一种高效制备高纯三氟化氯的提纯分离装置的制作方法

1.本发明属于三氟化氯的提纯分离装置技术领域，具体涉及一种高效制备高纯三氟化氯的提纯分离装置。


背景技术：

2.三氟化氯是已知化学性质最活泼的卤素氟化物，是一种高能和反应活性极强的物质，主要用于电子行业、核工业铀浓缩和军事用途。高纯度的三氟化氯主要应用于半导体、液晶、太阳能和led等领域的cvd室及其管道的清洗用途，其在清洗质量、效率和减少温室效应方面有着明显的优势。三氟化氯清洗是一种化学刻蚀过程，不存在等离子体那样的高能离子轰击过程，没有了离子轰击，对设备的损坏可以降到最低限度。同时，三氟化氯清洗属于就地清洗过程，无须拆解设备清洗设备与管道的死角，可以减少设备停机时间，还可以降低颗粒杂质的数量，并减少了操作人员的暴露时间。
3.现有的三氟化氯中含有一定量的杂质，主要包括氧气、氮气、一氟化氯、一氧化碳、二氧化碳、四氟化碳、氟化氢等挥发性杂质和金属氟化物等不挥发杂质，这些杂质的存在会影响三氟化氯在cvd室清洗中的使用性能，从而影响其质量，影响其使用的效果；
4.为此，我们提出了一种高效制备高纯三氟化氯的提纯分离装置，来解决上述问题。


