述第二按压部件340的连接部称为第四连接部。所述第二按压部件340以所述第三旋转轴s3及配置在所述第四连接部的旋转轴(即，第四旋转轴s4)为中心在预定角度内进行旋转。
128.在所述第二按压部件340配置有第二按压部342，所述第二按压部342从连接所述第三旋转轴s3和所述第四旋转轴s4的直线向一侧凸出来接触于所述第一按压部332的背面331以对所述第一按压部332的背面331施加垂直方向的压力。
129.即，通过所述第三夹具300，所述第二夹具200的背面201被所述第一按压部件330按压，所述第一按压部332的背面331被所述第二按压部件340按压，进而双重夹紧所述第一夹具100和所述第二夹具200的结合，因此能够更加提高夹紧效果。
130.此时，在所述第一按压部332中，接触于第二按压部342末端的部位相比于形成有所述第三连接部的部位更加接近所述第一按压部332末端，即更加接近所述第二夹具200，进而可更加提高双重夹紧效果。
131.另外，与所述第一按压部332相同，所述第二按压部342可形成为末端弯曲的形状。
132.通过如上所述的形状，所述第二按压部342的末端垂直接触于所述第一按压部332的背面331能够更加有效施加垂直方向的压力，因此能够更加提高所述第三夹具300的夹紧效果。
133.另外，更加优选为，第二按压部342构成为从连接所述第三旋转轴s3和所述第四旋转轴s4的直线中间部分以垂直方向向一侧凸出，以使所述第二按压部件340的旋转力通过第二按压部342更加稳定地传递于所述第一按压部332的背面331。
134.所述连接部件350为使两端可旋转地分别连接于所述推杆312的末端和所述固定部321而连接。
135.将连接所述固定部321和所述连接部件350的连接部称为第五连接部，将连接所述推杆312的末端和所述连接部件350的连接部称为第六连接部。所述连接部件350以配置在所述第五连接部的旋转轴(即，第五旋转轴s5)及配置在所述第六连接部的旋转轴(即，第六旋转轴s6)为中心在预定角度以内进行旋转。
136.所述第四旋转轴s4和所述第六旋转轴s6可配置成共享同一的旋转轴。
137.在此，所述固定部321与所述第一夹具100结合来固定位置，因此所述第五连接部始终形成在固定的位置。
138.据此，所述连接部件350为以所述第六旋转轴s6以所述第五旋转轴s5为中心进行旋转的形式工作。
139.所述第二按压部件340和所述连接部件350通过所述推杆312的伸长或者收缩进行旋转，并且所述第一按压部件330根据所述第二按压部件340的位置变化进行旋转。
140.据此，通过所述第一按压部件330、所述第二按压部件340及所述连接部件350的旋转形成的旋转面与包括所述推杆312的往返运动轨道的垂直面并列形成。
141.以图8至图10为基准，所述旋转面和所述垂直面形成在与地面平行的平面。
142.以下，对所述第三夹具300的动作进行说明。
143.在以下的说明中，以在所述图8至图10示出的侧视图为基准，将逆时针方向的旋转称为内侧方向旋转，将顺时针方向的旋转称为外侧方向旋转。
144.所述第三夹具300的动作状态包括：夹紧解除步骤(即，完全解除夹紧的状态)、首次夹紧步骤(即，正在进行夹紧中的特定状态)、二次夹紧步骤(即，完成夹紧的状态)。
145.在图8示出了所述夹紧解除步骤的所述第三夹具300的侧视图；在图9示出了所述
首次夹紧步骤的所述第三夹具300的侧视图；在图10示出了所述二次夹紧步骤的所述第三夹具300的侧视图。另外，在图11示出了所述夹紧解除步骤中的所述第三夹具300的立体图。
146.首先，说明所述第三夹具300的夹紧动作。
147.在所述推杆312通过所述缸体驱动部的驱动而伸长的情况下，所述第六旋转轴s6被推向左侧，所述连接部件350以所述第五旋转轴s5为中心向内侧方向进行旋转。
