一种半导体芯片用镍银腐蚀液的制备装置的制作方法

1.本实用新型涉及镍银腐蚀液制备技术领域，具体为一种半导体芯片用镍银腐蚀液的制备装置。


背景技术：

2.半导体晶体硅材质上连续镀上镍层、银层后，再在银层涂覆一定规格与大小的光刻胶进行保护，而光刻胶与光刻胶之间形成的凹槽镀层需使用专用的腐蚀液进行腐蚀、清除，以达到客户要求，再制成半导体芯片，能够高效去除芯片中的镍和银金属，同时对其生成物通过分散、络合等手法，使其易于后续工艺清洗完全，解决了一般药液腐蚀后生成物不易清洗，从而导致线路微短路、漏电等工艺不良风险。
3.现有的半导体芯片用镍银腐蚀液的制备装置的缺陷是：
4.1、现有的半导体芯片用镍银腐蚀液的制备装置一般需要人们手动进行配比，而人们在使用过程中，无法第一时间的得知溶液的使用度对溶液进行配比，进而会影响人们的使用；
5.2、现有的半导体芯片用镍银腐蚀液的制备装置一般在长时间进行溶液配比时，装置内部会残留一定量的溶液，而残留的溶液会影响人们下次配比出来的溶液质量。


技术实现要素：

6.本实用新型的目的在于提供一种半导体芯片用镍银腐蚀液的制备装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
7.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体芯片用镍银腐蚀液的制备装置，包括罐体；所述罐体的顶部等距安装有配比罐，所述配比罐底部的外侧安装有自动配比机构，所述罐体的内顶部安装有清理机构，所述罐体底部的外侧安装有储液机构；
8.所述自动配比机构包括液位传感器、流量计和电磁阀，所述配比罐底部的外侧安装有流量计，所述流量计的底部安装有电磁阀，所述储液机构的内部安装有液位传感器；
9.所述清理机构包括伸缩杆、连接板和毛刷，罐体的内顶部安装有伸缩杆，所述伸缩杆的底部安装有连接板，所述连接板的外侧安装有毛刷。
10.优选的，所述罐体外侧的正面安装有控制箱，控制箱的底部安装有电线。
11.优选的，所述控制箱的正面安装有指示灯，指示灯的底部安装有开关。
12.优选的，所述罐体的底部等距设有支撑腿，支撑腿远离罐体的一端安装有底座。
13.优选的，所述罐体顶部的中央位置处安装有电机，罐体内顶部靠近电机的一侧安装有套筒。
14.优选的，所述套筒的内部安装有连接杆，连接杆的外侧安装有螺旋杆。
15.优选的，所述储液机构包括连接座和储存管，罐体底部的外侧安装有连接座，连接座的内部安装有储存管。
16.优选的，所述罐体一侧的内部设有进水口，罐体远离进水口一侧的内底部设有溶
液出口。
17.优选的，所述罐体底部的中央位置处设有废水排出口，废水排出口的内部安装有堵头。
18.优选的，所述控制箱和电机、伸缩杆电性连接，控制箱和液位传感器、流量计、电磁阀电性连接。
19.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
20.1、本实用新型通过在配比罐底部的外侧安装有自动配比机构，随着溶液流出罐体内部时，液位传感器可以对储液机构内部的溶液进行监测，当液位传感器监测到液面较低时，通过将指令传送至控制箱，然后通过控制箱控制电磁阀打开，使配比罐内部的溶液流出及时对溶液进行配比补充，进而不会影响人们的使用。
21.2、本实用新型通过在罐体的内顶部安装有清理机构，通过伸缩杆内部的电机组件带动丝杆结构传动螺母进行移动，使伸缩杆的伸缩端伸缩，进而带动连接板进行移动，当连接板移动时可以带动外侧的毛刷对罐体内部残留的溶液进行清理，进而不会影响人们下次配比出来的溶液质量。
附图说明
22.图1为本实用新型的正面内部结构示意图；
23.图2为本实用新型的背面结构示意图；
24.图3为本实用新型的正面结构示意图；
25.图4为本实用新型的俯视结构示意图。
