一种用于光刻胶喷涂的喷嘴装置的制作方法

一种用于光刻胶喷涂的喷嘴装置
[技术领域]
[0001]
本实用新型涉及喷嘴技术领域，具体地说是一种用于光刻胶喷涂的喷嘴装置。
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背景技术：
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[0002]
目前，空气雾化嘴是工业应用领域的重要部件，可以应用在半导体行业，用于喷涂工艺。喷嘴使用性能决定着整个设备的性能，对生产有着极为重要的意义。众多喷嘴的使用性能不一，而半导体行业对喷嘴的颗粒度和喷雾形态是特别严格的。因此，现有的空气雾化喷嘴仅能初步实现应用要求，却不能满足颗粒度、打击力、覆盖、角度、分布和喷雾形态等特定要求，不能保证喷涂效果。
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技术实现要素：
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[0003]
本实用新型的目的就是要解决上述的不足而提供一种用于光刻胶喷涂的喷嘴装置，通过高速旋转的气体撞击经过液体孔喷出液体，带动液体旋转形成圆锥形态喷雾，其喷雾速度可调整，喷雾型态更稳定，分布更均匀。
[0004]
为实现上述目的设计一种用于光刻胶喷涂的喷嘴装置，包括空气帽1、液体帽2和输液细管3，所述空气帽1与液体帽2通过螺钉连接为一体，所述空气帽1上设置有气体入口1
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1，所述空气帽1底部设有气体出口2
‑
2，所述空气帽1内部设有用于容纳液体帽2的空腔，所述液体帽2上部与空气帽1内壁之间密封连接，所述液体帽2下部与空气帽1内壁之间构成旋转腔2
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3，所述旋转腔2
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3顶部与气体入口1
‑
1连通，所述旋转腔2
‑
3底部与气体出口2
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2连通，气体自空气帽1的气体入口1
‑
1进入，并自液体帽2与空气帽1构成的旋转腔2
‑
3旋转喷出，所述液体帽2内下部中心位置处设有液体出口2
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1，所述液体出口2
‑
1处插装有输液细管3，液体自输液细管3的细长孔3
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1进入，并自液体出口2
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1喷出，旋转喷出的气体撞击经过液体出口2
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1喷出的液体，并带动液体旋转形成圆锥形喷雾。
[0005]
作为优选，所述液体帽2与空气帽1之间构成旋转腔2
‑
3呈倒圆锥状，所述旋转腔2
‑
3的直径由上至下逐渐减小。
[0006]
作为优选，所述空气帽1与液体帽2之间通过调整螺钉一4、调整螺钉二5调节相对位置以实现更好的同轴度，所述调整螺钉一4、调整螺钉二5分别设置在左右两侧。
[0007]
作为优选，所述液体帽2上部与空气帽1内壁之间布置有密封圈，并通过密封圈密封连接。
[0008]
作为优选，所述气体入口1
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1设置在空气帽1中部，且呈环状布置，气体通过气体入口1
‑
1切向进入空气帽1。
[0009]
本实用新型同现有技术相比，气体直接从空气帽切向进入，取消喷嘴本体，从而让气体阻力更小；液体通过细长孔的液体帽，取消传统的比较短的液体孔，从而让供液更稳定；气体切向进入空气帽，高速旋转，撞击经过液体孔喷出液体，带动液体旋转，最终形成所需的圆锥形喷雾形态；该喷嘴装置在稳定的喷雾型态的情况下，喷雾速度可调整，喷雾型态更稳定，分布更均匀，而均匀是此类喷嘴的最重要的要求，且制造精密性，装配精密性和可
调整性，均可保证上述性能，能够满足颗粒度、打击力、覆盖、角度、分布和喷雾形态等特定要求。此外，本实用新型可以通过调整螺钉调节空气帽和液体帽的相对位置，实现更好的同轴度，从而控制改善喷雾效果。
[附图说明]
[0010]
图1a是本实用新型的剖视图；
[0011]
图1b是本实用新型的立体结构示意图；
[0012]
图2a是本实用新型空气帽的结构示意图；
[0013]
图2b是本实用新型空气帽的剖视图；
[0014]
图3a是本实用新型液体帽的结构示意图；
[0015]
图3b是本实用新型液体帽的剖视图；
[0016]
图中：1、空气帽 2、液体帽 3、输液细管 4、调整螺钉一 5、调整螺钉二 1
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1、气体入口 2
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1、液体出口 2
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2、气体出口 2
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3、旋转腔。
[具体实施方式]
[0017]
下面结合附图对本实用新型作以下进一步说明：
[0018]
如附图所示，本实用新型提供了一种用于光刻胶喷涂的喷嘴装置，包括空气帽1、液体帽2和输液细管3，空气帽1与液体帽2通过螺钉连接为一体，空气帽1上设置有气体入口1
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1，空气帽1底部设有气体出口2
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2，空气帽1内部设有用于容纳液体帽2的空腔，液体帽2上部与空气帽1内壁之间密封连接，液体帽2下部与空气帽1内壁之间构成旋转腔2
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3，旋转腔2
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3顶部与气体入口1
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1连通，旋转腔2
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3底部与气体出口2
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2连通，气体自空气帽1的气体入口1
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1进入，并自液体帽2与空气帽1构成的旋转腔2
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3旋转喷出，液体帽2内下部中心位置处设有液体出口2
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1，液体出口2
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1处插装有输液细管3，液体自输液细管3的细长孔3
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1进入，并自液体出口2
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1喷出，旋转喷出的气体撞击经过液体出口2
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1喷出的液体，并带动液体旋转形成圆锥形喷雾。
[0019]
其中，液体帽2与空气帽1之间构成旋转腔2
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3呈倒圆锥状，旋转腔2
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3的直径由上至下逐渐减小，从而形成所需的圆锥形喷雾形态。空气帽1与液体帽2之间通过调整螺钉一4、调整螺钉二5调节相对位置，调整螺钉一4、调整螺钉二5分别设置在左右两侧，从而可实现更好的同轴度，控制改善喷雾效果。液体帽2上部与空气帽1内壁之间布置有密封圈，并通过密封圈密封连接；气体入口1
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1设置在空气帽1中部，且呈环状布置，气体通过气体入口1
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1切向进入空气帽1，从而可以让气体阻力更小。
[0020]
本实用新型的工作原理为：气体从空气帽的气体入口1
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1进入，从液体帽和空气帽构成的旋转腔2
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3经过，气体旋转喷出；液体从输液细管3的细长孔3
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1进入到喷孔，气体撞击液滴，使液体获得旋转动力，加速旋转，形成圆锥形的喷雾效果。即，雾化气体切向进入喷嘴空气帽的气体入口，经过旋转，从气环喷出；液体从液体帽的入口进去，经过细长孔流出；气体和液体颗粒撞击，进行破碎，并保持旋转，使雾滴形成所需的圆锥形喷雾形态。
[0021]
本实用新型整个工作过程是连贯的，只要根据工艺需求独立调整气体流量和液体流量即可；还可以通过调整螺钉调节空气帽和液体帽的相对位置，实现更好的同轴度，从而控制改善喷雾效果；可以通过细管获得更稳定的供液，同时降低细长孔的加工难度。
[0022]
本实用新型并不受上述实施方式的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。