一种金属硅还原炉内废气真空置换装置的制作方法

1.本实用新型涉及金属硅生产技术领域，具体领域为一种金属硅还原炉内废气真空置换装置。


背景技术：

2.在还原炉运行中，由于受限于还原炉结构，进入还原炉内的氮气需从底盘处进入，排出还原炉的氯硅烷需从底盘处排出，从而使进入到还原炉内的氮气不能对还原炉内的气体进行完全置换，从而需多次向还原炉内加入氮气进行加压置换，最后再将置换产生的废气进行处理，整个过程不仅需花费大量时间，且使氮气被大量浪费，并且还原炉在多次加压过程中容易导致炉内硅棒或硅芯倒炉，同时在对置换出来的废气进行处理时处理效果不佳，排出后依然对环境有所危害，为此，提出一种金属硅还原炉内废气真空置换装置。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种金属硅还原炉内废气真空置换装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种金属硅还原炉内废气真空置换装置，包括底座，所述底座上表面的左侧设有还原炉，所述还原炉左侧面的下部连通有氮气进气管，所述还原炉右侧面的上部连通有原料气进气管，所述还原炉右侧面的下部连通有抽气管的一端，所述抽气管的另一端与真空泵的抽气口相连通，所述真空泵固定连接在底座的上表面，所述真空泵右侧面的出气口连通有出气管的一端，所述出气管的另一端与箱体相连通，所述箱体固定连接在底座的上表面，所述箱体内壁的中部位置上固定连接有隔板，所述隔板上设有开口，所述隔板的下方设有第一喷淋机构，所述隔板的上方设有第二喷淋机构，所述箱体右侧面的上部连通有排气管，所述箱体的右侧并位于底座的上表面固定连接有碱液供给箱，所述碱液供给箱右侧面的上部连通有进液管，所述碱液供给箱右侧面的下部连通有排液管。
5.优选的，所述箱体后表面下部的出液口连通有第一循环管的一端，所述第一循环管的另一端与循环泵的抽液口相连通，所述循环泵固定连接在底座的上表面，所述循环泵后表面的出液口连通有第二循环管的一端，所述第二循环管的另一端与碱液供给箱相连通。
6.优选的，所述碱液供给箱的前表面设有观察窗，所述观察窗上设有刻度。
7.优选的，所述第一喷淋机构包括第一抽液泵，所述第一抽液泵固定连接在碱液供给箱上表面的左侧，所述第一抽液泵下表面的抽液口连通有第一抽液管的一端，所述第一抽液管的另一端伸进碱液供给箱内，所述第一抽液泵上表面的出液口连通有第一出液管的一端，所述第一出液管的另一端伸进箱体的壁体内并与环形液管相连通，所述环形液管下表面的左右两侧均连通有第一喷管，所述第一喷管上设有若干个第一喷头，所述第一喷头的一端伸进箱体内。
8.优选的，所述第二喷淋机构包括第二抽液泵，所述第二抽液泵固定连接在碱液供给箱上表面的中部位置上，所述第二抽液泵下表面的抽液口连通有第二抽液管的一端，所述第二抽液管的另一端伸进碱液供给箱内，所述第二抽液泵上表面的出液口连通有第二出液管的一端，所述第二出液管的另一端伸进箱体内并与第二喷管相连通，所述第二喷管上设有若干个第二喷头。
9.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：一种金属硅还原炉内废气真空置换装置，具有以下优点：通过还原炉、氮气进气管、原料气进气管、抽气管、真空泵和出气管之间的配合，使还原炉内保持真空状态，使进入还原炉内的氮气能与金属硅在还原过程中产生的废气进行充分置换，有效避免氮气浪费，同时避免由于多次加压容易导致炉内硅棒或硅芯倒炉，通过设有第一喷淋机构、第二喷淋机构和碱液供给箱的设置，可对产生的废气进行两次喷淋，使废气的处理效果更佳，避免由于对废气的处理不充分给环境造成了危害，通过第一循环管、循环泵和第二循环管之间的配合，可对未完全反应的碱液进行循环使用，避免造成的了浪费，通过在碱液供给箱的前表面设有观察窗和刻度，可对碱液供给箱内碱液的容量进行查看。
附图说明
10.图1为本实用新型的立体结构示意图一；
11.图2为本实用新型的立体结构示意图二；
12.图3为本实用新型的主视结构示意图；
13.图4为本实用新型的主视剖视结构示意图。
14.图中：1-底座、2-还原炉、3-氮气进气管、4-原料气进气管、5-抽气管、6-真空泵、7-出气管、8-箱体、9-隔板、10-开口、11-排气管、12-碱液供给箱、13-进液管、14-排液管、15-第一循环管、16-循环泵、17-第二循环管、18-观察窗、19-刻度、20-第一抽液泵、21-第一抽液管、22-第一出液管、23-环形液管、24-第一喷管、25-第一喷头、26-第二抽液泵、27-第二抽液管、28-第二出液管、29-第二喷管、30-第二喷头。
具体实施方式
15.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
