一种氮化镓高压釜的固定装置及固定装置组的制作方法

文档序号:30035951发布日期:2022-05-17 10:24阅读:61来源:国知局
一种氮化镓高压釜的固定装置及固定装置组的制作方法

1.本实用新型涉及氮化镓生产技术领域,尤其涉及一种氮化镓高压釜的固定装置及固定装置组。


背景技术:

2.目前,生产氮化镓的主要方式为氨热法,氨热法是一种在高温高压(400-700℃,1000-6000个大气压)环境下,从过饱和临界氨中培养氮化镓晶体的方法。这种方法与水热法生长水晶的技术类似:晶体的培养是在高压釜中进行的。高压釜由耐高温高压和耐酸碱的特种钢材制成。
3.通常晶体生长经过如下工序:材料准备-入炉,抽真空-预充气,升温-保温保压-降温,泄压放空,出炉-检测,清洗高压釜,进入下一轮晶体生长工序循环。
4.但是上述技术方案存在以下问题:由于高压釜为长径比大的反应器,呈圆柱状体,在进行上述晶体生长工序时需要有效固定釜体,避免由于操作不当引起釜体倾倒,产生生产安全的问题,因此有待改善。


技术实现要素:

5.为了克服现有技术的不足,本实用新型提供一种氮化镓高压釜的固定装置及固定装置组,以解决上述的技术问题。
6.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
7.一种氮化镓高压釜的固定装置,包括底盘,以及两个设置于底盘且开口相对的半环柱,两个所述半环柱形成用于容置高压釜底部的容置空间;所述高压釜的底面开设有若干定位缺口,所述底盘在容置空间处设有若干与定位缺口配合的定位块;当高压釜底部置于容置空间时,所述定位块与定位缺口相契合。
8.通过采用上述技术方案,在高压釜需进行生长工序之时,工作人员可利用吊装工具将高压釜吊至固定装置中,即高压釜的底部置入容置空间中,并且在高压釜对位之时,要保证每个定位缺口和每个定位块均位于一个垂直线上;定位缺口和定位块可进一步提高位于容置空间内的高压釜的防倾倒能力。
9.作为优选,所述高压釜的侧壁具有测温点口;所述高压釜有且仅有一种转动角度,使其底部置入容置空间时,能使定位缺口与定位块相契合。
10.通过采用上述技术方案,测温点口是方便加温系统控制和记录反应中的高压釜的内部温度,因此该测温点口一定需要朝向合理的位置;高压釜有且仅有一种置入角度,可避免存在其他角度,使得高压釜置入时而测温点口朝向另一侧。
11.作为优选,所述定位缺口开设有三个,且其中两个开设于高压釜底面直径的两端。
12.通过采用上述技术方案,三个定位缺口的情况适用于中型高压釜;若有两个定位缺口开设于高压釜底面直径的两端,那么无论第三个定位缺口开设在高压釜底面的任何位置(除去开设于高压釜底面中心的情况),均能够保证有且仅有一种置入角度。
13.作为优选,所述定位缺口开设有五个,且其中两个开设于高压釜底面直径的两端。
14.通过采用上述技术方案,五个定位缺口的情况适用于大型高压釜;若有两个定位缺口开设于高压釜底面直径的两端,那么无论其他三个定位缺口开设在高压釜底面的任何位置(除去五个定位缺口均开设在同一条直径上的情况),均能够保证有且仅有一种置入角度。
15.作为优选,所述高压釜的侧壁具有测温点口;所述高压釜的侧壁和所述底盘分别设有第一定位标识和第二定位标识,当高压釜底部置入容置空间且第一定位标识和第二定位标识对应时,所述测温点口朝向预定方位。
16.通过采用上述技术方案,除了上述通过规定定位缺口位置的方式之外,还可以采用定位标识的方式使得测温点口朝向预定方位,这里的预定方位指的就是方便工作人员能够测温的位置。
17.作为优选,包括若干上述第二至第五中任一项所述的固定装置,所述固定装置呈矩形阵列分布,每一行或每一列的固定装置均配备有一道测温路径。
18.作为优选,当所有固定装置均已置入高压釜时,位于同一行或同一列的高压釜的测温点口朝向该行或该列的高压釜所对应的测温路径。
19.通过采用上述技术方案,在一个生产车间中存在有若干的高压釜,也就需要若干的固定装置,呈阵列分布方便工作人员以s路线经过每一条测温路径,以一次性获取所有高压釜的温度情况。
20.作为优选,包括若干上述第二至第五中任一项所述的固定装置,所述固定装置呈口字型阵列分布,所述固定装置组的外圈配备一道口字型的测温路径。
21.作为优选,当所有固定装置均已置入高压釜时,所有高压釜的测温点口均朝向测温路径。
22.通过采用上述技术方案,口字型阵列分布为另一种固定装置组的分布方式,这种分布方式适用于在厂房中部操作高压釜,而在厂房四周放置高压釜的情况,通常会在厂房四周建立起一个口型测温平台,即可一次性检测所有高压釜的温度情况。
23.本实用新型的有益效果是:
24.1、在高压釜需进行生长工序之时,工作人员可利用吊装工具将高压釜吊至固定装置中,即高压釜的底部置入容置空间中,并且在高压釜对位之时,要保证每个定位缺口和每个定位块均位于一个垂直线上;定位缺口和定位块可进一步提高位于容置空间内的高压釜的防倾倒能力;
25.2、测温点口是方便工作人员观察和记录反应中的高压釜的内部温度,因此该测温点口一定需要朝向合理的位置;高压釜有且仅有一种置入角度,可避免存在其他角度,使得高压釜置入时而测温点口朝向另一侧;
26.3、本实用新型通过两种不同的固定装置组的分布方式,均能使工作人员能够一次性地测出整个厂房高压釜的温度情况。
附图说明
27.下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
28.图1为本实用新型中固定装置和高压釜的立体示意图;
29.图2为带有三个定位块的固定装置的结构示意图;