148.据此，形成所述第六旋转轴s6及连接于所述第六旋转轴s6的所述推杆312的末端以所述第五旋转轴s5为中心向内侧方向进行旋转的弧形轨迹。
149.同时，所述第四旋转轴s4被推向左侧，同时所述第二按压部件340也向内侧方向进行旋转。
150.此时，所述第二按压部件340的所述第三连接部的垂直方向高度降低，同时对所述第一按压部332的背面331首次施加下侧方向的压力，之后所述第二按压部342接触于所述第一按压部332的背面331以下侧方向二次施加压力。
151.据此，所述第一按压部件330以所述第二旋转轴s2为中心向内侧方向进行旋转，所述第一按压部332以所述第二旋转轴s2为中心向内侧方向进行旋转，进而接触于所述第二夹具200的背面201向下侧方向施加压力。
152.即，随着所述推杆312伸长，所述第一按压部332和所述第二按压部342向内侧方向进行旋转对所述第二夹具200的背面201以所述结合方向施加压力，进而夹紧所述过滤器组件2。
153.所述第三夹具300的夹紧动作为随着所述推杆312伸长依次满足所述夹紧解除步骤、所述首次夹紧步骤和所述二次夹紧步骤的状态。
154.所述夹紧解除步骤为所述推杆312收缩以从所述第二夹具200的背面201完全分开所述第一按压部330和所述第二按压部件340的状态(参照图8)。
155.所述首次夹紧步骤为所述第一按压部332接触于所述第二夹具200的背面201，而且所述第二按压部件340位于第一角位置l1，以从所述第一按压部件330的背面331分开所述第二按压部342的状态(参照图9)。
156.所述二次夹紧步骤为所述第一按压部332接触于所述第二夹具200的背面201并且所述第二按压部件340位于第二角位置l2进而所述第二按压部342接触于所述第一按压部件330的背面331的状态(参照图10)。
157.所述第一角位置l1和所述第二角位置l2是指在所述第二按压部件340中连接所述第三旋转轴s3和所述第四旋转轴s4的直线的角位置。
158.所述第一角位置l1可以是在所述第二按压部件340从与水平面构成直角的垂直角位置lr向外侧方向旋转预定角度而向远离所述过滤器组件2的方向形成的角位置。
159.所述第二角位置l2可以是在所述第二按压部件340从所述垂直角位置lr向内侧方向旋转预定角度而向接近所述过滤器组件2的方向形成的角位置。
160.以图9和图10为基准，所述第一角位置l1形成在所述垂直角位置lr的右侧，所述第二角位置l2形成在所述垂直角位置lr的左侧。
161.所述第一角位置l1和所述第二角位置l2可形成在从所述垂直角位置lr分别向右侧和左侧旋转的位置。在该情况下，从所述垂直角位置lr至所述第一角位置l1之间的角度α和从所述垂直角位置lr至所述第二角位置l2之间的角度β可相同或者不同。
162.在此，所述第一按压部件330连接于固定位置的所述固定部321，只要处于所述第一按压部332接触于所述第二夹具200的背面201的状态，则所述第一按压部件330无法再向内侧方向进行旋转。
163.从而，在从所述首次夹紧步骤至所述二次夹紧步骤进行所述第三夹具300的夹紧动作的期间，以所述第一按压部332接触于所述第二夹具200的背面201的状态保持所述第一按压部件330的位置，并且也固定所述第三连接部的位置。
164.据此，在从所述首次夹紧步骤进行至所述二次夹紧步骤的情况下，所述第二按压部件340以所述第三旋转轴s3为中心从所述第一角位置l1至所述第二角位置l2向内侧方向旋转，形成所述第四旋转轴s4和连接与此的所述推杆312的末端以所述第三旋转轴s3为中心向内侧方向进行旋转的同时以垂直方向上升之后下降的凸起的弧形轨迹。