26.图中：1、罐体；101、支撑腿；102、底座；103、进水口；104、溶液出口；105、废水排出口；106、堵头；2、控制箱；201、指示灯；202、开关；203、电线；3、电机；301、套筒；302、连接杆；303、螺旋杆；4、清理机构；401、伸缩杆；402、连接板；403、毛刷；5、配比罐；6、自动配比机构；601、液位传感器；602、流量计；603、电磁阀；7、储液机构；701、连接座；702、储存管。
具体实施方式
27.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
28.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
29.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况
理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
30.请参阅图1
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4，本实用新型提供的一种实施例：一种半导体芯片用镍银腐蚀液的制备装置,包括罐体1；罐体1的顶部等距安装有配比罐5，配比罐5底部的外侧安装有自动配比机构6，罐体1的内顶部安装有清理机构4，罐体1底部的外侧安装有储液机构7；
31.自动配比机构6包括液位传感器601、流量计602和电磁阀603，配比罐5底部的外侧安装有流量计602，流量计602的底部安装有电磁阀603，储液机构7的内部安装有液位传感器601；
32.清理机构4包括伸缩杆401、连接板402和毛刷403，罐体1的内顶部安装有伸缩杆401，伸缩杆401的底部安装有连接板402，连接板402的外侧安装有毛刷403；
33.具体的，如图1、图2、图3和图4所示，使用前，人员通过电线203将装置连接外部电源，然后通过向配比罐5的内部输送至各个需要使用的溶液，同时通过流量计602可以监测配比罐5内部流出液体的容量，当配比罐5内部流出液体达到一定数值时，流量计602会将指令传送至控制箱2，控制箱2将指令发送至电磁阀603，使电磁阀603关闭配比罐5，避免配比罐5内部溶液的流出，随着溶液注入到罐体1内部时，会有部分溶液流入至储液机构7的内部，然后通过电机3带动连接杆302外侧螺旋杆303旋转，将罐体1内部的溶液快速进行充分融合，当罐体1内部将镍银腐蚀液配置好时，通过在溶液出口104的内部安装输送管，然后将罐体1内部的溶液通过输送管传送出去，随着溶液流出罐体1内部时，液位传感器601可以对储液机构7内部的溶液进行监测，当液位传感器601监测到液面较低时，通过将指令传送至控制箱2，然后通过控制箱2控制电磁阀603打开，使配比罐5内部的溶液流出及时对溶液进行配比补充，进而不会影响人们的使用，当装置使用时间过长时，通过伸缩杆401内部的电机组件带动丝杆结构传动螺母进行移动，进而使伸缩杆401的伸缩端伸缩，进而带动连接板402进行移动，当连接板402移动时可以带动外侧的毛刷403对罐体1内部残留的溶液进行清理，而清理后的溶液会从罐体1底部的废水排出口105排出，进而不会影响人们下次配比出来的溶液质量。
34.进一步，罐体1外侧的正面安装有控制箱2，控制箱2的底部安装有电线203；
35.具体的，如图3所示，使用前，人员通过电线203将装置连接外部电源，当装置连通电源时，人员通过操作控制箱2一侧的开关202可以控制装置开始工作，而控制箱2可以保内部的控制组件。
36.进一步，控制箱2的正面安装有指示灯201，指示灯201的底部安装有开关202；
37.具体的，如图3所示，当装置内部的零件开始工作时，相应的指示灯201会亮起，从而方便工作人员知道装置的运行情况，而开关202可以方便人员操作装置开始工作。
38.进一步，罐体1的底部等距设有支撑腿101，支撑腿101远离罐体1的一端安装有底座102；
