1.本实用新型涉及气体过滤装置，特别涉及除去六氟化钨中微量四氟氧钨的装置。
背景技术：
2.高纯度的六氟化钨气体主要用途是在电子行业中作为金属钨cvd工艺的原材料，随着半导体行业对电子气体纯度的要求日益增高，去除杂质、提高电子气体的纯度是满足半导体市场需求的首要条件。但是在六氟化钨粗气生产过程中，由于原材料含有少量的水、氧等组分，导致反应过程中生成四氟氧钨副产物。同时在粗气提纯过程中，因杂质四氟氧钨的存在，易发生出料管线阀门堵塞、阀芯磨损内漏、阀杆破损外漏等问题，在线分析过程中过滤器频繁堵塞，此类问题严重影响精制提纯的效率，也使生产过程中存在安全隐患。
技术实现要素：
3.本实用新型要解决的技术问题是提供一种气体过滤装置，该装置能有效去除气相物料中的杂质颗粒，确保气体提纯工艺中物料流通顺畅，也减少管路阀门损坏的频率，进而提高精制提纯效率并保证日常安全生产。
4.为达上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：一种气体过滤装置，所述装置1是一端开口一端封闭的卧式罐体，开口端设有物料进口2，封闭端设有物料出口7，罐体内部从开口端到封闭端依次设有沉降隔板3、过滤板4、折流板6，沉降隔板3和过滤板4通过底部连接杆11固定于罐体底部，过滤板4通过顶部固定杆10固定于罐体，罐体开口端配备有法兰12，外部设置有夹套9。
5.所述沉降隔板3包括隔板和用于支撑隔板的支架；所述隔板水平放置，所述支架相对垂直固定于隔板两侧，且与底部连接杆11垂直固定。固定方式可采用焊接等多种方式。沉降隔板的设置，缩减了颗粒的沉降距离，增大沉降处理能力。
6.所述隔板可以有若干个，若干隔板之间保持等间距。所述隔板与底部连接杆11平行。所述隔板宽度等于或小于罐体内壁间距。
7.所述过滤板(4)竖直固定，从开口端到封闭端依次设置若干等间距不同滤径的过滤板，且过滤板的滤径依次减小。过滤板4优选使用内螺纹方式连接于固定杆10和底部连接杆11。
8.进一步地，所述过滤板4直径等于或者小于罐体内壁直径。所述过滤板4边设置成凹槽，使用“o”型圈进行密封。所述过滤板4移动进入装置内后由定位板5进行定位。
9.所述折流板6竖直满焊于罐体内壁，所述折流板6优选为3/4装置横截面的圆弧板。
10.所述底部连接杆11贴合于装置底部内壁。首端与过滤板前端齐平，末端与末块隔板后端齐平。
11.本实用新型所述的装置，通过夹套控温后，气相物料经过沉降隔板，使其夹带的固体杂质沉淀至隔板上，未沉降的杂质再经过垂直于气流方向的不同滤径的滤板被截留，既增大了装置的处理能力，又达到精细过滤的目的，保证后续精制提纯的效率；通过装置结构
的优化设计，底部连接杆、顶部固定杆用于固定支撑沉降隔板和过滤板，不仅提高了滤网拆清的效率，也保证正常使用过程中过滤板的稳固性。
附图说明
12.图1为本实用新型实施例所述的除去六氟化钨中微量四氟氧钨的装置的主视图。
13.1-过滤装置；2-物料进口；3-沉降隔板；4-过滤板；5-定位板；6-折流板；7-物料出口；9-夹套；10-顶部固定杆；11-底部连接杆；12-法兰。
具体实施方式
14.下面结合具体实施例对本发明进行进一步详细的说明。
15.在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
16.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“外”“内”“上”“下”“水平”“垂直”“底”“顶”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
17.下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型：
18.如图1所示，一种除去六氟化钨中微量四氟氧钨的装置，所述装置1是一端开口一端封闭的卧式罐体，开口端设有物料进口2，封闭端设有物料出口7，罐体内部从开口端到封闭端依次设有沉降隔板3、过滤板4、折流板6，沉降隔板3和过滤板4通过底部连接杆11固定于罐体底部，过滤板4通过顶部固定杆10固定于罐体，罐体开口端配备有法兰12，外部设置有夹套9。定位板5焊接于装置内壁正上方。
19.本实施例通过设置一个开口法兰，然后通过底部连接杆能将沉降板和过滤板移出，可根据需要对过滤板的滤芯进行更换，从而能提高更换效率，同时仅一个法兰口能最大限度的降低六氟化钨物料泄漏的风险。
20.上述的沉降隔板3包括支架和若干隔板。所述支架相对垂直焊接于隔板两侧，且与底部连接杆11垂直焊接。
21.上述的沉降隔板3水平放置于装置内部，若干隔板之间保持等间距。所述隔板与底部连接杆11平行。所述隔板宽度等于或小于装置内壁间距。
22.本实施例通过降温水夹套对六氟化钨物料进行降温，内部温度控制在40℃～60℃，使其中夹带的四氟氧钨固化沉淀，利用颗粒的自由沉降，通过设置沉降隔板，增大了过滤装置的处理能力。若隔板出现倾斜，会造成装置处理能力弱化。
23.上述的过滤板4垂直于气流方向，沿装置中气流方向依次设置等间距不同滤径的滤板，且滤板的滤径依次减小。一级滤板滤径250um，二级滤板100um，三级滤板50um。不仅能提高过滤装置的处理量，又能有效去除微小的颗粒杂质。
24.过滤板4与底部连接杆11垂直安装，所述过滤板4顶部与固定杆10垂直安装。所述固定杆10、底部连接杆11与过滤板4之间使用内螺纹方式连接。
25.过滤板4直径等于或者小于装置内壁直径。所述过滤板4边设置成凹槽，使用“o”型圈进行密封。所述过滤板4移动进入装置内后由定位板5进行定位。
26.本实施例不同滤径的滤板之间使用螺纹方式连接，能够实现对沉降板和过滤板拆
卸清洗，提高工作效率。同时使用“o”型圈嵌入过滤板边凹槽内，与过滤装置内壁贴合，形成密封，确保使用过程中六氟化钨物料全部经过滤芯进行过滤，达到去除颗粒杂质的目的。
27.上述的折流板6垂直满焊于装置内壁，且方向垂直于气流方向，所述折流板6为3/4装置横截面的圆弧板。
28.本实施例中设置定位板5，能起到内部移动装置定位功能，同时在生产期间确保过滤板在一定的差压下不会发生移动。同时设置折流板能提高六氟化钨物料在过滤装置中的停留时间，有利于杂质的进一步沉降。
29.上述的底部连接杆11贴于装置底部内壁。首端与过滤板前端齐平，末端与隔板后端齐平。
30.工作原理：如图1所述，六氟化钨粗气进入装置内部，依次经过沉降隔板、过滤板、折流板。经过降温水装置降温后，六氟化钨气流分布隔板之上进行流通，部分杂质颗粒经过沉降后落在隔板上，少量未沉降的杂质再经过三级不同滤径的滤板进行去除，达到精细过滤的目的。最后经过折流板改变物料气流的方向，从而增大物料的停留时间。进而保证出口物料中杂质含量降至最低。
31.以上所述的仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。