165.另外，在从所述首次夹紧步骤进行至所述二次夹紧步骤的期间，位于所述推杆312末端的所述第六旋转轴s6与所述第四旋转轴s4一同移动的同时形成与所述第四旋转轴s4类似的弧形轨迹，据此所述连接部件350以所述第五旋转轴s5为中心向内侧方向进行旋转。
166.在此，在所述第六旋转轴s6与所述第四旋转轴s4共享同一旋转轴的情况下，所述第六旋转轴s6和所述第四旋转轴s4的轨迹相同。
167.然而，通过本发明的一实施例，在所述首次夹紧步骤及所述二次夹紧步骤中，所述第五旋转轴s5和所述第三旋转轴s3之间的距离(即，第一按压长度d1)和所述第三旋转轴s3和所述第四旋转轴s4之间的距离(即，第二按压长度d2)之和(d1+d2)大于所述第五旋转轴s5和所述第六旋转轴s6之间的距离(即，连接长度d)。
168.此时，由于所述连接长度d小于所述第一按压长度d1和所述第二按压长度d2之和(d1+d2)，因此在从所述首次夹紧步骤进行至所述二次夹紧步骤的期间拉伸力作用于所述连接部件350，压缩力作用于所述第二按压部件340。
169.即，如上所述的向上凸起的弧形轨迹起到卡块的作用，在所述第四旋转轴s4和所述第六旋转轴s6及连接与此的所述推杆312末端经过所述卡块的期间所述拉伸力和所述压缩力分别作用于所述连接部件350和所述第二按压部件340。
170.所述拉伸力和所述压缩力在所述第二按压部件340从所述第一角位置l1越向所述垂直角位置lr旋转则逐渐变强，在所述垂直角位置lr的作用最强，从所述垂直角位置lr越向所述第二角位置l2旋转则逐渐变弱。
171.据此，要求伸长所述推杆312的缸体驱动部的充分的驱动输出，以克服所述拉伸力和所述压缩力，同时从所述首次夹紧步骤至所述二次夹紧步骤进行所述第三夹具350的夹紧动作。
172.对于为了从所述首次夹紧步骤进行至所述二次夹紧步骤而要求的所述缸体驱动部的驱动输出，所述第一按压长度d1和所述第二按压长度d2之和(d1+d2)与所述连接长度d的差越大就要求越高的驱动输出。
173.对于所述第一按压长度d1和所述第二按压长度d2之和(d1+d2)与所述连接长度d的差，根据所述缸体驱动部的驱动输出可能量可进行不同的适用，所述缸体驱动部的驱动输出可能量越高就设定越大的值。
174.另外，在进行所述夹紧动作完成夹紧的情况下，所述缸体驱动部将所述推杆312的长度保持在所述第二夹紧步骤中的长度，可稳定支撑所述推杆312以防止因为外力收缩而
解除夹紧状态。
175.然后，说明所述第三夹具300的夹紧解除动作。
176.在所述推杆312通过所述缸体驱动部的驱动而收缩的情况下，以图8至图10为基准所述第六旋转轴s6被拉向右侧，所述连接部件350向外侧方向旋转，所述第六旋转轴s6及连接于所述第六旋转轴s6的所述推杆312的末端以所述第五旋转轴s5向外侧方向进行旋转。
177.同时，所述第四旋转轴s4被拉向右侧，所述第二按压部件340也向外侧方向进行旋转。此时，所述第二按压部342被抬高首次解除由所述第二按压部342施加于所述第一按压部件330的压力，之后所述第二按压部件340向外侧方向进行旋转提高所述第三连接部的垂直方向的高度来抬高所述第一按压部件330的背面331，从而所述第一按压部件330向外侧方向进行旋转二次解除由所述第一按压部332施加于所述第二夹具200背面201的压力。
178.据此，解除由所述第一按压部332和所述第二按压部342向第一夹具100和所述第二夹具200的结合方向施加的压力，从而解除夹紧。
179.所述第三夹具300的夹紧解除动作为随着所述推杆312收缩依次满足所述二次夹紧步骤、所述首次夹紧步骤和所述夹紧解除步骤的状态。即，以与上述的夹紧动作相反的顺序进行。
180.在从所述二次夹紧步骤进行至所述首次夹紧步骤的情况下，在固定所述第三旋转轴s3的位置的状态下所述第二按压部件340从所述第二角位置l2旋转至所述第一角位置l1。