39.具体的，如图3所示，罐体1的底部焊接有支撑腿101，支撑腿101可以支撑顶部的罐体1，而底座102可以增加支撑腿101和地面的接触面积，从而提高罐体1的稳定性。
40.进一步，罐体1顶部的中央位置处安装有电机3，罐体1内顶部靠近电机3的一侧安装有套筒301；
41.具体的，如图1所示，套筒301的内部安装有连接杆302，电机3的输出端穿过套筒301连接有连接杆302，当电机3工作时，可以带动连接杆302的一端在套筒301的内部进行旋
转。
42.进一步，套筒301的内部安装有连接杆302，连接杆302的外侧安装有螺旋杆303；
43.具体的，如图1所示，当电机3工作带动连接杆302转动时，连接杆302会带动外侧的螺旋杆303进行旋转，通过螺旋杆303旋转可以将罐体1内部的溶液快速进行充分融合，进而便于人员后期的使用。
44.进一步，储液机构7包括连接座701和储存管702，罐体1底部的外侧安装有连接座701，连接座701的内部安装有储存管702；
45.具体的，如图2所示，当罐体1内部配置溶液时，会有相对应的溶液通过连接座701流入至储存管702的内部，而储存管702的内部安装有液位传感器601，液位传感器601通过检测储存管702内部溶液的位面，可以实时对罐体1内部的溶液进行监测。
46.进一步，罐体1一侧的内部设有进水口103，罐体1远离进水口103一侧的内底部设有溶液出口104；
47.具体的，如图1所示，通过进水口103连接外部管道，可以将外部的水输送至罐体1的内部，当罐体1内部将镍银腐蚀液配置好时，通过在溶液出口104的内部安装输送管，然后将罐体1内部的溶液通过输送管传送出去，进而便于人员的使用。
48.进一步，罐体1底部的中央位置处设有废水排出口105，废水排出口105的内部安装有堵头106；
49.具体的，如图1所示，当人员使用清理机构4对罐体1的内部清理完成时，通过将废水排出口105内部的堵头106拔出，从而可以使罐体1内部的污水通过废水排出口105排出。
50.进一步，控制箱2和电机3、伸缩杆401电性连接，控制箱2和液位传感器601、流量计602、电磁阀603电性连接；
51.具体的，如图1、图2和图3所示，人员通过操作控制箱2正面的开关202，可以使电机3、伸缩杆401、液位传感器601、流量计602和电磁阀603连通电源开始工作。
52.工作原理：使用前，人员通过电线203将装置连接外部电源，当装置连通电源时，人员通过操作控制箱2一侧的开关202可以控制装置开始工作，然后通过向配比罐5的内部输送至各个需要使用的溶液，通过流量计602可以监测配比罐5内部流出液体的容量，当配比罐5内部流出液体达到一定数值时，流量计602会将指令传送至控制箱2，控制箱2将指令发送至电磁阀603，使电磁阀603关闭配比罐5，然后通过电机3带动连接杆302外侧螺旋杆303旋转，将罐体1内部的溶液快速进行充分融合，当罐体1内部将镍银腐蚀液配置好时，通过在溶液出口104的内部安装输送管将溶液通过传送出去，随着溶液流出罐体1内部时，液位传感器601可以对储液机构7内部的溶液进行监测，当液位传感器601监测到液面较低时，通过将指令传送至控制箱2，然后通过控制箱2控制电磁阀603打开，使配比罐5内部的溶液流出及时对溶液进行配比补充，当装置使用时间过长时，通过伸缩杆401内部的电机组件带动丝杆结构传动螺母进行移动，进而使伸缩杆401的伸缩端伸缩，进而带动连接板402进行移动，当连接板402移动时可以带动外侧的毛刷403对罐体1内部残留的溶液进行清理，而清理后的溶液会从罐体1底部的废水排出口105排出。
53.本实用新型未详述之处，均为本领域技术人员的公知技术。
54.最后所要说明的是：以上具体实施方式仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以
对本实用新型的技术方案进行修改和等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。