30.图3为开设有三个定位缺口的高压釜的结构示意图;
31.图4为为带有五个定位块的固定装置的结构示意图;
32.图5为开设有五个定位缺口的高压釜的结构示意图;
33.图6为矩形阵列的固定装置组的结构示意图;
34.图7为矩形阵列的固定装置组的平面示意图;
35.图8为口字型阵列的固定装置组的结构示意图;
36.图9为口字型阵列的固定装置组的平面示意图;
37.图中各附图标记说明如下:
38.1、底盘;101、半环柱;102、定位块;
39.2、高压釜;201、定位缺口;202、测温点口;
40.3、测温路径。
具体实施方式
41.以下将结合实施例和附图对本实用新型的构思、具体结构及产生的技术效果进行清楚、完整地描述,以充分地理解本实用新型的目的、特征和效果。显然,所描述的实施例只是本实用新型的一部分实施例,而不是全部实施例,基于本实用新型的实施例,本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例,均属于本实用新型保护的范围。
42.为解决生产氮化镓晶体的高压釜2在厂房内部无最佳适配的固定用具的问题,本实用新型提供一种氮化镓高压釜的固定装置。并且在此基础之上,为了方便工作人员进行测温工作,本实用新型还提供了两种固定装置组的分布方式,以下将具体介绍。
43.一种氮化镓高压釜的固定装置,如图1至图3所示,包括底盘1,以及两个设置于底盘1且开口相对的半环柱101,两个所述半环柱101形成用于容置高压釜2底部的容置空间;所述高压釜2的底面开设有若干定位缺口201,所述底盘1在容置空间处设有若干与定位缺口201配合的定位块102;当高压釜2底部置于容置空间时,所述定位块102与定位缺口201相契合。
44.解决技术问题的工作原理:在高压釜2需进行生长工序之时,工作人员可利用吊装工具将高压釜2吊至固定装置中,即高压釜2的底部置入容置空间中,并且在高压釜2对位之时,要保证每个定位缺口201和每个定位块102均位于一个垂直线上;定位缺口201和定位块102可进一步提高位于容置空间内的高压釜2的防倾倒能力。
45.为了方便工作人员时时监测高压釜2内部的反应温度,通常会在高压釜2的侧壁设置一个测温点口202,而当高压釜2置入固定装置中时,意味着测温点口202的朝向也将确定,对此需要预先规划好高压釜2置入的转动角度,具体如下。
46.第一种方式是通过设置定位缺口201的开设位置来保证的。所述高压釜2有且仅有一种转动角度,使其底部置入容置空间时,能使定位缺口201与定位块102相契合。高压釜2有且仅有一种置入角度,可避免存在其他角度,使得高压釜2置入时而测温点口202朝向另一侧。
47.具体而言,定位缺口201的数量也可以任意规定。
48.例如,如图2和图3所示,所述定位缺口201可以开设有三个,且其中两个开设于高压釜2底面直径的两端。三个定位缺口201的情况适用于中型高压釜2;若有两个定位缺口201开设于高压釜2底面直径的两端,那么无论第三个定位缺口201开设在高压釜2底面的任何位置(除去开设于高压釜2底面中心的情况),均能够保证有且仅有一种置入角度。
49.如图4和图5所示,所述定位缺口201还可以开设有五个,且其中两个开设于高压釜2底面直径的两端。五个定位缺口201的情况适用于大型高压釜2;若有两个定位缺口201开设于高压釜2底面直径的两端,那么无论其他三个定位缺口201开设在高压釜2底面的任何位置(除去五个定位缺口201均开设在同一条直径上的情况),均能够保证有且仅有一种置入角度。
50.第二种方式是设置定位标识。所述高压釜2的侧壁和所述底盘1分别设有第一定位标识和第二定位标识,当高压釜2底部置入容置空间且第一定位标识和第二定位标识对应时,所述测温点口202朝向预定方位,这里的预定方位指的就是方便工作人员能够测温的位置。
51.以上即为本实用新型所提供的固定装置的具体方式,以下将介绍两种固定装置组的分布方式。
52.第一种固定装置组的分布方式
53.如图6和图7所示,一种氮化镓高压釜的固定装置组,包括若干上述方案中的固定装置,所述固定装置呈矩形阵列分布,每一行或每一列的固定装置均配备有一道测温路径3;当所有固定装置均已置入高压釜2时,位于同一行或同一列的高压釜2的测温点口202朝向该行或该列的高压釜2所对应的测温路径3。
54.在一个生产车间中存在有若干的高压釜2,也就需要若干的固定装置,呈阵列分布方便工作人员以s路线经过每一条测温路径3,以一次性获取所有高压釜2的温度情况。
55.第二种固定装置组的分布方式
56.如图8和图9所示,一种氮化镓高压釜的固定装置组,包括若干上述方案中的固定装置,所述固定装置呈口字型阵列分布,所述固定装置组的外圈配备一道口字型的测温路径3;当所有固定装置均已置入高压釜2时,所有高压釜2的测温点口202均朝向测温路径3。
57.口字型阵列分布为另一种固定装置组的分布方式,这种分布方式适用于在厂房中部操作高压釜2,而在厂房四周放置高压釜2的情况,通常会在厂房四周建立起一个口型测温平台,即可一次性检测所有高压釜2的温度情况。
58.以上是对本实用新型的较佳实施进行了具体说明,但本实用新型创造并不限于所述实施例,熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型精神的前提下还可做出种种的等同变形或替换,这些等同的变形或替换均包含在本技术权利要求所限定的范围内。
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