181.据此，形成所述第四旋转轴s4和所述第六旋转轴s6及所述推杆312的末端以所述第三旋转轴s3为中心向外侧方向进行旋转并以垂直方向上升之后下降的向上凸起的弧形轨迹，即，形成所述卡块。
182.据此，与上述夹紧动作相同，要求拉动并收缩所述推杆312的缸体驱动部的充分的驱动输出，以克服分别作用于所述连接部件350和所述第二按压部件340的所述拉伸力和所述压缩力，经过所述卡块从所述第二夹紧步骤至第一夹紧步骤进行所述第三夹具350的夹紧解除动作。
183.然而，以所述第四旋转轴s4和所述第六旋转轴s6为基准，在左侧连接所述第二按压部件340，在右侧连接所述推杆312时，所述第二按压部件340的长度小于所述推杆312的长度。
184.另外，通过所述夹紧动作，所述推杆312将所述第四旋转轴s4和所述第六旋转轴s6从右侧推向左侧以垂直方向上升进而经过所述卡块，但是若通过所述夹紧解除动作，则所述第二按压部342被抬高将所述第四旋转轴s4和所述第六旋转轴s6从左侧推向右侧以垂直方向上升进而经过所述卡块。
185.然而，在以作用点为基准在一侧与另一侧配置长轴和短轴的支撑架的杠杆法则中，移动长轴的力和移动短轴的力成反比例。
186.据此，对于为了进行所述夹紧解除动作而抬高所述第二按压部342向外侧方向旋转所述第二按压部件340并且将所述第四旋转轴s4和所述第六旋转轴s6推向右侧的同时上升以经过所述卡块的力，要求大于为了进行所述夹紧动作而将所述推杆312推向左侧以将所述第四旋转轴s4和所述第六旋转轴s6推向左侧的同时上升以经过所述卡块的力。
187.从而，根据本发明的所述第三夹具300，由于对于上述的夹紧解除动作要求的力要
求大于上述的夹紧动作要求的力，因此处于上述的二次夹紧步骤的所述第三夹具300不会轻易解除夹紧，因此非常有利于稳定地固定所述第一夹具100和所述第二夹具200的结合。
188.尤其是，在因为所述缸体310故障等的原因在所述夹紧驱动部出现异常导致所述推杆312的状态不稳定的情况下，所述第三夹具300的夹紧也不会被轻易解除，因此能够稳定地固定所述第一夹具100和所述第二夹具200的结合。
189.另外，在所述第三夹具300可配置有从所述连接部件350延伸的把手360。
190.所述把手360是为了供使用人员用手抓握进行推拉，以所述第五旋转轴s5为中心旋转所述连接部件350而配置的，在所述缸体驱动部不工作的情况下，可作为伸长或者收缩所述缸体310的用途来使用。
191.优选为，所述把手360可构成为两端从所述一对连接部件350延伸以连接所述一对连接部件350的形状。
192.如上所述，无需单独的结构也可在所述连接部件350的延长线上配置有所述把手360，进而可将装置简单化并且可提高空间利用率。
193.另外，使用人员根据杠杆原理推拉所述把手360，进而能够更加容易旋转所述一对连接部件350。
194.图11示出了在所述固定部321和所述推杆312及隔着所述第一按压部件330和所述第二按压部件340在所述固定部321和所述推杆312两侧分别连接的所述一对连接部件350。
195.如图11所示，所述把手360连接于所述一对连接部件350的上侧，以便于使用人员推拉。
196.如上所述，根据本发明的夹紧装置1，配置有夹紧第一夹具100和第二夹具200的结合的第三夹具300，坚固地固定过滤器组件2的过滤器外壳20和过滤器头30的结合，进而可防止化学制剂泄漏，并且能够更加容易进行固定及解除固定。
197.另外，在所述夹紧装置1配置有观察窗w，可从视觉上确认所述过滤器外壳20和所述过滤器头30的结合面，进而可防止因为所述过滤器外壳20和所述过滤器头30的结合不良而出现化学制剂泄漏。
198.如上所述，举优选实施例详细说明了本发明，但是本发明不限于上述的实施例，而是在权利要求书的范围、发明的详细说明及附图的范围内可实施各种变形，而且这也包括在本发明。