技术实现要素：

5.本发明所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种高效制备高纯三氟化氯的提纯分离装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种高效制备高纯三氟化氯的提纯分离装置，包括储料斗，所述储料斗上设有泵体，所述泵体的一端延伸至储料斗内，所述泵体的另一端连通有输料管；
7.所述输料管上设有升降机构，所述升降机构上设有压板，所述储料斗的一侧固定有承载盒，所述压板和承载盒相互配合使用；
8.所述输料管内转动连接有竖轴，所述竖轴的下端延伸至压板和承载盒内，所述竖轴上等间距固定有多个桨叶，所述竖轴下端的套管，所述套管内固定有第二弹簧，所述套管内滑动连接有推杆，所述第二弹簧的下端固定在推杆的上端，所述推杆的两侧等间距固定有多个刮板；
9.所述承载盒的下端连接有出料管，所述出料管的另一端依次连接有汽化器、吸附塔、冷凝塔和精馏塔。
10.优选的，所述升降机构包括转动连接在输料管一侧的转轴，所述转轴上固定有齿轮，所述压板滑动套接在输料管上，所述压板的上端固定有直齿条，所述齿轮和直齿条相啮合。
11.优选的，所述转轴的外侧固定有转盘。
12.优选的，所述转轴上转动套接有轴套，所述轴套的下端固定有第一弹簧，所述第一
弹簧固定在压板的上端。
13.优选的，所述承载盒内安装有筛网，所述刮板和筛网相接触。
14.优选的，所述筛网采用不锈钢制成。
15.优选的，所述储料斗的一侧上端安装有进料管，所述进料管上安装有阀门。
16.本发明与现有技术相比具有以下优点：
17.1、本发明通过泵体能很好的将三氟化氯通过输料管抽送至承载盒内，并且通过筛网能很好的进行初步过滤在通过汽化器、吸附塔、冷凝塔、精馏塔的配合能有效进行提纯，保证其纯度，提升其使用效果；
18.2、本发明中三氟化氯通过输料管进入承载盒内时会冲击桨叶从而使竖轴转动，竖轴转动能使套管带动推杆转动，从而能使刮板抵触筛网转动，能有效的进行清理筛网的上端，避免杂质堵塞筛网保证其通过效果和过滤效果。
19.本发明能快速初步对三氟化氯内的杂质进行过滤，并且能很好的清理过滤网，保证过滤的效果和质量，并且方便进行更换和清洗，再通过汽化器、吸附塔、冷凝塔、精馏塔的配合能进一步的进行提纯，提高提纯的效率。
附图说明
20.图1为本发明提出的一种高效制备高纯三氟化氯的提纯分离装置的连接结构图；
21.图2为本发明提出的一种高效制备高纯三氟化氯的提纯分离装置的a处放大图；
22.图3为本发明提出的一种高效制备高纯三氟化氯的提纯分离装置的b处放大图；
23.图4为本发明提出的一种高效制备高纯三氟化氯的提纯分离装置的筛网结构示意图；
24.图5为本发明提出的一种高效制备高纯三氟化氯的提纯分离装置的套管和推杆结构示意图。
25.图中：1储料斗、2泵体、3输料管、4出料管、5汽化器、6吸附塔、7冷凝塔、8精馏塔、9转轴、10轴套、11齿轮、12直齿条、13第一弹簧、14转盘、15套管、16刮板、17筛网、18压板、19桨叶、20竖轴、21承载盒、22第二弹簧、23推杆。
具体实施方式
26.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
27.如图1-5所示，本发明提供一种技术方案：一种高效制备高纯三氟化氯的提纯分离装置，包括储料斗1，储料斗1的一侧上端安装有进料管，进料管上安装有阀门，物料通过进料管能进入储料斗1内，工作人员能通过阀门使物料稳定的进入储料斗1内，便于进行初步的过滤处理。
28.所述储料斗1上设有泵体2，所述泵体2的一端延伸至储料斗1内，所述泵体2的另一端连通有输料管3，泵体2能很好的将物料从储料斗1中抽出，并且能通过输料管3进行输送，方便进行过滤处理。
29.所述输料管3上设有升降机构，升降机构包括转动连接在输料管3一侧的转轴9，转轴9上固定套装有齿轮11，输料管3上滑动套接有压板18，压板18的上端一侧固定有直齿条12，齿轮11和直齿条12相啮合，齿轮11的转动能很好的使直齿条12运动，从而能带动压板18进行升降。
30.所述转轴9的外侧固定有转盘14，通过转动转盘14能很好的使齿轮11转动，齿轮11的转动能很好的使直齿条12运动，从而能带动压板18进行升降，压板18的升降能进行闭合，有效避免出现泄漏的情况。
31.转轴9上转动套接有轴套10，轴套10的下端固定有第一弹簧13，第一弹簧13固定在压板18的上端，能很好的使压板18复位，并且第一弹簧13能很好的适应压板18的上升。
32.所述储料斗1的一侧固定有承载盒21，所述压板18和承载盒21相互相互抵触，从而能很好的进行闭合。
33.所述输料管3内转动连接有竖轴20，所述竖轴20的下端延伸至压板18和承载盒21内，所述竖轴20上等间距固定有多个桨叶19，当物料通过输料管3输出时，能使桨叶19转动，从而能很好的带动竖轴20转动。
34.所述竖轴20下端的固定有套管15，所述套管15内固定有第二弹簧22，所述套管15内滑动连接有推杆23，所述第二弹簧22的下端固定在推杆23的上端，所述推杆23的两侧等间距固定有多个刮板16；
35.所述承载盒21内安装有筛网17，筛网17采用不锈钢制成，所述刮板16和筛网17相接触，刮板16抵触筛网17能很好的使第二弹簧22受压，第二弹簧22收缩能使推杆23运动，并且其能跟随竖轴20的转动进行转动，能很好的进行清理，保证物料通过筛网17，并且刮板16能很好的清理，避免筛网17堵塞。
36.所述承载盒21的下端连接有出料管4，所述出料管4的另一端依次连接有汽化器5、吸附塔6、冷凝塔7和精馏塔8；其中汽化器5能很好的将物料进行汽化，从而便于使汽化后的气体进入吸附塔6内。
37.吸附塔6的一端连接有冷凝塔7，冷凝塔7的一端连接有精馏塔8，精馏塔8内设有鲍尔环、拉西环和规整填料中的任意一种，填料采用鲍尔环、拉西环和规整填料中的任意一种，填料的材质是鲍尔环、拉西环和规整填料中的任意一种，能很好的保证净化的质量，提升产品的纯度。
38.综上，使用时，通过泵体2从储料斗1中将三氟化氯抽送至输料管3内，通过输料管3进入压板18和承载盒21内；
39.三氟化氯下落时冲击桨叶19使竖轴20转动，竖轴20转动通过套管15带动推杆23转动，推杆23转动能带动刮板16转动，能使刮板16抵触筛网17的上端转动，能有效的清理筛网17的上端；
40.当需要进行更换时能转动转盘14使转轴9转动，转轴9转动能使齿轮11带动直齿条12转动，从而能使压板18上升，方便快速更换筛网17；
41.当清理完毕之后通过出料管4进入汽化器5，再经过吸附塔6进入冷凝塔7，最后通过精馏塔8的精馏有效保证提纯效果。
42.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存
在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
43.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。