16.请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种金属硅还原炉内废气真空置换装置，包括底座1，所述底座1上表面的左侧设有还原炉2，所述还原炉2左侧面的下部连通有氮气进气管3，所述还原炉2右侧面的上部连通有原料气进气管4，所述还原炉2右侧面的下部连通有抽气管5的一端，所述抽气管5的另一端与真空泵6的抽气口相连通，所述真空泵6固定连接在底座1的上表面，所述真空泵6右侧面的出气口连通有出气管7的一端，所述出气管7的另一端与箱体8相连通，通过还原炉2、氮气进气管3、原料气进气管4、抽气管5、真空泵6和出气管7之间的配合，使还原炉2内保持真空状态，使进入还原炉2内的氮气能与金属硅在还原过程中产生的废气进行充分置换，有效避免氮气浪费，同时避免由于多次加压容易
导致炉内硅棒或硅芯倒炉，所述箱体8固定连接在底座1的上表面，所述箱体8内壁的中部位置上固定连接有隔板9，所述隔板9上设有开口10，所述隔板9的下方设有第一喷淋机构，所述隔板9的上方设有第二喷淋机构，所述箱体8右侧面的上部连通有排气管11，所述箱体8的右侧并位于底座1的上表面固定连接有碱液供给箱12，通过设有第一喷淋机构、第二喷淋机构和碱液供给箱12的设置，可对产生的废气进行两次喷淋，使废气的处理效果更佳，避免由于对废气的处理不充分给环境造成了危害，所述碱液供给箱12右侧面的上部连通有进液管13，所述碱液供给箱12右侧面的下部连通有排液管14。
17.具体而言，所述箱体8后表面下部的出液口连通有第一循环管15的一端，所述第一循环管15的另一端与循环泵16的抽液口相连通，所述循环泵16固定连接在底座1的上表面，所述循环泵16后表面的出液口连通有第二循环管17的一端，所述第二循环管17的另一端与碱液供给箱12相连通，通过第一循环管15、循环泵16和第二循环管17之间的配合，可对未完全反应的碱液进行循环使用，避免造成的了浪费。
18.具体而言，所述碱液供给箱12的前表面设有观察窗18，所述观察窗18上设有刻度19，通过在碱液供给箱12的前表面设有观察窗18和刻度19，可对碱液供给箱12内碱液的容量进行查看。
19.具体而言，所述第一喷淋机构包括第一抽液泵20，所述第一抽液泵20固定连接在碱液供给箱12上表面的左侧，所述第一抽液泵20下表面的抽液口连通有第一抽液管21的一端，所述第一抽液管21的另一端伸进碱液供给箱12内，所述第一抽液泵20上表面的出液口连通有第一出液管22的一端，所述第一出液管22的另一端伸进箱体8的壁体内并与环形液管23相连通，所述环形液管23下表面的左右两侧均连通有第一喷管24，所述第一喷管24上设有若干个第一喷头25，所述第一喷头25的一端伸进箱体8内，通过第一抽液泵20、第一抽液管21、第一出液管22、环形液管23、第一喷管24和第一喷头25之间的配合，可从碱液供给箱12内抽取碱液并对废气进行第一次喷淋处理。
20.具体而言，所述第二喷淋机构包括第二抽液泵26，所述第二抽液泵26固定连接在碱液供给箱12上表面的中部位置上，所述第二抽液泵26下表面的抽液口连通有第二抽液管27的一端，所述第二抽液管27的另一端伸进碱液供给箱12内，所述第二抽液泵26上表面的出液口连通有第二出液管28的一端，所述第二出液管28的另一端伸进箱体8内并与第二喷管29相连通，所述第二喷管29上设有若干个第二喷头30，通过第二抽液泵26、第二抽液管27、第二出液管28、第二喷管29和第二喷头30之间的配合，可从碱液供给箱12内抽取碱液并对废气进行第二次喷淋处理。
21.工作原理：本实用新型在使用时，通过还原炉2、氮气进气管3、原料气进气管4、抽气管5、真空泵6和出气管7之间的配合，使还原炉2内保持真空状态，使进入还原炉2内的氮气能与金属硅在还原过程中产生的废气进行充分置换，有效避免氮气浪费，同时避免由于多次加压容易导致炉内硅棒或硅芯倒炉，置换出来的废气通过出气管7进入到箱体8内，通过启动第一抽液泵20，第一抽液泵20的通过第一抽液管21从碱液供给箱12内抽取碱液，并通过第一出液管22、环形液管23、第一喷管24和第一喷头25对废气进行第一次喷淋处理，通过启动第二喷淋机构中的第二抽液泵26，第二抽液泵26通过第二抽液管27从碱液供给箱内12抽取碱液，并通过第二出液管28、第二喷管29和第二喷头30对废气进行第二次喷淋处理，通过两次喷淋，使废气的处理效果更佳，避免由于对废气的处理不充分给环境造成了危害，
通过第一循环管15、循环泵16和第二循环管17之间的配合，可对未完全反应的碱液进行循环使用，避免造成的了浪费，通过在碱液供给箱12的前表面设有观察窗18和刻度19，可对碱液供给箱12内碱液的容量进行查看。
22.在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
23.本实用新型使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述。
24.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。